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题名轮廓仪在柱面镜检测中的应用
被引量:4
- 1
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作者
程子清
袁顺山
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机构
华中光电技术研究所
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出处
《光学与光电技术》
2008年第3期67-71,共5页
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文摘
目前柱面镜检测的主要方法是样板比较法和干涉法。样板法对球面、柱面样板均有较高要求,而干涉法也需合适的高要求的辅助镜,并且对环境要求较严格。提出了用轮廓仪配用合适工装检测柱面镜的方法,该方法简洁、直观、快速,对环境要求较低。分析了该方法的检测误差,实验验证了分析的正确性,指出高精度轮廓仪在一定范围内能保证柱面镜的检测精度。这种方法不仅适用于零件的最终检测,也适用于加工过程中的检测。
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关键词
柱面镜
轮廓仪
检测
检测误差
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Keywords
cylindrical mirror
profilometer
measurement
test error
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分类号
TN741.3
[电子电信—电路与系统]
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题名零件表面粗糙度的激光在线测量
被引量:4
- 2
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作者
付风岚
谭海艳
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机构
武汉理工大学机电工程学院
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出处
《激光与红外》
CAS
CSCD
北大核心
2007年第5期412-414,共3页
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文摘
文中主要介绍了一种零件表面粗糙度的激光在线测量方法,该测量方法具有测量速度快、仪器结构简单、不会划伤被测件且能够显示被测件表面的具体形貌等优点。在测量中,我们引入激光三角测量系统,用无衍射激光光束作光源,用高精度的CCD摄像机作位移传感器,通过计算机数据处理得到表面粗糙度值,使表面粗糙度在线检测成为可能。
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关键词
表面粗糙度
He—Ne激光器
CCD摄像机
光学三角法
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Keywords
surface roughness
He-Ne laser
CCD camera
optical triangulation
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分类号
TN741.3
[电子电信—电路与系统]
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