基于LabVIEW分子泵运行状况实时监测系统设计

在研制分子泵过程中需要试制多台分子泵样机。为有效监测试制分子泵的运行状态,设计一套专用监测系统,该系统通过通用串口同分子泵控制器通信,获取分子泵电机相关状态;通过外部布设传感器获取设备振动信号。除此之外,监控系统还具有在线数据实时处理功能、数据监测和数据存储功能。通过该监测系统已开展了大量的测试试验。