1米内腔可调式He-Ne激光器

1. 引言 内腔式6328AHe—Ne激光器由于结构简单,且光波处于可见光区,单色性高等优点。因此在科研生产,医学卫生等方面获得了广泛的应用。大功率的He—Ne激光器在医学卫生,全息照像等方面的应用更为突出。为此我们研究了腔长1米毛细管准直可调He—Ne激光器。我们知道在制做普通型He—Ne激光器的过程中,一般要求是(1)对于毛细管的选择是比较严格的,毛细管愈长选择愈为困难。(2)对两个反射镜的平行度、垂直度要求十分苛刻,不平行度不大于30″,不垂直度不大于15″。

国外准分子激光步进机的发展概况及前景

本文概述了准分子激光步进机的发展概况，预测了在今后几代集成电路生产中的广阔前景。主要介绍了准分子激光窄谱带宽控制，中心波长调准的稳定性要求，光学系统设计与材料要求，以及对步进扫描曝光技术研究的迫切性。

小型氦氖激光器结构参数与稳定性、模体积,输出光束参数间的关系

本文以腔长为基本参数,讨论了平凹稳腔的稳定性、模体积、不同输出方式的光束参数随腔的g参数变化的规律,给出了解析及图解结果,对小型氦氖激光器结构参数的选择具有一定的指导意义,对其它激光器的设计也有一定的参考价值。