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纳米金刚石薄膜的微结构和残余应力
被引量:
8
1
作者
徐锋
左敦稳
+2 位作者
卢文壮
张海余
王珉
《金属学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第1期74-78,共5页
采用双偏压热丝化学气相沉积法在不同栅极和衬底偏流下制备出纳米金刚石薄膜.采用Raman谱、SEM、AFM、纳米压痕法和XRD分析纳米金刚石膜的微结构、弹性模量和残余应力.分析结果表明,金刚石晶粒尺寸随着栅极和衬底偏流的增加而减小,而衬...
采用双偏压热丝化学气相沉积法在不同栅极和衬底偏流下制备出纳米金刚石薄膜.采用Raman谱、SEM、AFM、纳米压痕法和XRD分析纳米金刚石膜的微结构、弹性模量和残余应力.分析结果表明,金刚石晶粒尺寸随着栅极和衬底偏流的增加而减小,而衬底偏流的加入会引起非金刚石成分的显著增加.金刚石晶界的畸变使得弹性模量随着栅极和衬底偏流的增加而减小,薄膜热应力也随之减小.晶界非金刚石成分引起金刚石本征应力呈压应力性质,晶界密度的增加使得本征应力随着栅极偏流的增加而增加,但衬底偏流引起薄膜抵抗变形能力剧烈下降,导致金刚石本征压应力的减小.
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关键词
纳米金刚石膜
热丝化学气相沉积
弹性模量
残余应力
栅极偏流
衬底偏流
下载PDF
职称材料
纳米压痕法研究金刚石薄膜的力学性能
被引量:
5
2
作者
李学敏
汪家道
+2 位作者
陈大融
刘兵
刘峰斌
《硅酸盐学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第12期1539-1543,共5页
用热丝化学气相沉积法在硅基体上制备了大面积硼掺杂金刚石薄膜,硼的浓度大约为2×10^(20)/cm3。利用纳米压痕仪及其附件研究了薄膜和纳米划擦有关的力学性能。结果表明:薄膜具有较高的硬度,平均硬度约为30GPa,弹性模量约为419GPa;...
用热丝化学气相沉积法在硅基体上制备了大面积硼掺杂金刚石薄膜,硼的浓度大约为2×10^(20)/cm3。利用纳米压痕仪及其附件研究了薄膜和纳米划擦有关的力学性能。结果表明:薄膜具有较高的硬度,平均硬度约为30GPa,弹性模量约为419GPa;薄膜与基体的结合强度较高,薄膜发生剥落的第一次破坏力大约是4N。比较而言,薄膜中心区域的硬度高于边缘,结合强度则相反。
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关键词
金刚石薄膜
纳米压痕
纳米划擦
力学性能
热丝化学气相沉积法
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职称材料
氩气浓度对热丝法化学气相沉积纳米金刚石膜的影响
被引量:
3
3
作者
任瑛
张贵锋(指导)
+1 位作者
侯晓多
姜辛
《机械工程材料》
CAS
CSCD
北大核心
2009年第11期61-64,共4页
采用热丝化学气相沉积方法,以Ar+CH4+H2混合气体作为气源,通过改变氩气浓度,在单晶硅(100)基片上沉积纳米金刚石膜;采用扫描电子显微镜、原子力显微镜、X射线衍射仪和拉曼光谱仪等分析了纳米金刚石膜的形貌、微结构以及残余应力。结果表...
采用热丝化学气相沉积方法,以Ar+CH4+H2混合气体作为气源,通过改变氩气浓度,在单晶硅(100)基片上沉积纳米金刚石膜;采用扫描电子显微镜、原子力显微镜、X射线衍射仪和拉曼光谱仪等分析了纳米金刚石膜的形貌、微结构以及残余应力。结果表明:随着氩气浓度的增大,膜的晶粒尺寸逐渐减小到纳米级;由于晶粒细化导致膜内残余应力由拉应力变为压应力,并且压应力随氩气浓度的增大呈现先增大后减小的趋势;当氩气体积分数为98%时,即在贫氢的气氛中成功获得了平均晶粒尺寸为54 nm、均方根粗糙度约为14.7 nm的纳米金刚石膜。
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关键词
纳米金刚石膜
热丝化学气相沉积
氩气浓度
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职称材料
提高凝汽器铜管硫酸亚铁一次性成膜质量
被引量:
1
4
作者
王朝阳
王平
《热力发电》
CAS
北大核心
2010年第6期71-72,64,共3页
介绍了利用硫酸亚铁对凝汽器铜管进行一次性成膜处理的机理,并分析了铜管的表面状态、亚铁离子浓度、pH值、流速、水温、含氧量对成膜质量的影响。通过改进成膜系统设计,增加预氧化和盐洗工艺,以及采用胶球清洗、保证药品质量、加强换...
介绍了利用硫酸亚铁对凝汽器铜管进行一次性成膜处理的机理,并分析了铜管的表面状态、亚铁离子浓度、pH值、流速、水温、含氧量对成膜质量的影响。通过改进成膜系统设计,增加预氧化和盐洗工艺,以及采用胶球清洗、保证药品质量、加强换水可提高成膜质量。
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关键词
凝汽器
铜管
硫酸亚铁
成膜
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职称材料
题名
纳米金刚石薄膜的微结构和残余应力
被引量:
8
1
作者
徐锋
左敦稳
卢文壮
张海余
王珉
机构
南京航空航天大学机电学院
出处
《金属学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第1期74-78,共5页
基金
国家自然科学基金项目50605032
教育部博士点专向基金项目20060287019
江苏省自然科学基金项目BK2007193资助~~
文摘
采用双偏压热丝化学气相沉积法在不同栅极和衬底偏流下制备出纳米金刚石薄膜.采用Raman谱、SEM、AFM、纳米压痕法和XRD分析纳米金刚石膜的微结构、弹性模量和残余应力.分析结果表明,金刚石晶粒尺寸随着栅极和衬底偏流的增加而减小,而衬底偏流的加入会引起非金刚石成分的显著增加.金刚石晶界的畸变使得弹性模量随着栅极和衬底偏流的增加而减小,薄膜热应力也随之减小.晶界非金刚石成分引起金刚石本征应力呈压应力性质,晶界密度的增加使得本征应力随着栅极偏流的增加而增加,但衬底偏流引起薄膜抵抗变形能力剧烈下降,导致金刚石本征压应力的减小.
关键词
纳米金刚石膜
热丝化学气相沉积
弹性模量
残余应力
栅极偏流
衬底偏流
Keywords
nanocrystalline diamond film, hot filament chemical vapor deposition (HFCVD), elastic modulus, residual stress, grid bias, substrate bias
分类号
TQ161.8 [化学工程—高温制品工业]
下载PDF
职称材料
题名
纳米压痕法研究金刚石薄膜的力学性能
被引量:
5
2
作者
李学敏
汪家道
陈大融
刘兵
刘峰斌
机构
清华大学
出处
《硅酸盐学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第12期1539-1543,共5页
基金
上海市科委项目(0123nm023)资助项目。~~
文摘
用热丝化学气相沉积法在硅基体上制备了大面积硼掺杂金刚石薄膜,硼的浓度大约为2×10^(20)/cm3。利用纳米压痕仪及其附件研究了薄膜和纳米划擦有关的力学性能。结果表明:薄膜具有较高的硬度,平均硬度约为30GPa,弹性模量约为419GPa;薄膜与基体的结合强度较高,薄膜发生剥落的第一次破坏力大约是4N。比较而言,薄膜中心区域的硬度高于边缘,结合强度则相反。
关键词
金刚石薄膜
纳米压痕
纳米划擦
力学性能
热丝化学气相沉积法
Keywords
diamond thin films
nano-indentation
nano-scratching
mechanical properties
hot filament chemical vapor deposition
分类号
TQ161.8 [化学工程—高温制品工业]
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职称材料
题名
氩气浓度对热丝法化学气相沉积纳米金刚石膜的影响
被引量:
3
3
作者
任瑛
张贵锋(指导)
侯晓多
姜辛
机构
大连理工大学三束材料改性国家重点实验室
德国锡根大学材料工程学院
出处
《机械工程材料》
CAS
CSCD
北大核心
2009年第11期61-64,共4页
文摘
采用热丝化学气相沉积方法,以Ar+CH4+H2混合气体作为气源,通过改变氩气浓度,在单晶硅(100)基片上沉积纳米金刚石膜;采用扫描电子显微镜、原子力显微镜、X射线衍射仪和拉曼光谱仪等分析了纳米金刚石膜的形貌、微结构以及残余应力。结果表明:随着氩气浓度的增大,膜的晶粒尺寸逐渐减小到纳米级;由于晶粒细化导致膜内残余应力由拉应力变为压应力,并且压应力随氩气浓度的增大呈现先增大后减小的趋势;当氩气体积分数为98%时,即在贫氢的气氛中成功获得了平均晶粒尺寸为54 nm、均方根粗糙度约为14.7 nm的纳米金刚石膜。
关键词
纳米金刚石膜
热丝化学气相沉积
氩气浓度
Keywords
nano-crystalline diamond film
hot filament chemical vapor deposition
Ar concentration
分类号
TQ161.8 [化学工程—高温制品工业]
下载PDF
职称材料
题名
提高凝汽器铜管硫酸亚铁一次性成膜质量
被引量:
1
4
作者
王朝阳
王平
机构
华能玉环电厂
出处
《热力发电》
CAS
北大核心
2010年第6期71-72,64,共3页
文摘
介绍了利用硫酸亚铁对凝汽器铜管进行一次性成膜处理的机理,并分析了铜管的表面状态、亚铁离子浓度、pH值、流速、水温、含氧量对成膜质量的影响。通过改进成膜系统设计,增加预氧化和盐洗工艺,以及采用胶球清洗、保证药品质量、加强换水可提高成膜质量。
关键词
凝汽器
铜管
硫酸亚铁
成膜
Keywords
condenser
copper tube
ferrous sulfate
film formation
分类号
TQ161.8 [化学工程—高温制品工业]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
纳米金刚石薄膜的微结构和残余应力
徐锋
左敦稳
卢文壮
张海余
王珉
《金属学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008
8
下载PDF
职称材料
2
纳米压痕法研究金刚石薄膜的力学性能
李学敏
汪家道
陈大融
刘兵
刘峰斌
《硅酸盐学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005
5
下载PDF
职称材料
3
氩气浓度对热丝法化学气相沉积纳米金刚石膜的影响
任瑛
张贵锋(指导)
侯晓多
姜辛
《机械工程材料》
CAS
CSCD
北大核心
2009
3
下载PDF
职称材料
4
提高凝汽器铜管硫酸亚铁一次性成膜质量
王朝阳
王平
《热力发电》
CAS
北大核心
2010
1
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职称材料
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