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高重复频率准分子激光器中放电冲击波特性的实验研究
被引量:
3
1
作者
刘斌
丁金滨
+3 位作者
王魁波
周翊
江锐
王宇
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019年第12期18-25,共8页
采用阴影法对高重复频率准分子激光器放电腔内的放电冲击波现象进行了实验研究,研究结果揭示了放电冲击波的产生以及演化过程。通过对观测结果进行分析,获得了放电冲击波的3种典型形式:横向冲击波、纵向冲击波(主电极冲击波)和预电离冲...
采用阴影法对高重复频率准分子激光器放电腔内的放电冲击波现象进行了实验研究,研究结果揭示了放电冲击波的产生以及演化过程。通过对观测结果进行分析,获得了放电冲击波的3种典型形式:横向冲击波、纵向冲击波(主电极冲击波)和预电离冲击波。估算了3种冲击波的波速,进而分析了可会受冲击波影响的重复频率。研究成果可以为高重复频率准分子放电腔的设计提供支持,尤其是可以在放电冲击波抑制结构的设计方面提供支持。
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关键词
激光光学
准分子激光器
高重复频率
放电腔
放电冲击波
阴影法
原文传递
题名
高重复频率准分子激光器中放电冲击波特性的实验研究
被引量:
3
1
作者
刘斌
丁金滨
王魁波
周翊
江锐
王宇
机构
中国科学院微电子研究所
中国科学院大学
北京科益虹源光电技术有限公司
出处
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019年第12期18-25,共8页
基金
国家科技重大专项(2013ZX02202002)
文摘
采用阴影法对高重复频率准分子激光器放电腔内的放电冲击波现象进行了实验研究,研究结果揭示了放电冲击波的产生以及演化过程。通过对观测结果进行分析,获得了放电冲击波的3种典型形式:横向冲击波、纵向冲击波(主电极冲击波)和预电离冲击波。估算了3种冲击波的波速,进而分析了可会受冲击波影响的重复频率。研究成果可以为高重复频率准分子放电腔的设计提供支持,尤其是可以在放电冲击波抑制结构的设计方面提供支持。
关键词
激光光学
准分子激光器
高重复频率
放电腔
放电冲击波
阴影法
Keywords
laser optics
excimer lasers
high repetition rate
discharge chamber
discharge shock wave
shadow method
分类号
TN24&2 [电子电信—物理电子学]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
高重复频率准分子激光器中放电冲击波特性的实验研究
刘斌
丁金滨
王魁波
周翊
江锐
王宇
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019
3
原文传递
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