高g_n值悬臂梁式硅微加速度传感器的结构设计

针对高冲击加速度测量 ,分别就硅微加速度传感器等截面和变截面悬臂梁在不同结构尺寸下的应力状况及固有频率进行了有限元数值模拟 ;对等截面和变截面悬臂梁结构的灵敏度进行了分析比较和数值计算 ,结果都说明了采用变截面悬臂梁结构 ,灵敏度可提高近 30 % ;对选择的变截面悬臂梁结构的加速度传感器其量程为 1 0 0 0 0gn,有足够的抗过载能力 ,且横向灵敏度足够小 .

扩散硅压阻式传感器温度漂移性能及补偿算法研究

介绍了影响扩散硅压力传感器性能的主要因素——零点漂移和灵敏度漂移，详细介绍了零点漂移和灵敏度漂移的两种补偿方法，并通过试验验证了两种补偿方法。

压力传感器最小二乘直线不确定度评定及应用

主要介绍压力传感器最小二乘直线不确定度的评定方法,并结合试验数据,对测量结果不确定度和最小二乘直线不确定度进行了比较及说明。

高可靠性双电容式智能料位传感器的设计

针对粮食烘干装置料位检测的需要 ,设计了一种双电容智能料位传感器。因采用双电容差频检测技术 ,消除了温、湿度等干扰因素 ,使电容式传感器能适应恶劣的工业环境。