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双极型微波器件失效分析与改进
被引量:
2
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作者
孙英华
李志国
+4 位作者
程尧海
吉元
张炜
李学信
穆德成
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
1996年第2期28-32,共5页
针对浅结器件欧姆接触退化问题,利用3DG44、3DG86微波管进行研究分析,发现其EB结失效非常严重,并且结越浅对高温工艺越敏感,经SEM显微分析表明,失效机理为发射区处Al、Si的互扩散,Al离子进入发射区。将新型...
针对浅结器件欧姆接触退化问题,利用3DG44、3DG86微波管进行研究分析,发现其EB结失效非常严重,并且结越浅对高温工艺越敏感,经SEM显微分析表明,失效机理为发射区处Al、Si的互扩散,Al离子进入发射区。将新型金属化系统Al/TIN/Ti用于实际器件,TiN有效地阻止了Al、Si的互扩散,其EB结特性明显改善,成品率和可靠性显著提高。
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关键词
微波器件
欧姆接触
TiN阻挡层
失效
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职称材料
基于快速模拟退火算法的GaAsMESFET等效电路参数
2
作者
王卓鹏
高国成
《微波与卫星通信》
1999年第1期45-47,共3页
本文将改进的快速模拟退火算法用于GaAsMESFET等效电路参数提取,较好地解决了宽带微波半导体器件等效电路建模难题。
关键词
快速模拟退火
等效电路
微波半导体器件
下载PDF
职称材料
微小型陶瓷管壳新工艺
3
作者
陈银龙
王鲁宁
+2 位作者
王子良
陈洁民
刘俊
《半导体情报》
1999年第2期48-50,共3页
采用超细95%Al2O3粉料、高温烧结、陶瓷激光精密加工工艺制成的管壳,可满足毫米波器件的封装要求。
关键词
微小型
陶瓷封装
毫米波器件
制造工艺
下载PDF
职称材料
题名
双极型微波器件失效分析与改进
被引量:
2
1
作者
孙英华
李志国
程尧海
吉元
张炜
李学信
穆德成
机构
北京工业大学电子工程系
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
1996年第2期28-32,共5页
文摘
针对浅结器件欧姆接触退化问题,利用3DG44、3DG86微波管进行研究分析,发现其EB结失效非常严重,并且结越浅对高温工艺越敏感,经SEM显微分析表明,失效机理为发射区处Al、Si的互扩散,Al离子进入发射区。将新型金属化系统Al/TIN/Ti用于实际器件,TiN有效地阻止了Al、Si的互扩散,其EB结特性明显改善,成品率和可靠性显著提高。
关键词
微波器件
欧姆接触
TiN阻挡层
失效
分类号
TN385.05 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
基于快速模拟退火算法的GaAsMESFET等效电路参数
2
作者
王卓鹏
高国成
机构
山东矿业学院济南分院
出处
《微波与卫星通信》
1999年第1期45-47,共3页
文摘
本文将改进的快速模拟退火算法用于GaAsMESFET等效电路参数提取,较好地解决了宽带微波半导体器件等效电路建模难题。
关键词
快速模拟退火
等效电路
微波半导体器件
分类号
TN385.05 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
微小型陶瓷管壳新工艺
3
作者
陈银龙
王鲁宁
王子良
陈洁民
刘俊
机构
电子工业部第五十五研究所
出处
《半导体情报》
1999年第2期48-50,共3页
文摘
采用超细95%Al2O3粉料、高温烧结、陶瓷激光精密加工工艺制成的管壳,可满足毫米波器件的封装要求。
关键词
微小型
陶瓷封装
毫米波器件
制造工艺
Keywords
Miniceramic package Technology
分类号
TN385.05 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
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1
双极型微波器件失效分析与改进
孙英华
李志国
程尧海
吉元
张炜
李学信
穆德成
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
1996
2
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职称材料
2
基于快速模拟退火算法的GaAsMESFET等效电路参数
王卓鹏
高国成
《微波与卫星通信》
1999
0
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职称材料
3
微小型陶瓷管壳新工艺
陈银龙
王鲁宁
王子良
陈洁民
刘俊
《半导体情报》
1999
0
下载PDF
职称材料
已选择
0
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引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
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