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粉喷桩与石灰桩共同作用的复合地基设计分析
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作者 唐红 卢亦焱 《工程力学》 EI CSCD 北大核心 1999年第a01期798-801,共4页
本文介绍了粉喷桩和石灰桩处理软土地基的方法,结合工程,分析和探讨了粉喷桩-石灰桩共同作用处理软弱地基的机理及其效果,可为其它的工程应用提供参考。
关键词 粉喷桩 石灰桩 复合地基 设计
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影像干涉光刻技术
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作者 童志义 《电子工业专用设备》 1998年第4期54-59,共6页
采用λ/2的光束复制出了更高分辨率极限的线间图形。它将电路图形的CD尺寸极限推进到λ/4,当采用193nm光源曝光时,CD尺寸为50nm以下。干涉光刻技术(IL)探讨了这种周期性图形的最终极限。影像干涉光刻技术未来的... 采用λ/2的光束复制出了更高分辨率极限的线间图形。它将电路图形的CD尺寸极限推进到λ/4,当采用193nm光源曝光时,CD尺寸为50nm以下。干涉光刻技术(IL)探讨了这种周期性图形的最终极限。影像干涉光刻技术未来的发展,将使光学方法制作100nm以下的电路图形成为可能。 展开更多
关键词 影像干涉光刻 光刻技术 ULSI IC
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