2.35μm碲镉汞光伏探测器离子注入工艺研究

利用p型Hg_(1-x)Cd_xTe(或简称MCT)组分x=0.44体晶材料,研究了B^+离子注入平面工艺制备2.35μm截止波长12元双线列光伏探测器。探测器主要性能D_λ~平均达4.4×10^(11)cmHz^(1/2)W,λ_p、λ_c比波段要求平均低约3.2％和5.1％。