钢基渗铝过渡层上沉积金刚石薄膜的研究

在微波等离子体化学气相沉积 (MPCVD)装置中 ,以 4 5钢钢板上的渗铝层作为过渡层 ,制备金刚石薄膜。研究了基体表面不同的铝含量对金刚石膜质量的影响。扫描电子显微镜 (SEM )、能谱和Raman谱测试表明 ,渗铝层中的FeAl等金属间化合物在低温沉积时能减弱碳向基体的扩散 ,防止非金刚石相碳的出现 ,从而有利于高质量的金刚石薄膜的沉积。而试样表面过低的铝含量及过高的沉积温度不利于金刚石薄膜的形核与生长。