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硅基GaN外延层的光致发光谱 被引量:8
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作者 张昊翔 叶志镇 +1 位作者 卢焕明 赵炳辉 《半导体光电》 CAS CSCD 北大核心 1999年第2期120-122,126,共4页
报道了在硅基上用简便的真空反应法制备出 Ga N 外延层,并对其发光特性进行了研究。发现衬底晶向、生长温度和退火均会对 Ga N 外延层的发光特性产生影响。 Si(111) 衬底比 Si(100) 衬底更有利于 Ga N 外延层... 报道了在硅基上用简便的真空反应法制备出 Ga N 外延层,并对其发光特性进行了研究。发现衬底晶向、生长温度和退火均会对 Ga N 外延层的发光特性产生影响。 Si(111) 衬底比 Si(100) 衬底更有利于 Ga N 外延层的单色发光。退火使 Ga N 外延层的发光强度降低。在1 050 ℃下生长的 Ga N 外延层的发光强度高于其他温度下生长的 Ga N 展开更多
关键词 半导体材料 氮化镓 光致发光 外延层
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