期刊导航
期刊开放获取
河南省图书馆
退出
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
4
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
曝光能量控制方式的分析及应用：谈谈汞灯电源及光积分技术
被引量：
1
1
作者
丁嘉群
《LSI制造与测试》
1991年第4期26-33,共8页
关键词
光刻机
曝光控制
汞灯电源
积分
下载PDF
职称材料
CKJ1001—B型半自动接近接触式光刻机综合技术分析
被引量：
1
2
作者
徐幸德
《LSI制造与测试》
1991年第4期3-17,共15页
关键词
接触式
光刻机
技术分析
下载PDF
职称材料
有关BKJ100—B型半自动接近接触式光刻机的工艺保证措施
3
作者
葛新民
《LSI制造与测试》
1991年第4期43-46,共4页
关键词
光刻机
工艺
保证措施
下载PDF
职称材料
气动测微技术在光刻机中的应用
4
作者
钱国浩
《LSI制造与测试》
1991年第4期34-42,共9页
关键词
光刻机
气动测量仪
测微技术
下载PDF
职称材料
题名
曝光能量控制方式的分析及应用：谈谈汞灯电源及光积分技术
被引量：
1
1
作者
丁嘉群
出处
《LSI制造与测试》
1991年第4期26-33,共8页
关键词
光刻机
曝光控制
汞灯电源
积分
分类号
TN405.57 [电子电信—微电子学与固体电子学]
下载PDF
职称材料
题名
CKJ1001—B型半自动接近接触式光刻机综合技术分析
被引量：
1
2
作者
徐幸德
出处
《LSI制造与测试》
1991年第4期3-17,共15页
关键词
接触式
光刻机
技术分析
分类号
TN405.57 [电子电信—微电子学与固体电子学]
下载PDF
职称材料
题名
有关BKJ100—B型半自动接近接触式光刻机的工艺保证措施
3
作者
葛新民
出处
《LSI制造与测试》
1991年第4期43-46,共4页
关键词
光刻机
工艺
保证措施
分类号
TN405.57 [电子电信—微电子学与固体电子学]
下载PDF
职称材料
题名
气动测微技术在光刻机中的应用
4
作者
钱国浩
出处
《LSI制造与测试》
1991年第4期34-42,共9页
关键词
光刻机
气动测量仪
测微技术
分类号
TN405.57 [电子电信—微电子学与固体电子学]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
曝光能量控制方式的分析及应用：谈谈汞灯电源及光积分技术
丁嘉群
《LSI制造与测试》
1991
1
下载PDF
职称材料
2
CKJ1001—B型半自动接近接触式光刻机综合技术分析
徐幸德
《LSI制造与测试》
1991
1
下载PDF
职称材料
3
有关BKJ100—B型半自动接近接触式光刻机的工艺保证措施
葛新民
《LSI制造与测试》
1991
0
下载PDF
职称材料
4
气动测微技术在光刻机中的应用
钱国浩
《LSI制造与测试》
1991
0
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部
