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六氟丁二烯的制备工艺研究进展
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作者 陈芳 夏秋阳 +2 位作者 王昊 朱建秀 杜晨峥 《有机氟工业》 CAS 2024年第1期23-27,共5页
六氟丁二烯因其刻蚀精准、绿色环保等优势而备受关注,成为新一代电子刻蚀气体的理想产品。目前已报道的六氟丁二烯制备路线复杂多样,以现有制备方法中涉及到的关键中间体为分类标准对当前主流制备工艺进行归纳,并对现阶段取得的进展展... 六氟丁二烯因其刻蚀精准、绿色环保等优势而备受关注,成为新一代电子刻蚀气体的理想产品。目前已报道的六氟丁二烯制备路线复杂多样,以现有制备方法中涉及到的关键中间体为分类标准对当前主流制备工艺进行归纳,并对现阶段取得的进展展开论述。在此基础上,总结主流制备工艺存在的问题并展望未来可行的技术研发方向。 展开更多
关键词 六氟丁二烯 制备工艺 电子气体 刻蚀 关键中间体
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ICP-MS检测六氟丁二烯中的31种金属元素
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作者 张中慧 杨献奎 +2 位作者 郑秋艳 郭君 李帅楠 《浙江化工》 CAS 2023年第4期44-49,共6页
电子气体中的杂质对半导体元件的质量极大影响。为更好地分析新型电子蚀刻气——六氟丁二烯中的杂质,建立了一种基于电感耦合等离子体质谱法(ICP-MS)的分析方法,针对气相六氟丁二烯中的金属杂质进行分析方法的改进研究。对仪器工作条件... 电子气体中的杂质对半导体元件的质量极大影响。为更好地分析新型电子蚀刻气——六氟丁二烯中的杂质,建立了一种基于电感耦合等离子体质谱法(ICP-MS)的分析方法,针对气相六氟丁二烯中的金属杂质进行分析方法的改进研究。对仪器工作条件进行了优化,并对取样方法进行了改进,减少了六氟丁二烯易液化带来的干扰。结果显示,所有金属元素线性相关系数(R2)均大于0.99,检测限均小于0.2×10^(-9),相对标准偏差(RSD)均小于5%,空白加标回收率在80%~120%范围内,多次取样后检测结果基本一致。 展开更多
关键词 电子特种气体 六氟丁二烯 分析方法 电感耦合等离子体质谱法(ICP-MS) 金属杂质
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模糊算法在氯丁二烯合成生产中的应用
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作者 杨广鑫 申彦军 +1 位作者 霍文成 霍焱鑫 《中国氯碱》 CAS 2020年第5期43-46,共4页
氯丁橡胶生产是以氯丁二烯单体经过乳液聚合生产胶乳,而氯丁二烯则是以乙炔法制备。乙炔二聚得到的乙烯基乙炔(MVA)与氯化氢(HCl)合成生成氯丁二烯(CD),国内其合成塔反应运行基于人工操作,劳动强度大且稳定性差。在自动控制方面,设计了... 氯丁橡胶生产是以氯丁二烯单体经过乳液聚合生产胶乳,而氯丁二烯则是以乙炔法制备。乙炔二聚得到的乙烯基乙炔(MVA)与氯化氢(HCl)合成生成氯丁二烯(CD),国内其合成塔反应运行基于人工操作,劳动强度大且稳定性差。在自动控制方面,设计了三维模糊(Fuzzy)控制器,与传统的PID串级控制相结合,实现了合成反应塔的优化控制。 展开更多
关键词 氯丁二烯 MVA HCL 模糊算法 Fuzzy-PID串级 智能控制
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六氟丁二烯制备及应用研究进展 被引量:9
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作者 丁远胜 刘少博 +5 位作者 潘彦 白占旗 缪光武 张金柯 张建君 张波 《化工生产与技术》 CAS 2016年第6期13-16,共4页
介绍了以不同氟化物为原料、通过不同合成途径制备六氟丁二烯的原理和工艺条件,总结展望了六氟丁二烯的应用前景。六氟丁二烯是一种环保、性能优异的氟碳化合物气体,其温室效应可以忽略不计。制备六氟丁二烯的工艺现在大多采用的脱卤反... 介绍了以不同氟化物为原料、通过不同合成途径制备六氟丁二烯的原理和工艺条件,总结展望了六氟丁二烯的应用前景。六氟丁二烯是一种环保、性能优异的氟碳化合物气体,其温室效应可以忽略不计。制备六氟丁二烯的工艺现在大多采用的脱卤反应,但可以工业化的合成方法却非常的少,改进脱卤反应,发现一种新的反应,找到更加经济的合成方法将是未来研究的一个重点。六氟丁二烯作为刻蚀气体,可以代替传统含氟刻蚀气成为下一代理想的干法刻蚀气之一,在含氟染料、含氟聚合物、含氟润滑油、含氟橡胶等领域也有潜在应用前景。 展开更多
关键词 六氟丁二烯 制备 蚀刻 应用
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氯丁二烯精馏过程的模拟计算
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作者 王允升 《化工设计》 1995年第4期32-35,共4页
本文通过选用适当的汽液平衡数学模型和根据实验数据回归模型参数,应用流程模拟软件对氯丁二烯精馏过程进行全面、系统的模拟计算,其计算结果与生产实际对照,经验证是正确的。该模拟计算适用于氯丁二烯精馏过程设计,也可用于工厂操... 本文通过选用适当的汽液平衡数学模型和根据实验数据回归模型参数,应用流程模拟软件对氯丁二烯精馏过程进行全面、系统的模拟计算,其计算结果与生产实际对照,经验证是正确的。该模拟计算适用于氯丁二烯精馏过程设计,也可用于工厂操作优化和工况研究等方面。 展开更多
关键词 氯丁二烯 精馏 模拟计算
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六氟-1,3-丁二烯的提纯方法及应用优势 被引量:5
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作者 徐娇 何双材 +3 位作者 胡欣 齐海 张金柯 白占旗 《低温与特气》 CAS 2014年第6期23-27,共5页
介绍了六氟-1,3-丁二烯的性质、纯化技术以及与传统含氟刻蚀气体刻蚀性能的比较。六氟-1,3-丁二烯是一种新型的电子气体,主要应用于超大规模集成电路的干法刻蚀方面。优越的刻蚀性能和优良的环境性能使其成为具有发展前景的下一代刻蚀... 介绍了六氟-1,3-丁二烯的性质、纯化技术以及与传统含氟刻蚀气体刻蚀性能的比较。六氟-1,3-丁二烯是一种新型的电子气体,主要应用于超大规模集成电路的干法刻蚀方面。优越的刻蚀性能和优良的环境性能使其成为具有发展前景的下一代刻蚀气体。 展开更多
关键词 电子气体 全氟-1 3-丁二烯 纯化 吸附
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高纯电子特气六氟丁二烯的纯化技术进展 被引量:4
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作者 李瑜哲 张智勇 +2 位作者 艾波 吴高胜 许保云 《有机氟工业》 CAS 2020年第2期25-29,52,共6页
六氟丁二烯是一种新型的含氟电子气体,具有优异的蚀刻性能,且更加环保。简述了六氟丁二烯的物理性质、蚀刻特点和产品规范,详细介绍了国内外六氟丁二烯纯化技术的进展。
关键词 六氟丁二烯 蚀刻 纯化 性质 进展
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制冷剂HFC-134a资源化利用制备六氟丁二烯
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作者 黄瑛 赵卫娟 《浙江化工》 CAS 2017年第6期3-5,共3页
介绍了各国对HFC-134a高GWP制冷剂的政策、法规以及六氟丁二烯的制备方法;提出了利用HFC-134a为原料制备低GWP、高精度的蚀刻气体六氟丁二烯是一条HFC-134a资源化转化的有效途径。
关键词 HFC-134A 资源化利用 六氟丁二烯 蚀刻气体
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俄罗斯六氟丁二烯的合成工艺进展 被引量:3
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作者 宋敏彦 吴君毅 《有机氟工业》 CAS 2015年第3期49-51,共3页
六氟丁二烯是一种新型蚀刻气体,介绍了俄罗斯六氟丁二烯的合成工艺。俄罗斯主要以1,2,3,4-四氯六氟丁烷和三氟氯乙烯为原料合成六氟丁二烯,简要介绍了六氟丁二烯在俄罗斯的市场情况。
关键词 六氟丁二烯 合成工艺 俄罗斯 蚀刻气
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氯化亚铜触媒配制槽孔洞的修补
10
作者 刘宝珠 《粘接》 CAS 1989年第5期40-40,共2页
触媒配制槽是我厂单体车间生产氯丁二烯的关键设备之一,它能否正常运转直接影响着单体的产量和质量。 1987年11月,由于原配制的触媒已趋于失效,该车间决定配制数吨新触媒,以解决生产的急需。在配制过程中,突然发现槽内液面迅速上升,只... 触媒配制槽是我厂单体车间生产氯丁二烯的关键设备之一,它能否正常运转直接影响着单体的产量和质量。 1987年11月,由于原配制的触媒已趋于失效,该车间决定配制数吨新触媒,以解决生产的急需。在配制过程中,突然发现槽内液面迅速上升,只得停止配制,将数吨触媒压入贮槽中,经检查发现在设备本体的人孔左下方,有一椭圆形孔洞(a≈16mm,b≈8 mm),四周出现不同程度的凹陷。由于设备采用蒸汽加热,使用温度较高,又有搅拌,且介质是一种强腐蚀体系(Cl_2、HCl),同时该车间又属甲级防爆车间。所以采用“T型螺栓压固法”修补,其工艺过程如下: 一、 展开更多
关键词 氯丁二烯 触媒 配制槽 槽孔 修补
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六氟丁二烯的合成工艺分析 被引量:2
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作者 曹伟 《有机氟工业》 CAS 2018年第4期33-36,共4页
六氟丁二烯是一种温室效应低、蚀刻性能好的新型电子气体,应用前景较好。它的合成工艺多而繁杂,对此进行了梳理,从合成关键中间体的角度进行了归纳,提出了进一步研究的方向。
关键词 六氟丁二烯 电子蚀刻气体 合成 三氟氯乙烯
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四氟乙烷制备全氟丁二烯的工艺 被引量:2
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作者 李华新 吴盛均 +2 位作者 陆敏垒 邹学明 陈彩艳 《浙江化工》 CAS 2018年第9期15-16,共2页
介绍了全氟丁二烯的性质和应用。详细描述了以四氟乙烷为原料制备全氟丁二烯的工艺。
关键词 四氟乙烷 全氟丁二烯 研究
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梯矩形立体连续传质塔板在氯丁二烯精馏塔中的应用
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作者 丁少峰 陆丁丁 +1 位作者 张红卫 杜佩衡 《石油和化工设备》 CAS 2010年第1期9-10,23,共3页
氯丁橡胶生产中氯丁二烯(CP)单体的纯度直接影响产品质量,且氯丁二烯在精馏过程中易自聚而堵塞塔盘,采用梯矩形立体连续传质塔板(LLC-Tray)对旧塔(穿流筛板塔)进行改造后性能优异,高沸物含量由1000ppm降至200ppm以下,全塔压降约降低5kPa... 氯丁橡胶生产中氯丁二烯(CP)单体的纯度直接影响产品质量,且氯丁二烯在精馏过程中易自聚而堵塞塔盘,采用梯矩形立体连续传质塔板(LLC-Tray)对旧塔(穿流筛板塔)进行改造后性能优异,高沸物含量由1000ppm降至200ppm以下,全塔压降约降低5kPa,处理量增加30%以上,且无自聚堵塞塔盘的现象。本文对LLC-Tray的结构、操作原理及在氯丁二烯精馏塔中应用进行了详细介绍,该技术在氯丁橡胶行业应用前景广阔。 展开更多
关键词 梯矩形立体连续传质塔板 氯丁二烯 精馏塔 应用
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六氟丁二烯的合成方法研究进展 被引量:1
14
作者 李丽 王飞 +1 位作者 唐念 周永言 《有机氟工业》 CAS 2019年第3期51-53,共3页
介绍了六氟丁二烯的物理化学性质及环保性能,并对其合成方法进行了分类介绍。提出了具有前景的制备研究方向。
关键词 六氟丁二烯 电子蚀刻 制备
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设法提高氯丁二烯产量
15
作者 张兰 《化工质量》 2003年第5期44-47,共4页
一、QC小组概况(略)二。
关键词 氯丁二烯 产量 乙烯基乙炔 原因分析 目标值 生产能力 合成塔 设备改造
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延长盐酸脱析工艺中再沸器使用寿命的探讨
16
作者 李守烈 《中国氯碱》 CAS 1990年第4期30-31,共2页
关键词 氯丁二烯 盐酸 脱析工艺 再沸器
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氯丁二烯与苯乙烯的乳液共聚合
17
作者 肖贵正 陶家良 +1 位作者 余寿明 叶昌文 《化学世界》 CAS CSCD 1989年第3期110-112,共3页
一、前言氯丁二烯均聚物,由于分子结构规整(约含有90%1,4-链节,少量1,2-及3,4-链节),极性基-Cl间隔有规律,易于结晶。氯丁二烯与少量其他化合物共聚合,由于第二单体的引入,破坏了聚氯丁二烯分子结构的均一性,抗结晶性能应有所改善。本... 一、前言氯丁二烯均聚物,由于分子结构规整(约含有90%1,4-链节,少量1,2-及3,4-链节),极性基-Cl间隔有规律,易于结晶。氯丁二烯与少量其他化合物共聚合,由于第二单体的引入,破坏了聚氯丁二烯分子结构的均一性,抗结晶性能应有所改善。本工作意欲在氯丁二烯乳液聚合的工作基础上,进一步与少量苯乙烯共聚,探索共聚规律及测试共聚物的特性。测试结果表明。 展开更多
关键词 氯丁二烯 苯乙烯 乳液共聚合
全文增补中
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