金属和超导引线信号传输理论及性能对比分析

对金属和超导引线的信号传输理论作了较详细的研究，重点、讨论了两种引线的功率衰减和信号传输相速的频率特性，并对两种引线的传输性能尤其是高频信号的传输性能进行了对比．

双层布线两层铝引线间的导通技术

讨论了IC的双层布线工艺中两层铝引线在接触孔处怎样才能形成良好的欧姆接触的问题。接触不好的主要原因是第一次铝引线上的氧化物造成的,因此必须(1)去除第一次铝引线上的自然氧化物;(2)提高蒸发二次铝时的真空度,防止再生氧化物形成。另外,通过热处理可改善接触;淀积二次铝时衬底加热,有利于接触的均匀完善,而且大孔比小孔接触好。

微孔金镀层体系在园型电路生产中的应用研究

利用复合电镀技术获得的微孔金镀层体系可以明显地降低电子分立器件外引线的断裂倾向。本文报导了上述镀层体系的沉积规律和批量生产性中间试验的结果,研究了体系的耐蚀性。