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双极型微波器件失效分析与改进 被引量:2
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作者 孙英华 李志国 +4 位作者 程尧海 吉元 张炜 李学信 穆德成 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 1996年第2期28-32,共5页
针对浅结器件欧姆接触退化问题,利用3DG44、3DG86微波管进行研究分析,发现其EB结失效非常严重,并且结越浅对高温工艺越敏感,经SEM显微分析表明,失效机理为发射区处Al、Si的互扩散,Al离子进入发射区。将新型... 针对浅结器件欧姆接触退化问题,利用3DG44、3DG86微波管进行研究分析,发现其EB结失效非常严重,并且结越浅对高温工艺越敏感,经SEM显微分析表明,失效机理为发射区处Al、Si的互扩散,Al离子进入发射区。将新型金属化系统Al/TIN/Ti用于实际器件,TiN有效地阻止了Al、Si的互扩散,其EB结特性明显改善,成品率和可靠性显著提高。 展开更多
关键词 微波器件 欧姆接触 TiN阻挡层 失效
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基于快速模拟退火算法的GaAsMESFET等效电路参数
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作者 王卓鹏 高国成 《微波与卫星通信》 1999年第1期45-47,共3页
本文将改进的快速模拟退火算法用于GaAsMESFET等效电路参数提取,较好地解决了宽带微波半导体器件等效电路建模难题。
关键词 快速模拟退火 等效电路 微波半导体器件
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微小型陶瓷管壳新工艺
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作者 陈银龙 王鲁宁 +2 位作者 王子良 陈洁民 刘俊 《半导体情报》 1999年第2期48-50,共3页
采用超细95%Al2O3粉料、高温烧结、陶瓷激光精密加工工艺制成的管壳,可满足毫米波器件的封装要求。
关键词 微小型 陶瓷封装 毫米波器件 制造工艺
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