锗烷气体制备装置及利用其制备单锗烷气体的方法

申请（专利）号：201380043627.9 公开（公告）日：2015-05-13 申请（专利权）人：奥瑟亚新材料股份有限公司摘要：本发明涉及一种锗烷气体制备装置及利用其制备单锗烷气体的方法。