期刊文献+
共找到177篇文章
< 1 2 9 >
每页显示 20 50 100
室温下高探测效率InGaAsP/InP单光子雪崩二极管
1
作者 祁雨菲 王文娟 +5 位作者 孙京华 武文 梁焰 曲会丹 周敏 陆卫 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2024年第1期1-6,共6页
描述了一种高性能平面InGaAsP/InP单光子雪崩二极管(SPAD),该二极管具有单独的吸收、分级、电荷和倍增(SAGCM)异质结构。通过电场调节和缺陷控制,SPAD在293 K的门控模式下工作,光子探测效率(PDE)为70%,暗计数率(DCR)为14.93 kHz,后脉冲... 描述了一种高性能平面InGaAsP/InP单光子雪崩二极管(SPAD),该二极管具有单独的吸收、分级、电荷和倍增(SAGCM)异质结构。通过电场调节和缺陷控制,SPAD在293 K的门控模式下工作,光子探测效率(PDE)为70%,暗计数率(DCR)为14.93 kHz,后脉冲概率(APP)为0.89%。此外,在死区时间为200 ns的主动淬灭模式下工作时,室温下实现了12.49%的PDE和72.29 kHz的DCR。 展开更多
关键词 单光子雪崩二极管 暗计数率 光子探测效率 后脉冲概率
下载PDF
γ辐照对InGaAsP/InP单光子雪崩探测器性能的影响
2
作者 孙京华 王文娟 +3 位作者 诸毅诚 郭子路 祁雨菲 徐卫明 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2024年第1期44-51,共8页
对InGaAsP/InP单光子雪崩探测器(SPADs)进行了总剂量为10 krad(Si)和20 krad(Si)的γ辐照,并进行了原位和移位测试。辐照后,暗电流和暗计数率有轻微的下降,而探测效率和后脉冲概率基本不变。经过一定时间的室温退火后,这些退化基本恢复... 对InGaAsP/InP单光子雪崩探测器(SPADs)进行了总剂量为10 krad(Si)和20 krad(Si)的γ辐照,并进行了原位和移位测试。辐照后,暗电流和暗计数率有轻微的下降,而探测效率和后脉冲概率基本不变。经过一定时间的室温退火后,这些退化基本恢复,这表明瞬态电离损伤在γ辐照对InGaAsP/InP单光子雪崩探测器的损伤中占主导地位。 展开更多
关键词 Γ辐照 INGAASP/INP 单光子雪崩探测器 单光子性能
下载PDF
线性碲镉汞APD的高速焦平面读出电路研究
3
作者 孙铎 梁清华 丁瑞军 《半导体光电》 CAS 北大核心 2024年第4期549-556,共8页
设计了一款针对线性模式碲镉汞APD的高速成像读出电路。像元内基于三级推挽放大器级联的电阻反馈跨导放大器(RTIA),实现了光电流的实时线性转换,并利用工作于亚阈值区的MOS管作为反馈电阻实现跨阻增益可调;利用电容补偿法对RTIA的相位... 设计了一款针对线性模式碲镉汞APD的高速成像读出电路。像元内基于三级推挽放大器级联的电阻反馈跨导放大器(RTIA),实现了光电流的实时线性转换,并利用工作于亚阈值区的MOS管作为反馈电阻实现跨阻增益可调;利用电容补偿法对RTIA的相位裕度进行优化,解决了低增益下的输出振荡现象。结果显示,像元内RTIA跨阻增益可调范围达100~140 dB,增益带宽积可达10^(14)数量级,像元电路输出延时低于1.8 ns。设计了像素外的飞行时间测量电路,采用两段式时间数字转换器分别进行飞行时间的大范围粗量化和高精度细量化,测量范围可达1530 m,测量精度为106.5 cm,线性度高于99.99%。 展开更多
关键词 线性APD 有源电阻反馈跨导放大器 飞行时间测距 TDC
下载PDF
SOI基横向SAMBM APD三维建模与特性研究
4
作者 谢进 宜新博 +2 位作者 刘景硕 崔凯月 谢海情 《电子设计工程》 2024年第16期59-63,68,共6页
为更好表征器件的工作过程,为后续器件工艺制备实现提供更精确的理论支撑,采用SEN-TAURUS软件对SOI基横向多缓冲区SAM雪崩光电二极管进行三维建模仿真与特性研究。对器件的雪崩电压、光暗电流、响应度、雪崩增益、雪崩发生概率、光子探... 为更好表征器件的工作过程,为后续器件工艺制备实现提供更精确的理论支撑,采用SEN-TAURUS软件对SOI基横向多缓冲区SAM雪崩光电二极管进行三维建模仿真与特性研究。对器件的雪崩电压、光暗电流、响应度、雪崩增益、雪崩发生概率、光子探测效率以及暗计数率进行研究分析。仿真结果表明,器件雪崩电压为8.0 V,在偏置电压为4 V时,器件暗电流为5.31×10^(-16)A;当入射光波长为400 nm,光功率为0.001 W/cm^(2)时,响应度为170 A/W,增益为308.6;过偏压为1 V时,光子探测效率峰值为42.3%,暗计数率为476 Hz。 展开更多
关键词 雪崩光电二极管 三维建模 I-V特性 光子探测效率 暗计数率
下载PDF
GHz photon-number resolving detection with high detection efficiency and low noise by ultra-narrowband interference circuits
5
作者 Tingting Shi Yuanbin Fan +3 位作者 Zhengyu Yan Lai Zhou Yang Ji Zhiliang Yuan 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 2024年第3期71-75,共5页
We demonstrate the photon-number resolution(PNR)capability of a 1.25 GHz gated InGaAs single-photon avalanche photodiode(APD)that is equipped with a simple,low-distortion ultra-narrowband interference circuit for the ... We demonstrate the photon-number resolution(PNR)capability of a 1.25 GHz gated InGaAs single-photon avalanche photodiode(APD)that is equipped with a simple,low-distortion ultra-narrowband interference circuit for the rejection of its background capacitive response.Through discriminating the avalanche current amplitude,we are able to resolve up to four detected photons in a single detection gate with a detection efficiency as high as 45%.The PNR capability is limited by the avalanche current saturation,and can be increased to five photons at a lower detection efficiency of 34%.The PNR capability,combined with high efficiency and low noise,will find applications in quantum information processing technique based on photonic qubits. 展开更多
关键词 single photon avalanche diode(APD) photon number resolution(PNR) detection efficiency
下载PDF
GaN极性和Al组份对AlcGa1−cN/GaN双异质结IMPATTD性能的影响
6
作者 王渊 《温州大学学报(自然科学版)》 2024年第2期37-48,共12页
GaN基碰撞雪崩渡越时间二极管(IMPATTD)是前景光明的太赫兹波源,具有输出功率高、转换效率高、体积小、集成方便等优点.构建了GaN/AlcGa1-cN/GaN和AlcGa1-cN/GaN/AlcGa1-cN双异质结构(DHS)n+/n/i/p/p+型IMPATTD,通过求解半导体器件基本... GaN基碰撞雪崩渡越时间二极管(IMPATTD)是前景光明的太赫兹波源,具有输出功率高、转换效率高、体积小、集成方便等优点.构建了GaN/AlcGa1-cN/GaN和AlcGa1-cN/GaN/AlcGa1-cN双异质结构(DHS)n+/n/i/p/p+型IMPATTD,通过求解半导体器件基本方程(包括泊松方程、电流密度方程和载流子连续性方程),仿真了工作于大气低损耗窗口频率0.22 THz处的IMPATTD,计算了所设计器件的直流参数(如电场分布、归一化电流密度、击穿电压等)、大信号参数(如端电压、雪崩电流密度、端电流密度、导纳-频率关系、输出功率、转换效率等)和噪声特性参数(如噪声场分布、噪声谱密度和噪声测度等),分析了GaN极性和Al组份对AlcGa1-cN/GaN DHS IMPATTD性能的影响.本文提出了一种优化AlcGa1-cN/GaN DHS IMPATT二极管结构和性能的方法. 展开更多
关键词 AlcGa1-cN/GaN双异质结 极性 IMPATT二极管
下载PDF
InP衬底上的双载流子倍增雪崩光电二极管结构设计
7
作者 赵华良 彭红玲 +5 位作者 周旭彦 张建心 牛博文 尚肖 王天财 曹澎 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2023年第19期285-291,共7页
雪崩光电二极管因其具有高的倍增被广泛应用于光通信、激光雷达等各种领域,为了适应极微弱信号探测应用场合,需要器件获得更高的增益值.当前雪崩光电二极管一般采用单载流子倍增方式工作,其倍增效果有限.本文设计了一种电子和空穴同时... 雪崩光电二极管因其具有高的倍增被广泛应用于光通信、激光雷达等各种领域,为了适应极微弱信号探测应用场合,需要器件获得更高的增益值.当前雪崩光电二极管一般采用单载流子倍增方式工作,其倍增效果有限.本文设计了一种电子和空穴同时参与倍增的InP/In_(0.53)Ga_(0.47)As/In_(0.52)Al_(0.48)As雪崩光电二极管结构,其中吸收层采用In_(0.53)Ga_(0.47)As材料,空穴倍增层采用InP材料,电子倍增层采用In_(0.52)Al_(0.48)As材料,两个倍增层分布在吸收层的上下两侧.采用Silvaco TCAD软件对此结构以及传统单倍增层结构进行了模拟仿真,对比单InP倍增层结构和单In_(0.52)Al_(0.48)As倍增层结构,双倍增层结构在95%击穿电压下的增益值分别约为前两者的2.3倍和2倍左右,由于两种载流子在两个倍增层同时参与了倍增,所以器件具有更大的增益值,且暗电流并没有增加,有望提高系统探测的灵敏度. 展开更多
关键词 雪崩光电二极管 微弱信号 双载流子倍增 增益
下载PDF
一种宽光谱响应的双结单光子雪崩二极管
8
作者 刘丹璐 董杰 +1 位作者 许唐 徐跃 《固体电子学研究与进展》 CAS 北大核心 2023年第5期424-429,共6页
基于180 nm BCD工艺提出了一种新型双结雪崩区的单光子雪崩二极管(SPAD)探测器,采用N阱/高压P阱/N^(+)埋层结构形成了两个垂直堆叠的PN结,高压P阱和N^(+)埋层交界面形成较深的主雪崩区,增强对近红外短波光子的探测概率;同时,N阱/高压P... 基于180 nm BCD工艺提出了一种新型双结雪崩区的单光子雪崩二极管(SPAD)探测器,采用N阱/高压P阱/N^(+)埋层结构形成了两个垂直堆叠的PN结,高压P阱和N^(+)埋层交界面形成较深的主雪崩区,增强对近红外短波光子的探测概率;同时,N阱/高压P阱之间形成浅的次雪崩区,实现对蓝绿光的高效探测,两结同时工作能够有效扩展器件的光谱响应范围。TCAD仿真结果表明,与传统的P阱/深N阱结构相比,双结SPAD器件在300~940 nm的宽光谱范围内有更高的光子探测概率,在800 nm近红外短波段探测概率达到了20.6%。在3 V过偏压下,暗计数率为0.8 kHz,后脉冲概率为3.2%。 展开更多
关键词 单光子雪崩二极管(SPAD) 双结雪崩区 光子探测概率(PDP) 暗计数率(DCR) 后脉冲概率(AP)
下载PDF
Single photon emitters originating from donor-acceptor pairs 被引量:1
9
作者 Xin Lu 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 2023年第1期15-16,共2页
Starting from the groundbreaking work in graphene[1],the active research in two-dimensional(2D)layered materials has unveiled a number of exotic phenomena that are unique in the 2D limit.In addition to the semimetal g... Starting from the groundbreaking work in graphene[1],the active research in two-dimensional(2D)layered materials has unveiled a number of exotic phenomena that are unique in the 2D limit.In addition to the semimetal graphene,the semiconducting transition metal dichalcogenides(TMDs)and the insulating hexagonal boron nitride(hBN)are also the main driving forces of the field. 展开更多
关键词 FIELD DONOR ACCEPTOR
下载PDF
Analysis of high-temperature performance of 4H-SiC avalanche photodiodes in both linear and Geiger modes
10
作者 周幸叶 吕元杰 +5 位作者 郭红雨 顾国栋 王元刚 梁士雄 卜爱民 冯志红 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2023年第3期583-588,共6页
The high-temperature performance of 4H-SiC ultraviolet avalanche photodiodes(APDs)in both linear and Geiger modes is extensively investigated.During the temperature-dependent measurements,a fixed bias voltage is adopt... The high-temperature performance of 4H-SiC ultraviolet avalanche photodiodes(APDs)in both linear and Geiger modes is extensively investigated.During the temperature-dependent measurements,a fixed bias voltage is adopted for the device samples,which is much more practical and important for high-temperature applications.The results show that the fabricated 4H-SiC APDs are very stable and reliable at high temperatures.As the temperature increases from room temperature to 425 K,the dark current at 95%of the breakdown voltage increases slightly and remains lower than40 pA.In Geiger mode,our 4H-SiC APDs can be self-quenched in a passive-quenching circuit,which is expected for highspeed detection systems.Moreover,an interesting phenomenon is observed for the first time:the single-photon detection efficiency shows a non-monotonic variation as a function of temperature.The physical mechanism of the variation in hightemperature performance is further analyzed.The results in this work can provide a fundamental reference for researchers in the field of 4H-SiC APD ultraviolet detectors. 展开更多
关键词 4H-SIC avalanche photodiode ultraviolet detector high temperature
下载PDF
Investigation of Ga_(2)O_(3)/diamond heterostructure solar-blind avalanche photodiode via TCAD simulation
11
作者 许敦洲 金鹏 +3 位作者 徐鹏飞 冯梦阳 吴巨 王占国 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2023年第10期716-723,共8页
A Ga_(2)O_(3)/diamond separate absorption and multiplication avalanche photodiode(SAM-APD)with mesa structure has been proposed and simulated.The simulation is based on an optimized Ga_(2)O_(3)/diamond heterostructure... A Ga_(2)O_(3)/diamond separate absorption and multiplication avalanche photodiode(SAM-APD)with mesa structure has been proposed and simulated.The simulation is based on an optimized Ga_(2)O_(3)/diamond heterostructure TCAD physical model,which is revised by repeated comparison with the experimental data from the literature.Since both Ga_(2)O_(3)and diamond are ultra-wide bandgap semiconductor materials,the Ga_(2)O_(3)/diamond SAM-APD shows good solar-blind detection ability,and the corresponding cutoff wavelength is about 263 nm.The doping distribution and the electric field distribution of the SAM-APD are discussed,and the simulation results show that the gain of the designed device can reach 5×10^(4)and the peak responsivity can reach a value as high as 78 A/W. 展开更多
关键词 Ga_(2)O_(3) DIAMOND separate absorption and multiplication avalanche photodiode(SAM-APD) solar-blind detector
下载PDF
Planar InAlAs/InGaAs avalanche photodiode with 360 GHz gain×bandwidth product
12
作者 王帅 叶焓 +4 位作者 耿立妍 肖帆 褚艺渺 郑煜 韩勤 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2023年第9期103-107,共5页
This paper describes a guardring-free planar InAlAs/InGaAs avalanche photodiode(APD)by computational simulations and experimental results.The APD adopts the structure of separate absorption,charge,and multiplication(S... This paper describes a guardring-free planar InAlAs/InGaAs avalanche photodiode(APD)by computational simulations and experimental results.The APD adopts the structure of separate absorption,charge,and multiplication(SACM)with top-illuminated.Computational simulations demonstrate how edge breakdown effect is suppressed in the guardringfree structure.The fabricated APD experiment results show that it can obtain a very low dark current while achieving a high gain×bandwidth(GB)product.The dark current is 3 nA at 0.9Vb r,and the unit responsivity is 0.4 A/W.The maximum3 dB bandwidth of 24 GHz and a GB product of 360 GHz are achieved for the fabricated APD operating at 1.55μm. 展开更多
关键词 avalanche photodiode PLANAR gain×bandwidth product dark current
下载PDF
单光子探测器制冷系统研究
13
作者 吕海燕 洪占勇 杜先常 《量子电子学报》 CAS CSCD 北大核心 2023年第3期400-406,共7页
负反馈雪崩光电二极管是一款单片集成负反馈电阻的砷化镓铟雪崩光电二极管光子计数器件。在基于负反馈雪崩光电二极管的单光子探测器中,高灵敏度的制冷系统是保障其正常工作的必备条件。采用被动制冷和主动制冷相结合的方式,设计了一套... 负反馈雪崩光电二极管是一款单片集成负反馈电阻的砷化镓铟雪崩光电二极管光子计数器件。在基于负反馈雪崩光电二极管的单光子探测器中,高灵敏度的制冷系统是保障其正常工作的必备条件。采用被动制冷和主动制冷相结合的方式,设计了一套高灵敏度制冷系统。通过理论计算、仿真和实测该制冷系统,表明该系统内部功耗降低58.63%,且在室温25℃和高温65℃环境下,该系统均能使负反馈雪崩光电二极管工作温度控制在(−20±0.3)℃,具有环境适应性强、制冷温差大、制冷温度可控等优点。 展开更多
关键词 光电子学 负反馈雪崩光电二极管 单光子探测器 半导体制冷
下载PDF
Model and data of optically controlled tunable capacitor in silicon single-photon avalanche diode
14
作者 曾美玲 汪洋 +2 位作者 金湘亮 彭艳 罗均 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2023年第7期564-569,共6页
This paper reports the photocapacitance effect of silicon-based single-photon avalanche diodes(SPADs),and the frequency scattering phenomenon of capacitance.The test results of the small-signal capacitance-voltage met... This paper reports the photocapacitance effect of silicon-based single-photon avalanche diodes(SPADs),and the frequency scattering phenomenon of capacitance.The test results of the small-signal capacitance-voltage method show that light can cause the capacitance of a SPAD device to increase under low-frequency conditions,and the photocapacitance exhibits frequency-dependent characteristics.Since the devices are fabricated based on the standard bipolar-CMOS-DMOS process,this study attributes the above results to the interfacial traps formed by Si-SiO_(2),and the illumination can effectively reduce the interfacial trap lifetime,leading to changes in the junction capacitance inside the SPAD.Accordingly,an equivalent circuit model considering the photocapacitance effect is also proposed in this paper.Accurate analysis of the capacitance characteristics of SPAD has important scientific significance and application value for studying the energy level distribution of device interface defect states and improving the interface quality. 展开更多
关键词 photocapacitance effect single-photon avalanche diode interfacial traps
下载PDF
4H-SiC p-n结基于精确碰撞电离模型的雪崩倍增因子研究
15
作者 熊俊程 黄海猛 +1 位作者 张子敏 张国义 《微电子学》 CAS 北大核心 2023年第2期333-337,共5页
雪崩倍增效应是4H-SiC雪崩光电二极管、功率半导体器件等器件的关键机理。作为其中最重要的物理参数,雪崩倍增因子(M)的精确解析表达式目前未见报道。文章提出4H-SiC p-n结M的精确计算方法及其解析表达式。基于更准确的碰撞电离模型,通... 雪崩倍增效应是4H-SiC雪崩光电二极管、功率半导体器件等器件的关键机理。作为其中最重要的物理参数,雪崩倍增因子(M)的精确解析表达式目前未见报道。文章提出4H-SiC p-n结M的精确计算方法及其解析表达式。基于更准确的碰撞电离模型,通过MATLAB对4H-SiC单边突变结(p^(+)-n)电子和空穴的碰撞电离积分(I)进行精确的数值计算,给出击穿电压(BV)随掺杂浓度的经验表达式,进一步提出电离积分随外加电压及掺杂浓度的拟合表达式。此外,对外加电压接近BV的情形进行细致的相对误差分析,表明电子电离积分受电场影响显著。对于雪崩光电二极管及功率器件较宽的BV范围,所提出的拟合表达式在外加反向偏压大于0.65BV时具有较高的精确度(相对误差小于5%)。 展开更多
关键词 4H-SIC 雪崩倍增因子 碰撞电离积分 Miller公式
下载PDF
InGaAs/InP盖革模式雪崩焦平面阵列的研制 被引量:14
16
作者 张秀川 蒋利群 +5 位作者 高新江 陈伟 奚水清 姚科明 兰逸君 卢杰 《半导体光电》 CAS 北大核心 2015年第3期356-360,391,共6页
设计制作了一种由InGaAs/InP雪崩光电二极管阵列与时间计数型CMOS读出电路组成的8×8阵列规格盖革模式雪崩焦平面阵列(GM APD FPA)。雪崩光电二极管采用SAGCM结构,在盖革模式下工作具有单光子探测灵敏度;时间计数型CMOS读出电路在... 设计制作了一种由InGaAs/InP雪崩光电二极管阵列与时间计数型CMOS读出电路组成的8×8阵列规格盖革模式雪崩焦平面阵列(GM APD FPA)。雪崩光电二极管采用SAGCM结构,在盖革模式下工作具有单光子探测灵敏度;时间计数型CMOS读出电路在每个单元获取光子飞行时间,实现纳秒级的时间分辨率,并完成雪崩淬灭功能。测试结果表明,倒装混合集成的GM APD FPA器件暗计数率(DCR)均值为32.5kHz,单光子探测效率(PDE)均值为19.5%,单元时间抖动为465ps,实现了光脉冲时间信息的探测,验证了盖革模式雪崩焦平面阵列技术及其在三维成像中应用的可行性。 展开更多
关键词 三维成像 单光子 盖革模式 焦平面阵列
下载PDF
基于盖格-雪崩光电二极管的光子计数成像 被引量:20
17
作者 何伟基 司马博羽 +2 位作者 程耀进 成伟 陈钱 《光学精密工程》 CSCD 北大核心 2012年第8期1831-1837,共7页
考虑用传统的成像技术检测光生电荷信号时易受模数转换噪声干扰,本文提出了一种基于单光子灵敏雪崩光电二极管(GM-APD)的光子计数成像方法。该方法以单光子灵敏GM-APD作为探测单元,以全数字化方式实现微弱光学信号的有效检测。建立了GM-... 考虑用传统的成像技术检测光生电荷信号时易受模数转换噪声干扰,本文提出了一种基于单光子灵敏雪崩光电二极管(GM-APD)的光子计数成像方法。该方法以单光子灵敏GM-APD作为探测单元,以全数字化方式实现微弱光学信号的有效检测。建立了GM-APD光子流响应模型,利用马尔科夫更新过程分析了光子探测盲区对GM-APD瞬态响应的影响,得到了GM-APD输出的数字脉冲频率与光子流密度之间的关联表达式。搭建了二维扫描成像实验验证装置,通过实验得到了不同密度光子流条件下的光子计数图像。采用标准化互信息量分析得到,在光子流密度为3.0×104count/s的条件下,该实验装置仍然可以实现可视成像;当光子流密度达到2.7×105 count/s时,标准化互信息量大于0.5;实现了在低光子流密度时采用光子计数方式对目标物体的有效成像。 展开更多
关键词 单光子雪崩二极管 光子计数成像 马尔科夫更新 标准互信息量
下载PDF
一种低暗计数率CMOS单光子雪崩二极管 被引量:5
18
作者 王巍 王广 +4 位作者 王伊昌 曾虹谙 王冠宇 唐政维 袁军 《半导体光电》 CAS 北大核心 2019年第2期166-170,共5页
基于标准0.18μm CMOS工艺设计了一种新型单光子雪崩二极管(SPAD)器件。该SPAD以p-well/n-well轻掺杂雪崩结作为器件的核心工作区域,同时利用三个相邻n阱间的横向扩散在pn结边缘形成n-虚拟保护环以提高器件的性能。采用Silvaco软件对该... 基于标准0.18μm CMOS工艺设计了一种新型单光子雪崩二极管(SPAD)器件。该SPAD以p-well/n-well轻掺杂雪崩结作为器件的核心工作区域,同时利用三个相邻n阱间的横向扩散在pn结边缘形成n-虚拟保护环以提高器件的性能。采用Silvaco软件对该器件的电场分布、响应度、击穿电压、光子探测效率和暗计数率等性能参数进行了仿真分析。仿真结果表明:当SPAD器件的光窗口直径为20μm且n阱间隙宽度为1.4μm时,其雪崩击穿电压为13V;在过偏压为1V时,其探测效率峰值和暗计数率分别为37%和0.82kHz;在450~700nm波长范围器件的响应度较好,且在500nm处达到峰值0.33A/W。 展开更多
关键词 单光子雪崩二极管 标准0.18μm CMOS工艺 虚拟保护环 响应度 光子探测效率 暗计数率
下载PDF
硅基APD器件的工艺及性能仿真分析 被引量:8
19
作者 王巍 冯其 +3 位作者 武逶 谢玉亭 王振 冯世娟 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2014年第1期140-144,共5页
硅基APD的性能取决于其器件结构与工艺过程。文中对n+-p-π-p+外延结构的APD器件的工艺和器件性能进行了仿真分析,为硅基APD器件的设计提供了理论指导。利用Silvaco软件对APD器件的关键工艺离子注入和扩散工艺进行了仿真,确定工艺参数... 硅基APD的性能取决于其器件结构与工艺过程。文中对n+-p-π-p+外延结构的APD器件的工艺和器件性能进行了仿真分析,为硅基APD器件的设计提供了理论指导。利用Silvaco软件对APD器件的关键工艺离子注入和扩散工艺进行了仿真,确定工艺参数对杂质的掺杂深度和掺杂分布的影响。并且,对于APD器件的性能进行了分析,对电场分布、增益、量子效率、响应度等参数进行了仿真分析。仿真结果表明:在给定的器件参数条件下,所设计的APD器件的增益为100时,响应度峰值为55A/W左右,在600~900 nm范围内具有较高响应度,峰值波长在810 nm。 展开更多
关键词 硅基雪崩二极管(Si-APD) 二维工艺仿真 器件仿真
下载PDF
InGaAs/InPAPD探测器光电特性检测 被引量:4
20
作者 肖雪芳 杨国华 +4 位作者 归强 王国宏 马晓宇 陈朝 陈良惠 《电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第3期460-463,共4页
建立了雪崩二极管的静态光电特性的自动测试系统。利用该系统对光敏面的直径为500μm的台面型InGaAs/InP雪崩光电二极管(APDs)进行测试。测试结果表明,该APD器件在90%击穿电压下的暗电流为151nA,在直径500μm的光敏面上其光响应均匀性... 建立了雪崩二极管的静态光电特性的自动测试系统。利用该系统对光敏面的直径为500μm的台面型InGaAs/InP雪崩光电二极管(APDs)进行测试。测试结果表明,该APD器件在90%击穿电压下的暗电流为151nA,在直径500μm的光敏面上其光响应均匀性良好。提出一种测量雪崩二极管倍增因子的方法,只需利用普通的测量电流-电压的测试仪器,就可以获得开始倍增时的光电流,从而得到APD的倍增因子。通过该方法得到的InGaAs/InPAPD器件最大倍增因子的典型值在10~100量级。 展开更多
关键词 静态光电特性的自动测试系统 雪崩光电二极管 大面积APD 倍增因子
下载PDF
上一页 1 2 9 下一页 到第
使用帮助 返回顶部