原位氧等离子体处理对金刚石薄膜电阻率的影响

采用原位氧等离子体刻蚀法对微波等离子体化学气相沉积金刚石薄膜进行了提高电阻率的后处理,暗电流I-V特性测试结果表明,优化的工艺可使生成膜的电阻率提高4个数量级以上;SEM和XTP分析证实刻蚀处理减少了薄膜表层的石墨和C-H含量,并且未使膜厚产生明显的改变。原位氧等离子体处理是一种简便有效的提高金刚石薄膜电阻率的工艺方法。

空气等离子体刻蚀对金刚石薄膜性能的影响

为了提高金刚石薄膜电学和辐射响应性能,在石英钟罩式MPCVD装置中,采用微波空气等离子体刻蚀处理来提高金刚石薄膜的纯度、电阻率和辐射剂量计响应性能,研究了不同的微波功率、气体流量、处理时间对金刚石薄膜电阻率、X光响应的影响,结果表明,空气等离子体中高能、高活性的氧和氮能有效刻蚀薄膜表面的石墨等非金刚石相,提高膜的纯度,使金刚石薄膜的电阻率从1.11×109Ω·cm提高到1.83×1014 Ω·cm,提高了5～6个数量级,且处理后的金刚石薄膜X射线响应灵敏度提高了15倍,并获得了最佳的空气等离子体刻蚀条件.空气等离子体刻蚀处理是一种易于掌控的刻蚀方法,可有效提高金刚石薄膜表面质量,且资源丰富,价格便宜.

等离子体刻蚀处理大面积金刚石薄膜

平整均匀的大面积金刚石膜是其在电子领域工业化应用的前提。采用微波等离子体化学气相沉积装置,分别用氢气、氮气加空气、氧气对大面积金刚石膜进行了等离子体处理,通过表面形貌和电阻率的均匀性表征金刚石膜的均匀性,用电阻率的大小表征绝缘性,并采用原子力显微镜测量膜的表面粗糙度。用氮气加空气处理后,金刚石膜的电阻率提高了5个数量级,达到了1013Ω.cm,更好地满足了电子器件对绝缘性的要求,且均匀性较好,表面粗糙度Ra为90 nm^111 nm,但平整性仍须改进。

微波等离子体条件下硬质合金刀片中钴的扩散规律对金刚石涂层的影响

利用化学脱钴处理后的硬质合金刀片在微波等离子体条件下沉积金刚石薄膜,用电子能谱仪(EDS)检测发现经化学酸蚀处理后的硬质合金刀片表面的钴含量基本在0.3%左右,对于金刚石膜的形核及生长几乎没有大的影响,膜层致密、晶型良好;但是在长时间的高温沉积过程中,钴逐渐向表面扩散,如900℃条件下10h后刀片表面钴含量可达2.02%,可能对金刚石薄膜与基体之间的附着产生很大的影响,导致金刚石薄膜刀具使用使命的降低。

微波测量金属丝杨氏模量

杨氏模量是衡量固体材料抵抗变形能力的一个重要的参量,它是设计中选定机械构件时的一个重要依据.测量金属丝杨氏模量的关键在于测量金属丝在拉力作用下的微小伸长量?L.本文利用微波干涉可以比较精确的测量微小长度变化这一特点,在微波分光计上测量了铁丝的杨氏模量(E=1.9×1011N/㎡),相对误差4%.

自焙电极在棕、黑刚玉冶炼中的应用

采用自焙电极冶炼棕刚玉和黑刚玉,能解决成型电极供应紧张的困难,能提高社会效益和经济效益,大大降低棕、黑刚玉磨料成本,具有在磨料行业推广的意义。一、自焙电极与节能自焙电极是利用冶炼炉炉口表面和炉内熔液的热量,焙烧电极筒和电极糊,使自焙电极糊由软化、烧结达到硬化,使其具备一定的机械强度。根据磨料磨具磨削研究所对刚玉冶炼炉热平衡测定的结论,“所测冶炼棕刚玉炉烟气热损失均在15%以上”,因此应考虑对此废热的利用。1960年磨料所与合肥砂轮厂“用自动烧结电极冶炼普通电刚玉的研究”一文指出:自焙电极其导电性能及机械强度不次于成型电极。自焙电极在正常连续工作条件下,每公斤电极糊所消耗的电能为1kWh。

浅谈提高电熔锆刚玉砖质量的技术途径

三十多年来,我国的电熔锆刚玉砖的研究与生产,走过了漫长的道路。现在产量和品种有所增加,质量有所提高。初步统计年总产量约1.8万吨,但产品质量和品种与国外同类产品相比,仍有差距。 我国从1985年研究成功了氧化法新工艺。经过几年的实践,在批量生产的基础上。

一万千伏安棕刚玉冶炼炉倾倒液压系统故障分析与改进措施

一万千伏安棕刚玉冶炼炉倾倒液压系统故障分析与改进措施金寿亭（山西省机电设计研究院）０引言一万千伏安棕刚玉冶炼炉是９０年代初从加拿大怀庭公司引进的，直径６０００ｍｍ，炉深４５００ｍｍ，装料后炉重达３６９ｔ，熔炼后刚玉熔液为１６ｔ，是目前国内单炉容量最大...

新型锂离子电池阳极材料—超晶格氧化物

日本Hitachi Maxell公司开发了一种新型的用于锂离子可充电电池的低钴含量阳极材料。该种材料称做超晶格氧化物，主要含镍、锰，而钴含量大大低于通常的阳极材料。到年低将出售的第一种型号商品的钴含量将为通常阳极材料中钴含量的1／3，尽管其钴含量低，但其充电能力与通常的锂电池充电能力水平相当。