永磁交流伺服系统转动惯量辨识方法

永磁交流伺服系统中具有不同转动惯量的负载,对系统的动态性能有着显著影响。在提高系统动态抗扰能力研究过程中,转动惯量辨识为首要解决问题。本文在对传统方法研究基础上,提出两种分别基于加减速法和二分法的新型转动惯量辨识方法。其中改进加减速法将传统方法微型化,使得电机可以在微震运行状态下进行惯量辨识;二分法利用转矩和转动惯量之间的联系,对转动惯量进行二分法快速查找。基于实验平台,对传统方法和新型方法进行实验验证,研究各方法可行性,并给出各自优缺点和适用场合。

语义环境下个性化推荐系统建模

为解决现有个性化推荐系统中缺乏对语义信息处理能力的问题,建立了语义推荐系统模型,使用描述逻辑实现了该模型,并给出了推荐算法。在实现模型的过程中引入了两条规则实现了概念层次关系在兴趣程度和关联程度上的传递。实验证明,通过将用户的兴趣和待选资源的相关概念在语义层面进行适当扩展,语义推荐系统模型能产生更多符合用户兴趣的推荐项目。

铜CMP碱性抛光液中氧化剂的电化学行为研究

化学机械抛光(CMP)工艺是IC工艺中大马士革工序的关键步骤。抛光液的电化学行为研究对抛光质量的控制具有重要意义。采用电化学测试手段,研究碱性抛光液中氧化剂(H_2O_2)对铜表面钝化膜的成膜影响,分析H_2O_2对抛光速率、表面粗糙度的影响机理。通过实验确定,在0.5%SiO_2磨料和3%表面活性剂的碱性抛光液中,添加0.5%的H_2O_2和3%的FA/OⅡ型螯合剂可获得大于800 nm/min的高抛光速率和表面粗糙度为22.2 nm的较佳平坦效果。

预测反馈法控制高维离散混沌系统研究

针对离散混沌系统的研究,大多数集中于理论分析和数值计算,而实验方面的研究较少。为此,利用电子线路实验实现了三阶超混沌离散系统和二阶Henon映象混沌系统以及预测反馈法控制混沌和超混沌。从理论上分析了控制混沌和超混沌系统所需的条件,并通过实验进行了验证,实验结果与理论分析结果符合得很好。

冷压印光刻中高分辨率抗蚀剂的研究

在集成电路的冷压印光刻中,为了获得高分辨率抗蚀剂,着重对溶剂挥发固化型、化学交联固化型和紫外光照交联固化型材料,从复形分辨率、涂铺均匀性、脱模性、流动性、物理粘度、刻蚀比率、固化速度、固化方式和固化收缩率等方面进行了分析和研究.经过对比,得出低粘度光固化树脂具有薄膜厚度容易控制且均匀(误差为0 3%)、固化速度快(小于0 2min)和固化收缩率小(3%)等特性,其对冷压印光刻工艺的匹配性明显优于溶剂挥发固化型和化学交联固化型材料.因此,最终决定采用低粘度光固化树脂作为冷压印光刻工艺中的抗蚀剂.

移动P2P流媒体中的数据调度算法

为了解决移动网络中分层流媒体的数据调度问题,提出了一种新的应用于移动网络P2P(Peer-to-Peer)流媒体的数据调度算法——二维数据调度算法。该算法将流媒体数据块分别使用二维坐标进行标注(块坐标和层坐标),数据调度过程中数据块的调度顺序由其二维坐标确定。仿真结果表明,二维数据调度算法能保证移动终端上的流媒体的顺畅播放;无用包率减小,使无线网络中带宽得到有效地利用;对层订阅抖动具有较好的抑制作用,确保流媒体质量稳定。

重掺硼直拉硅片中流动图形缺陷的显示

本文针对重掺硼直拉单晶硅片中流动图形缺陷(FPDs)的显示进行了一系列实验,得到了一种能够腐蚀出重掺硼硅片中FPDs的Secco腐蚀液配方以及清晰显示出FPDs的最佳腐蚀时间。此外,本文就FPD的显示机理进行了探讨。

表面活性剂对掺铁纳米TiO_2光催化性能的影响

以钛酸丁酯为原料,采用溶胶-凝胶法制备了纳米TiO2粉末,在其中添加了过渡金属元素铁,并在表面包覆少量的表面活性剂(CTAB)。经紫外光照射后,通过紫外-可见分光光度计测量了光催化降解反应后降解率的变化,探讨了在两者共同作用下的TiO2粉体的光催化活性。实验结果表明:在样品中掺杂一定量的Fe3+并包覆表面活性剂(CTAB),TiO2的结构上并没有发生改变;在Fe3+和CTAB的作用下的纳米TiO2的光催化活性有了显著地提高。

Petri网展开图法的分析和应用

Petri网的展开图是一种特殊的并发系统状态空间搜索方法,它不需要重复考虑并发事件的所有可能的交集,从而大大缩减状态空间爆炸给验证分析带来的空间复杂度和时间复杂度。使用展开图分析Petri网的行为属性与传统的Petri网分析方法相比,具有自己的特点。该文首先介绍了Petri网展开图的构造算法,在此基础上使用展开图分析方法对一个典型Petri 网的活性,有界性和可逆性等行为属性进行了分析,并与传统的Petri网分析方法作比较。

OCV处于平台期的汽车锂电池SOC估算的研究

对于开路电压(OCV)处于平台期的锂电池,剩余电量(SOC)的变化几乎不引起开路电压的变化,初值为这一时期的电池进行SOC估算,误差会增大。基于SOC动态观测模型,使用UKF,PF法对SOC初值为60%的磷酸铁锂电池进行SOC估计,根据电池放电试验所获得数据进行仿真,并辅以初值不在平台期的电池放电试验,结果显示在平台期PF法鲁棒性很差,其余区域PF法则可迅速收敛,得到精准的估计,而UKF法在每个区域都相对稳定。在实际应用中应结合这两种算法的优点,这样才能在电池放电过程中得到精确的估值。

基于8098单片机的步进电机控制系统

给出了利用 80 98单片机的高速输出单元 HSO实现对步进电机的控制原理、硬件、软件设计。该系统与由复杂的电子线路或 5 1系列单片机构成的步进电机控制系统相比 ,具有速度高、智能化、电路简单、工作可靠等特点。

纳米TiO_2/β-CD膜光电化学传感器的制备及检测

采用层层自纽装方法制备了纳米TiO2／β-CD膜光电化学传感器，研究了传感器的光电流响应信号与吸附在电极表面的有机物浓度之间的关系。以邻苯二甲酸氢钾作为检测物质，考察了纳米TiO2／β-CD薄膜的光催化氧化行为。实验结果表明，该传感器的光电流信号与待测物浓度在4．6～138mg·L^-1范围内呈良好的线性关系，线性方程为△Iphoto（μA）=0．00452＋0．0214c（mg·L^-1），线性相关系数为0．9946，检测限为1．8mg·L^-1（信噪比为3）。该方法具有检测速度快，成本低，结果稳定等优点，具有较好的应用前景。

碳杂质对直拉硅单晶中氮氧复合体浅热施主形成的影响

本文研究了碳杂质对掺氮直拉硅单晶中氮氧复合体浅热施主形成的影响。电阻率测试和低温傅里叶远红外吸收光谱研究表明:碳杂质显著降低了掺氮直拉硅单晶在650℃退火时所形成的氮氧复合体浅热施主浓度。此外,研究还发现碳杂质使掺氮直拉硅单晶在650℃退火时形成了碳氧复合体和更多的氧沉淀核心,由此消耗了更多的间隙氧原子。这一发现被认为是碳杂质抑制掺氮直拉硅单晶中氮氧复合体浅热施主形成的主要原因。

基于树莓派的便携式水质重金属电化学检测系统

针对水质重金属离子现场快速化检测的需求,设计了一种基于树莓派控制核心采用差分脉冲伏安法检测重金属的系统。该系统主要包括硬件检测设备系统和手机APP两部分,两者通过蓝牙进行通信。基于树莓派3B硬件开发平台搭建外围电路检测板,实现波形信号的生成和微电流信号的采集;在Android系统下进行APP开发,完成曲线绘制以及数据存储等任务。文中系统将日常广泛使用的Android终端设备、低成本的树莓派与电化学仪器相结合,突出了其易用性和便携性的特点,适合实地快速自动化检测。系统对150~600μg/L的Cd2+离子检测实验中得到的拟合线性方程具有较高的线性度(0.9661),结果表明,该系统可实现重金属离子检测。

用于半导体生产的扩散/氧化系统整体方案设计

详细介绍了扩散/氧化系统的整体控制方案,阐述了扩散/氧化设备的基本结构。基于显示触摸屏、可编程序控制器、温度检测单元和上位数据处理计算机等硬件装置提出了扩散/氧化系统的下位机控制方案、温度检测方案和输入/输出控制方案。最后通过EasyBuilder 8000软件对扩散/氧化系统的操作界面进行了相应的设计。

用化学镀改善多孔硅的金半接触质量

多孔硅是一种具有优良光吸收特性的表面微结构材料,在光电探测器和太阳能光伏电池领域具有良好的应用前景。为了改善金属/多孔硅电接触质量,通过电化学腐蚀制备多孔硅,对比研究了化学镀与物理气相沉积(热蒸发、磁控溅射)工艺制备出的金属电极界面结构,测试了相应I-V特性,并讨论了快速退火对金半接触质量的影响。研究结果表明,用化学镀工艺在多孔硅表面制备金属电极,经快速退火处理后,能得到较低比接触电阻(10-1Ω·cm2)的欧姆电接触。