一种新结构微型硅电容式麦克风的研制

本文提出一种新型的微型硅电容式麦克风结构及制造方法；单硅片纹膜结构及制造方法，首次实现了纹膜麦克风的制作．对这种结构的麦克风进行了初步设计并制造出一系列结构尺寸的微麦克风．实现了麦克风电容两极板有效区域的自对准．实验证明，纹膜结构大大降低了膜的内应力，且使电容有所增加，因而器件的灵敏度和重复性有了极大的改善．这种微麦克风制造工艺非常简单、可靠，由于是单硅片制造，无需双／多芯片的对准、粘接或键合，大大提高了生产效率和器件的性能．另外，采用了复合膜技术，进一步提高了麦克风的灵敏度．在ｌｍｍ２的膜片上，得到了６．８～１６．０ｍＶ／Ｐａ的开路灵敏度，频率带宽在８～１６ｋＨｚ范围．