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ZrYN层厚度对CrN/ZrYN纳米多层膜微观结构和力学性能的影响
1
作者
沈嘉豪
王静静
+3 位作者
杨志明
岳建岭
李伟
马迅
《有色金属材料与工程》
CAS
2023年第5期53-59,74,共8页
采用磁控溅射技术在单晶Si基片上交替沉积CrN层、ZrYN层,制备不同厚度ZrYN层的CrN/ZrYN纳米多层膜。利用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、透射电子显微镜、纳米压痕仪表征纳米多层膜的微观结构和力学性能。结果表明:随着ZrYN层厚度的增大...
采用磁控溅射技术在单晶Si基片上交替沉积CrN层、ZrYN层,制备不同厚度ZrYN层的CrN/ZrYN纳米多层膜。利用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、透射电子显微镜、纳米压痕仪表征纳米多层膜的微观结构和力学性能。结果表明:随着ZrYN层厚度的增大,纳米多层膜中CrN相的结晶程度呈现出先上升后下降的趋势;纳米多层膜的硬度、弹性模量、韧性也呈现出先增大后减小的趋势;当ZrYN层厚度为0.9 nm时,纳米多层膜具有最高的硬度、弹性模量、韧性,分别为20.3 GPa、210.4 GPa、2.25 MPa·m^(1/2)。上述结果表明,随着ZrYN层厚度的增大,纳米多层膜出现由晶态向非晶态转变,在非晶态下,能够获得良好的综合力学性能。
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关键词
CrN/ZrYN纳米多层膜
磁控溅射
硬度
韧性
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职称材料
电火花沉积工艺及沉积层性能的研究
被引量:
22
2
作者
王建升
《表面技术》
EI
CAS
CSCD
2005年第1期27-30,共4页
为了研究电火花沉积工艺对沉积层组织结构及沉积层性能的影响,改善电火花沉积层的表面质量。采用新型电火花沉积设备,以YG8电极材料,H13(4Cr5MoSiV)钢为基体材料进行了沉积实验。通过工艺实验,研究了沉积时间、沉积功率、沉积电压、...
为了研究电火花沉积工艺对沉积层组织结构及沉积层性能的影响,改善电火花沉积层的表面质量。采用新型电火花沉积设备,以YG8电极材料,H13(4Cr5MoSiV)钢为基体材料进行了沉积实验。通过工艺实验,研究了沉积时间、沉积功率、沉积电压、沉积频率和沉积气氛对沉积层的影响规律,用X射线衍射仪分析了沉积层的组织结构,通过硬度实验和抗磨损实验测定了沉积层的纤维硬度和抗磨损性能。试验表明,电火花沉积工艺对沉积层的组织结构和沉积层性能有影响,沉积层内的白亮层含有大量复杂化合物,具有高的纤维硬度和高的耐磨性。
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关键词
电火花沉积
4CR5MOSIV钢
沉积
硬度
耐磨性
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职称材料
微等离子体增强电化学及其在表面技术中的应用
被引量:
1
3
作者
韩伟
何业东
《表面技术》
EI
CAS
CSCD
2005年第5期76-78,共3页
微等离子体增强电化学过程可以产生多种物理化学效应,利用其效应发展了各种新兴的现代表面技术。论述了微等离子体增强电化学的产生途径及其过程的物理化学效应、以及在表面技术方面的应用和研究现状;并展望了它在表面技术方面的应用前景。
关键词
微等离子体
电化学
表面技术
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职称材料
基于加弧辉光复合渗镀技术的Al_2O_3陶瓷表面合金化
被引量:
1
4
作者
王文先
张红霞
+1 位作者
侯文义
崔泽琴
《材料热处理学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第3期54-57,共4页
基于加弧辉光复合渗镀技术,采用自行研制的复合靶对Al2 O3陶瓷表面进行Cu、Ti复合渗镀,实现了Al2 O3陶瓷表面合金化。采用光学显微镜、SEM、EDS、XRD、声发射划痕等测试手段对渗镀层进行分析。研究了复合渗镀机理、渗镀层成分和元素分...
基于加弧辉光复合渗镀技术,采用自行研制的复合靶对Al2 O3陶瓷表面进行Cu、Ti复合渗镀,实现了Al2 O3陶瓷表面合金化。采用光学显微镜、SEM、EDS、XRD、声发射划痕等测试手段对渗镀层进行分析。研究了复合渗镀机理、渗镀层成分和元素分布、渗镀层相结构以及渗镀层与基体的接合机理。在1 0 0N的最大载荷下,渗镀层与陶瓷基体未发生剥离和崩落现象。这种方法为各种陶瓷材料表面合金化及其与金属材料的微连接提供了新途径。
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关键词
AL2O3陶瓷
复合渗镀
表面合金化
加弧辉光
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职称材料
塑料真空镀膜吸附机理及工艺的探讨(五)
被引量:
2
5
作者
陆国柱
《真空》
CAS
北大核心
1990年第1期57-61,共5页
在这部分,对当前关于真空镀膜吸附机理的理论问题进行了讨论,对空余键力在真 空镀膜中的应用,化学吸附的条件,增强膜基界面间的吸附强度的理论依据进行了讨论, 仅供参考。
关键词
化学吸附
真空镀膜
空余键力理论
塑料
工艺
设备维修
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职称材料
H13模具钢表面电火花沉积层工艺及其性能研究
被引量:
5
6
作者
李福海
代明江
+2 位作者
陈兴驰
邓畅光
马文有
《材料研究与应用》
CAS
2018年第1期22-27,共6页
以部分烧结的WC-Co硬质合金为电极,采用电火花沉积的方法,在H13钢基体表面制备了沉积层,并对影响沉积过程的电极极性、电流及脉冲持续时间等3个关键参数进行了优化,系统测试了硬化层的微观结构和性能.结果表明:负极性连接时,基体表面形...
以部分烧结的WC-Co硬质合金为电极,采用电火花沉积的方法,在H13钢基体表面制备了沉积层,并对影响沉积过程的电极极性、电流及脉冲持续时间等3个关键参数进行了优化,系统测试了硬化层的微观结构和性能.结果表明:负极性连接时,基体表面形成了明显的表面沉积层;在优化的条件下(负极性连接、电流为7A、脉冲持续时间为15ms)和2h电火花处理后,得到了性能优良的沉积层,该沉积层成分具有电极(W和C)及基体的成分(Fe),沉积层的白亮层厚度超过30μm,硬度超过1330Hv,有望在模具行业及耐磨领域中有一定的应用前景.
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关键词
部分烧结电极
电火花沉积
WC—Co
沉积层
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职称材料
SiO_2/TiO_2变折射率光学薄膜制造技术研究
被引量:
3
7
作者
宁晓阳
杭凌侠
+1 位作者
郭峰
潘永强
《表面技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第6期58-61,77,共5页
探讨了单源混蒸技术制备SiO2/TiO2变折射率薄膜的可行性,分别蒸发SiO2和TiO2质量比为1∶1和1∶2的混料,研究分析了薄膜折射率的变化情况,并将其与双源共蒸的方法进行了比较。实验中发现,两种材料蒸发方式的差异是影响SiO2/TiO2变折射率...
探讨了单源混蒸技术制备SiO2/TiO2变折射率薄膜的可行性,分别蒸发SiO2和TiO2质量比为1∶1和1∶2的混料,研究分析了薄膜折射率的变化情况,并将其与双源共蒸的方法进行了比较。实验中发现,两种材料蒸发方式的差异是影响SiO2/TiO2变折射率薄膜制备的主要因素,尚未发现混料中SiO2和TiO2的质量比与SiO2/TiO2薄膜折射率的对应关联。
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关键词
SiO2/TiO2薄膜
单源混蒸
电子束蒸发
变折射率
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职称材料
题名
ZrYN层厚度对CrN/ZrYN纳米多层膜微观结构和力学性能的影响
1
作者
沈嘉豪
王静静
杨志明
岳建岭
李伟
马迅
机构
上海理工大学材料与化学学院
三门核电有限公司
中南大学粉末冶金研究院
出处
《有色金属材料与工程》
CAS
2023年第5期53-59,74,共8页
基金
国家自然科学基金资助项目(51971148
51471110)。
文摘
采用磁控溅射技术在单晶Si基片上交替沉积CrN层、ZrYN层,制备不同厚度ZrYN层的CrN/ZrYN纳米多层膜。利用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、透射电子显微镜、纳米压痕仪表征纳米多层膜的微观结构和力学性能。结果表明:随着ZrYN层厚度的增大,纳米多层膜中CrN相的结晶程度呈现出先上升后下降的趋势;纳米多层膜的硬度、弹性模量、韧性也呈现出先增大后减小的趋势;当ZrYN层厚度为0.9 nm时,纳米多层膜具有最高的硬度、弹性模量、韧性,分别为20.3 GPa、210.4 GPa、2.25 MPa·m^(1/2)。上述结果表明,随着ZrYN层厚度的增大,纳米多层膜出现由晶态向非晶态转变,在非晶态下,能够获得良好的综合力学性能。
关键词
CrN/ZrYN纳米多层膜
磁控溅射
硬度
韧性
Keywords
CrN/ZrYN nanomultilayered film
magnetron sputtering
hardness
toughness
分类号
TQ174.444 [化学工程—陶瓷工业]
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职称材料
题名
电火花沉积工艺及沉积层性能的研究
被引量:
22
2
作者
王建升
机构
山东省临沂师范学院物理系
出处
《表面技术》
EI
CAS
CSCD
2005年第1期27-30,共4页
文摘
为了研究电火花沉积工艺对沉积层组织结构及沉积层性能的影响,改善电火花沉积层的表面质量。采用新型电火花沉积设备,以YG8电极材料,H13(4Cr5MoSiV)钢为基体材料进行了沉积实验。通过工艺实验,研究了沉积时间、沉积功率、沉积电压、沉积频率和沉积气氛对沉积层的影响规律,用X射线衍射仪分析了沉积层的组织结构,通过硬度实验和抗磨损实验测定了沉积层的纤维硬度和抗磨损性能。试验表明,电火花沉积工艺对沉积层的组织结构和沉积层性能有影响,沉积层内的白亮层含有大量复杂化合物,具有高的纤维硬度和高的耐磨性。
关键词
电火花沉积
4CR5MOSIV钢
沉积
硬度
耐磨性
Keywords
ESD
4Cr5MoSiVsteel
Deposition of ESD
Hardness
Wear resistance
分类号
TQ174.444 [化学工程—陶瓷工业]
下载PDF
职称材料
题名
微等离子体增强电化学及其在表面技术中的应用
被引量:
1
3
作者
韩伟
何业东
机构
吉林化工学院
出处
《表面技术》
EI
CAS
CSCD
2005年第5期76-78,共3页
基金
国家自然科学基金资助项目(20373006)
文摘
微等离子体增强电化学过程可以产生多种物理化学效应,利用其效应发展了各种新兴的现代表面技术。论述了微等离子体增强电化学的产生途径及其过程的物理化学效应、以及在表面技术方面的应用和研究现状;并展望了它在表面技术方面的应用前景。
关键词
微等离子体
电化学
表面技术
Keywords
Micro-plasma
Electrochemistry
Surface engineering
分类号
TQ174.444 [化学工程—陶瓷工业]
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职称材料
题名
基于加弧辉光复合渗镀技术的Al_2O_3陶瓷表面合金化
被引量:
1
4
作者
王文先
张红霞
侯文义
崔泽琴
机构
太原理工大学材料科学与工程学院
出处
《材料热处理学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第3期54-57,共4页
基金
山西省自然科学基金资助项目 (2 0 0 4 1 0 52 )
文摘
基于加弧辉光复合渗镀技术,采用自行研制的复合靶对Al2 O3陶瓷表面进行Cu、Ti复合渗镀,实现了Al2 O3陶瓷表面合金化。采用光学显微镜、SEM、EDS、XRD、声发射划痕等测试手段对渗镀层进行分析。研究了复合渗镀机理、渗镀层成分和元素分布、渗镀层相结构以及渗镀层与基体的接合机理。在1 0 0N的最大载荷下,渗镀层与陶瓷基体未发生剥离和崩落现象。这种方法为各种陶瓷材料表面合金化及其与金属材料的微连接提供了新途径。
关键词
AL2O3陶瓷
复合渗镀
表面合金化
加弧辉光
Keywords
Alloying
Alumina
Bond strength (materials)
Copper alloys
Deposition
Energy dispersive spectroscopy
Scanning electron microscopy
Surface treatment
Titanium alloys
X ray diffraction analysis
分类号
TQ174.444 [化学工程—陶瓷工业]
TG113 [金属学及工艺—物理冶金]
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职称材料
题名
塑料真空镀膜吸附机理及工艺的探讨(五)
被引量:
2
5
作者
陆国柱
机构
机械电子工业部沈阳真空技术研究所
出处
《真空》
CAS
北大核心
1990年第1期57-61,共5页
文摘
在这部分,对当前关于真空镀膜吸附机理的理论问题进行了讨论,对空余键力在真 空镀膜中的应用,化学吸附的条件,增强膜基界面间的吸附强度的理论依据进行了讨论, 仅供参考。
关键词
化学吸附
真空镀膜
空余键力理论
塑料
工艺
设备维修
分类号
TQ174.444 [化学工程—陶瓷工业]
TQ174.463 [化学工程—陶瓷工业]
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职称材料
题名
H13模具钢表面电火花沉积层工艺及其性能研究
被引量:
5
6
作者
李福海
代明江
陈兴驰
邓畅光
马文有
机构
广东省新材料研究所激光制造研究室
出处
《材料研究与应用》
CAS
2018年第1期22-27,共6页
基金
广州市国际合作项目(2013J4500073)
广东省国际合作项目(2013B050800033)
文摘
以部分烧结的WC-Co硬质合金为电极,采用电火花沉积的方法,在H13钢基体表面制备了沉积层,并对影响沉积过程的电极极性、电流及脉冲持续时间等3个关键参数进行了优化,系统测试了硬化层的微观结构和性能.结果表明:负极性连接时,基体表面形成了明显的表面沉积层;在优化的条件下(负极性连接、电流为7A、脉冲持续时间为15ms)和2h电火花处理后,得到了性能优良的沉积层,该沉积层成分具有电极(W和C)及基体的成分(Fe),沉积层的白亮层厚度超过30μm,硬度超过1330Hv,有望在模具行业及耐磨领域中有一定的应用前景.
关键词
部分烧结电极
电火花沉积
WC—Co
沉积层
Keywords
partially sintered electrode
electrical discharge deposition
WC-Co
deposition
分类号
TQ174.444 [化学工程—陶瓷工业]
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职称材料
题名
SiO_2/TiO_2变折射率光学薄膜制造技术研究
被引量:
3
7
作者
宁晓阳
杭凌侠
郭峰
潘永强
机构
西安工业大学
陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室
出处
《表面技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第6期58-61,77,共5页
文摘
探讨了单源混蒸技术制备SiO2/TiO2变折射率薄膜的可行性,分别蒸发SiO2和TiO2质量比为1∶1和1∶2的混料,研究分析了薄膜折射率的变化情况,并将其与双源共蒸的方法进行了比较。实验中发现,两种材料蒸发方式的差异是影响SiO2/TiO2变折射率薄膜制备的主要因素,尚未发现混料中SiO2和TiO2的质量比与SiO2/TiO2薄膜折射率的对应关联。
关键词
SiO2/TiO2薄膜
单源混蒸
电子束蒸发
变折射率
Keywords
SiO2/TiO2 thin film
single source mix evaporation
electron beam evaporation
nonlinear reflectivity index
分类号
TQ174.444 [化学工程—陶瓷工业]
O484.4 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
ZrYN层厚度对CrN/ZrYN纳米多层膜微观结构和力学性能的影响
沈嘉豪
王静静
杨志明
岳建岭
李伟
马迅
《有色金属材料与工程》
CAS
2023
0
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职称材料
2
电火花沉积工艺及沉积层性能的研究
王建升
《表面技术》
EI
CAS
CSCD
2005
22
下载PDF
职称材料
3
微等离子体增强电化学及其在表面技术中的应用
韩伟
何业东
《表面技术》
EI
CAS
CSCD
2005
1
下载PDF
职称材料
4
基于加弧辉光复合渗镀技术的Al_2O_3陶瓷表面合金化
王文先
张红霞
侯文义
崔泽琴
《材料热处理学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005
1
下载PDF
职称材料
5
塑料真空镀膜吸附机理及工艺的探讨(五)
陆国柱
《真空》
CAS
北大核心
1990
2
下载PDF
职称材料
6
H13模具钢表面电火花沉积层工艺及其性能研究
李福海
代明江
陈兴驰
邓畅光
马文有
《材料研究与应用》
CAS
2018
5
下载PDF
职称材料
7
SiO_2/TiO_2变折射率光学薄膜制造技术研究
宁晓阳
杭凌侠
郭峰
潘永强
《表面技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011
3
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职称材料
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