柔性金属膜封装器件的水汽阻隔性能研究

通过UV树脂和柔性金属薄膜将干燥片和透气绝缘的聚二甲基硅氧烷(PDMS)膜封装在器件中,利用钙(Ca)膜电学测试方法测定封装结构的水汽透过率(WVTR),研究了该封装方法的水汽阻隔性能。实验结果表明,Ca膜蒸镀时的温度调控极大影响Ca膜均匀性和表面形貌,从而影响器件的水汽透过率检测结果。本文提出的柔性金属封装方法具有良好的水汽阻隔性能,其WVTR在封装90h后仍达到5×10-4 g/m^2/day以下,水汽主要从器件周围的UV树脂渗透,与传统薄膜封装的水汽渗透机制有很大不同。