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质谱分析与检漏技术在成像器件研究中的应用
被引量:
1
1
作者
徐江涛
《应用光学》
CAS
CSCD
2003年第6期5-8,共4页
运用四极质谱计对微光成像器件的制管工艺质量进行大量质谱分析监测,分清了各道工序污染对制管的影响。通过对制管工艺进行改进,使制管成品率提高了50%。
关键词
质谱分析
检漏
成像器件
下载PDF
职称材料
题名
质谱分析与检漏技术在成像器件研究中的应用
被引量:
1
1
作者
徐江涛
机构
西安应用光学研究所
出处
《应用光学》
CAS
CSCD
2003年第6期5-8,共4页
文摘
运用四极质谱计对微光成像器件的制管工艺质量进行大量质谱分析监测,分清了各道工序污染对制管的影响。通过对制管工艺进行改进,使制管成品率提高了50%。
关键词
质谱分析
检漏
成像器件
Keywords
mass spectrographic analysis
leak detection
imaging device
分类号
TN223-39 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
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1
质谱分析与检漏技术在成像器件研究中的应用
徐江涛
《应用光学》
CAS
CSCD
2003
1
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