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轮廓仪在柱面镜检测中的应用 被引量:4
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作者 程子清 袁顺山 《光学与光电技术》 2008年第3期67-71,共5页
目前柱面镜检测的主要方法是样板比较法和干涉法。样板法对球面、柱面样板均有较高要求,而干涉法也需合适的高要求的辅助镜,并且对环境要求较严格。提出了用轮廓仪配用合适工装检测柱面镜的方法,该方法简洁、直观、快速,对环境要求较低... 目前柱面镜检测的主要方法是样板比较法和干涉法。样板法对球面、柱面样板均有较高要求,而干涉法也需合适的高要求的辅助镜,并且对环境要求较严格。提出了用轮廓仪配用合适工装检测柱面镜的方法,该方法简洁、直观、快速,对环境要求较低。分析了该方法的检测误差,实验验证了分析的正确性,指出高精度轮廓仪在一定范围内能保证柱面镜的检测精度。这种方法不仅适用于零件的最终检测,也适用于加工过程中的检测。 展开更多
关键词 柱面镜 轮廓仪 检测 检测误差
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零件表面粗糙度的激光在线测量 被引量:4
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作者 付风岚 谭海艳 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2007年第5期412-414,共3页
文中主要介绍了一种零件表面粗糙度的激光在线测量方法,该测量方法具有测量速度快、仪器结构简单、不会划伤被测件且能够显示被测件表面的具体形貌等优点。在测量中,我们引入激光三角测量系统,用无衍射激光光束作光源,用高精度的CCD摄... 文中主要介绍了一种零件表面粗糙度的激光在线测量方法,该测量方法具有测量速度快、仪器结构简单、不会划伤被测件且能够显示被测件表面的具体形貌等优点。在测量中,我们引入激光三角测量系统,用无衍射激光光束作光源,用高精度的CCD摄像机作位移传感器,通过计算机数据处理得到表面粗糙度值,使表面粗糙度在线检测成为可能。 展开更多
关键词 表面粗糙度 He—Ne激光器 CCD摄像机 光学三角法
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