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氧化物阴极新进展 被引量:2
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作者 白振纲 《真空电子技术》 北大核心 1995年第3期27-33,共7页
文章着重介绍稀土金属氧化物或稀土金属加入普通氧化物阴极电子发射涂层中,明显地提高了阴极发射性能并延长了寿命周期。同时给出微电子探针分析仪对涂层中激活剂分析对比图以及发射测量的对比图。
关键词 激活剂 稀土 金属氧化物 电子发射涂层
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稀土元素Ce热引入Si单晶中及Ce在Si中的扩散系数
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作者 傅春寅 鲁永令 曾树荣 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1989年第9期1534-1539,共6页
利用真空淀积和真空热处理(1050℃,20h)向Si单晶中引入了稀土元素Ce,热处理过程中Ce首先与Si形成合金,然后向Si中扩散,于是在Si中形成Ce的扩散层。用二次离子质谱(SIMS)技术测定了Ce的纵向相对浓度分布,并据此分析了Ce在Si中的扩散系数... 利用真空淀积和真空热处理(1050℃,20h)向Si单晶中引入了稀土元素Ce,热处理过程中Ce首先与Si形成合金,然后向Si中扩散,于是在Si中形成Ce的扩散层。用二次离子质谱(SIMS)技术测定了Ce的纵向相对浓度分布,并据此分析了Ce在Si中的扩散系数。并在77—450K范围内测量了扩散层的平均电导率。 展开更多
关键词 金属硅化物 稀土元素 CE 扩散 VLSI
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