电机同步过程中的扰动抑制

双工件台换台是光刻机研制的核心,换台过程要求高速度和高精度,因此扰动的存在极易导致换台的失败。本文主要对Y向多电机同步过程中的扰动进行了分析与抑制。结合现有的同步控制策略,介绍了基于扰动补偿的同步控制策略,将扰动观测器应用在补偿回路,并进行了仿真验证研究,然后针对Y向的负载扰动,设计了负载扰动动态补偿器,对上述同步控制策略进行了修正,并通过仿真验证了其有效性。

基于滑模观测器的永磁同步电机无传感器技术研究

永磁同步电动机(PMSM)具有体积小、效率高、可靠性高以及对环境适应性强等诸多优点,在各种高性能驱动系统中得到了广泛应用。永磁同步电动机无传感器控制技术不但能够降低系统成本,而且能够增加系统可靠性,是当前电机控制技术领域的研究热点之一。本文给出了一种基于滑模观测器的永磁同步电动机无传感器方法,通过观测器获取磁极位置和转速信息,并进行了矢量控制的仿真和实验研究,仿真和实验结果验证了无传感器算法的性能。

三目标差分智能算法的电力系统无功优化

电力系统无功优化通常采用有功网损最小、电压偏差最小的双目标优化模型,建立了综合考虑有功网损最小、电压偏差最小和静态电压稳定裕度最大的三目标无功优化模型。提出差分进化粒子群(DEPSO)混合算法,并针对IEEE14与IEEE30节点系统进行三目标电力系统无功优化。该算法将群体分为两分群,两分群分别采用DE算法和PSO算法同时进行。通过数据测试和比较DEPSO算法在收敛速度、精度和全局搜索能力上均优于常规DE算法和PSO算法。结果验证了模型和算法的有效性,对电力系统安全经济运行具有重要的理论指导意义。

基于遗传算法的交叉耦合控制器优化设计

为提高多轴联动实验平台的执行轨迹轮廓误差精度,提出一种基于遗传算法的交叉耦合控制器优化设计方法。首先建立单轴跟踪误差与轨迹轮廓误差的数学模型,并确定优化目标函数;其次,采用有限冲击响应的交叉耦合控制器结构,并确定优化变量和约束条件;最后通过遗传算法对优化问题进行求解,确定最优交叉耦合控制器参数。通过仿真分析研究此方法的可行性和有效性,仿真结果表明所提方法能够在不占用数控系统插补周期的基础上,有效提高单轴跟踪误差和执行轨迹的轮廓误差,为提高数控加工零件表面质量提出有效解决方案。