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氧化物阴极新进展
被引量:
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作者
白振纲
《真空电子技术》
北大核心
1995年第3期27-33,共7页
文章着重介绍稀土金属氧化物或稀土金属加入普通氧化物阴极电子发射涂层中,明显地提高了阴极发射性能并延长了寿命周期。同时给出微电子探针分析仪对涂层中激活剂分析对比图以及发射测量的对比图。
关键词
激活剂
稀土
金属氧化物
电子发射涂层
下载PDF
职称材料
稀土元素Ce热引入Si单晶中及Ce在Si中的扩散系数
2
作者
傅春寅
鲁永令
曾树荣
《物理学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
1989年第9期1534-1539,共6页
利用真空淀积和真空热处理(1050℃,20h)向Si单晶中引入了稀土元素Ce,热处理过程中Ce首先与Si形成合金,然后向Si中扩散,于是在Si中形成Ce的扩散层。用二次离子质谱(SIMS)技术测定了Ce的纵向相对浓度分布,并据此分析了Ce在Si中的扩散系数...
利用真空淀积和真空热处理(1050℃,20h)向Si单晶中引入了稀土元素Ce,热处理过程中Ce首先与Si形成合金,然后向Si中扩散,于是在Si中形成Ce的扩散层。用二次离子质谱(SIMS)技术测定了Ce的纵向相对浓度分布,并据此分析了Ce在Si中的扩散系数。并在77—450K范围内测量了扩散层的平均电导率。
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关键词
金属硅化物
稀土元素
CE
扩散
VLSI
原文传递
题名
氧化物阴极新进展
被引量:
2
1
作者
白振纲
机构
中国科学院电子所
出处
《真空电子技术》
北大核心
1995年第3期27-33,共7页
文摘
文章着重介绍稀土金属氧化物或稀土金属加入普通氧化物阴极电子发射涂层中,明显地提高了阴极发射性能并延长了寿命周期。同时给出微电子探针分析仪对涂层中激活剂分析对比图以及发射测量的对比图。
关键词
激活剂
稀土
金属氧化物
电子发射涂层
Keywords
Activator, Rare metal oxide, Intersurface layer, Electron-emissive layer
分类号
TN304.305 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
稀土元素Ce热引入Si单晶中及Ce在Si中的扩散系数
2
作者
傅春寅
鲁永令
曾树荣
机构
北京大学物理系
出处
《物理学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
1989年第9期1534-1539,共6页
基金
第三世界科学院基金
文摘
利用真空淀积和真空热处理(1050℃,20h)向Si单晶中引入了稀土元素Ce,热处理过程中Ce首先与Si形成合金,然后向Si中扩散,于是在Si中形成Ce的扩散层。用二次离子质谱(SIMS)技术测定了Ce的纵向相对浓度分布,并据此分析了Ce在Si中的扩散系数。并在77—450K范围内测量了扩散层的平均电导率。
关键词
金属硅化物
稀土元素
CE
扩散
VLSI
分类号
TN304.305 [电子电信—物理电子学]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
氧化物阴极新进展
白振纲
《真空电子技术》
北大核心
1995
2
下载PDF
职称材料
2
稀土元素Ce热引入Si单晶中及Ce在Si中的扩散系数
傅春寅
鲁永令
曾树荣
《物理学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
1989
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