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退火质子交换法制作LiNbO_3光波导 被引量:2
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作者 沈映欣 《半导体光电》 CAS CSCD 北大核心 2000年第A03期75-77,共3页
文章介绍了退火质子交换机理和制作LiNbO3光波导的工艺过程。
关键词 退火质子交换 光波导 铌酸锂
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掺铒石英系平面光波回路
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作者 艾恕 《光纤通信》 1998年第2期44-46,43,共4页
关键词 光波导 掺铒石英系 制造工艺
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