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微细加工技术发展研究
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作者 谢常青 陈梦真 《科技导报》 CAS CSCD 1995年第1期36-37,14,共3页
微细加工技术发展研究ＲｅｓｅａｒｃｈｏｎＭｉｃｒｏｆａｂｒｉｃａｔｉｏｎＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ谢常青，陈梦真（中国科学院微电子中心，北京１０００１０）微细加工技术是集成电路（ＩＣ）工业的基础，是半导体器件研究的必要手段... 微细加工技术发展研究ＲｅｓｅａｒｃｈｏｎＭｉｃｒｏｆａｂｒｉｃａｔｉｏｎＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ谢常青，陈梦真（中国科学院微电子中心，北京１０００１０）微细加工技术是集成电路（ＩＣ）工业的基础，是半导体器件研究的必要手段。其中的ＩＣ以动态随机存储器（ＤＲ... 展开更多
关键词 微细加工技术 发展 集成电路 半导体
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