单片机和脉宽调制控制的斜坡高压电源的研制

提出了静电键合中渐近加压的思想，并研制成功了用单片机控制、以脉宽调制（ＰＷＭ）技术为基础的渐近加压的斜坡高压电源。实践证明，使用该电源进行静电键合能显著改善静电键合的质量，从而大大提高静电键合的合格率。