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微电子技术新领域
1
作者 陈克金 邵凯 《电子工程师》 1999年第5期38-40,共3页
（二）纳米电子技术１引言世界微电子技术的发展趋势表明，９０年代是亚微米、深亚微米生产技术蓬勃发展的时代。预计到２１世纪２０年代，硅加工技术将达到极限，进入纳米技术的新时代。在纳米尺寸（０．１～１００ｎｍ）空间内，原来... （二）纳米电子技术１引言世界微电子技术的发展趋势表明，９０年代是亚微米、深亚微米生产技术蓬勃发展的时代。预计到２１世纪２０年代，硅加工技术将达到极限，进入纳米技术的新时代。在纳米尺寸（０．１～１００ｎｍ）空间内，原来的晶体管理论已不再适用；原来概念上... 展开更多
关键词 微电子技术 纳米电子技术 纳米技术
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