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硅基GaN外延层的光致发光谱
被引量:
8
1
作者
张昊翔
叶志镇
+1 位作者
卢焕明
赵炳辉
《半导体光电》
CAS
CSCD
北大核心
1999年第2期120-122,126,共4页
报道了在硅基上用简便的真空反应法制备出 Ga N 外延层,并对其发光特性进行了研究。发现衬底晶向、生长温度和退火均会对 Ga N 外延层的发光特性产生影响。 Si(111) 衬底比 Si(100) 衬底更有利于 Ga N 外延层...
报道了在硅基上用简便的真空反应法制备出 Ga N 外延层,并对其发光特性进行了研究。发现衬底晶向、生长温度和退火均会对 Ga N 外延层的发光特性产生影响。 Si(111) 衬底比 Si(100) 衬底更有利于 Ga N 外延层的单色发光。退火使 Ga N 外延层的发光强度降低。在1 050 ℃下生长的 Ga N 外延层的发光强度高于其他温度下生长的 Ga N
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关键词
半导体材料
氮化镓
光致发光
外延层
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职称材料
题名
硅基GaN外延层的光致发光谱
被引量:
8
1
作者
张昊翔
叶志镇
卢焕明
赵炳辉
机构
浙江大学硅材料国家重点实验室
出处
《半导体光电》
CAS
CSCD
北大核心
1999年第2期120-122,126,共4页
基金
1996 年度国家教委"跨世纪优秀人才"基金
文摘
报道了在硅基上用简便的真空反应法制备出 Ga N 外延层,并对其发光特性进行了研究。发现衬底晶向、生长温度和退火均会对 Ga N 外延层的发光特性产生影响。 Si(111) 衬底比 Si(100) 衬底更有利于 Ga N 外延层的单色发光。退火使 Ga N 外延层的发光强度降低。在1 050 ℃下生长的 Ga N 外延层的发光强度高于其他温度下生长的 Ga N
关键词
半导体材料
氮化镓
光致发光
外延层
Keywords
Semicondrctor materials,Gallium Nitride, Photoluminescence, Epitaxial Layer
分类号
TN304.23.055 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
硅基GaN外延层的光致发光谱
张昊翔
叶志镇
卢焕明
赵炳辉
《半导体光电》
CAS
CSCD
北大核心
1999
8
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职称材料
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