发明专利申请中的集成电路碳纳米管互连技术

本文分析了2011年至今已公开的集成电路碳纳米管互连技术的国内发明专利申请,对上述专利申请进行了技术分类,介绍了碳纳米管互连技术的研究和在产业上的应用情况;本文最后还对碳纳米管互连技术的发展前景进行了展望。