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磁控溅射沉积高承载、低摩擦MoS_2/Ti复合薄膜 被引量:16
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作者 关晓艳 王立平 +1 位作者 张广安 蒲吉斌 《摩擦学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第3期259-265,共7页
采用磁控溅射技术制备了不同Ti含量的Mo S2/Ti复合薄膜,利用SEM、AFM、纳米压痕仪、XRD和CSM摩擦试验机分析了复合薄膜的结构、力学和摩擦学性能.结果表明:复合薄膜结构致密,表面光滑平整,且具有较高的硬度,Ti含量较低的Mo S2/Ti复合薄... 采用磁控溅射技术制备了不同Ti含量的Mo S2/Ti复合薄膜,利用SEM、AFM、纳米压痕仪、XRD和CSM摩擦试验机分析了复合薄膜的结构、力学和摩擦学性能.结果表明:复合薄膜结构致密,表面光滑平整,且具有较高的硬度,Ti含量较低的Mo S2/Ti复合薄膜呈现以(002)基面为主的择优取向;在大气环境下,赫兹接触应力为2.5 GPa的摩擦工况下,Ti含量较低的Mo S2/Ti复合薄膜的摩擦系数低至0.02,磨损率低至10-17m3/(N·m)数量级,呈现出高承载、低摩擦、耐磨损的优异摩擦学性能.这是由于Ti的掺杂一方面提高了复合薄膜的力学和抗氧化性能,另一方面复合薄膜的(002)基面取向对其摩擦磨损性能发挥了重要作用. 展开更多
关键词 MoS2/Ti复合薄膜 高承载 (002)基面 摩擦学性能
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反应磁控溅射制备c轴择优取向氮化铝薄膜的研究进展 被引量:2
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作者 周剑 赵楷 +2 位作者 冯斌 金浩 王德苗 《真空》 CAS 北大核心 2011年第6期1-9,共9页
AlN薄膜在力学、光学和电子学中有着广泛的应用,而反应磁控溅射技术由于沉积温度低,成本低,非常适合沉积应用于GHz通信系统中体声波(BAW)和表面声波(SAW)器件的(002)取向的AlN薄膜。本文先概述了反应溅射的两个模型,然后综述了工艺参数... AlN薄膜在力学、光学和电子学中有着广泛的应用,而反应磁控溅射技术由于沉积温度低,成本低,非常适合沉积应用于GHz通信系统中体声波(BAW)和表面声波(SAW)器件的(002)取向的AlN薄膜。本文先概述了反应溅射的两个模型,然后综述了工艺参数包括溅射气压、溅射功率、氮气浓度、衬底温度、衬底种类、靶基距、薄膜厚度、衬底偏压、退火处理等对AlN薄膜生长和性能的影响。 展开更多
关键词 氮化铝 反应溅射 (002)择优取向 工艺参数
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FBAR用高质量AlN薄膜制备
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作者 韩东 霍彩红 邓建国 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2012年第8期627-629,共3页
采用直流磁控反应溅射法,在基片表面引入RF偏置,在Si(111)衬底上成功制备了(002)向AlN薄膜。使用高分辨率X射线衍射仪(XRD)来表征薄膜质量。当RF偏置从0 W变化到20 W时,XRD测试(002)摇摆曲线的半高宽有着显著的变化。当RF偏置为15 W时,... 采用直流磁控反应溅射法,在基片表面引入RF偏置,在Si(111)衬底上成功制备了(002)向AlN薄膜。使用高分辨率X射线衍射仪(XRD)来表征薄膜质量。当RF偏置从0 W变化到20 W时,XRD测试(002)摇摆曲线的半高宽有着显著的变化。当RF偏置为15 W时,AlN薄膜表现出了良好的(002)生长取向。实验结果表明,适当的RF偏置能够提高Al原子和N原子反应时的活性,促进AlN薄膜的(002)择优生长。该溅射方案应用于薄膜体声波谐振器(FBAR)谐振器工艺加工,成功制作了Q值为300,机电耦合系数为5%的FBAR样品。 展开更多
关键词 氮化铝薄膜 磁控反应溅射 RF偏置 薄膜体声波谐振器 (002)向
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福建煤系石墨资源状况和开发前景 被引量:7
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作者 陈泉霖 程乔 +4 位作者 邓瑞锦 林晓炎 王路 丁正云 李阳 《煤田地质与勘探》 CAS CSCD 北大核心 2020年第1期12-17,26,共7页
福建省煤系石墨赋存于中二叠统童子岩组,是无烟煤受高温高压作用进一步变质而成,属隐晶质石墨。通过调查发现,福建省煤系石墨矿井、勘查区处于未开采或停采状态,开采矿区也多以煤炭开采的形式生产销售,造成资源浪费。为合理开发利用煤... 福建省煤系石墨赋存于中二叠统童子岩组,是无烟煤受高温高压作用进一步变质而成,属隐晶质石墨。通过调查发现,福建省煤系石墨矿井、勘查区处于未开采或停采状态,开采矿区也多以煤炭开采的形式生产销售,造成资源浪费。为合理开发利用煤系石墨资源,采用d(002)(碳层间距)–R2(拉曼参数)模板鉴别煤系石墨并确定煤系石墨等级,结合区域构造的控制作用,划分了大田–漳平与永安–安溪石墨成矿区。在此基础上,综合实测数据和历年勘查资料分析,预测出永安长垇、永安下盖竹–甫弼–塘下洋、大田琼口–小溪洋–永安老鹰山、漳平可坑–乌石隔、漳平乌坑–华安福田5块煤系石墨资源远景区,其预测资源量8196万t,展现了良好的开发前景。针对目前煤系石墨资源开发利用现状,提出"规范煤系石墨资源开采秩序、建立煤与煤系石墨鉴别指标并设立明确的煤矿与石墨矿权规范、优化石墨资源开发利用体系等"系列建议,以实现福建石墨产业结构协调化、技术高度化、产品系列化和价值链完整化。 展开更多
关键词 煤系石墨 开发前景 碳层间距(d_(002)) 拉曼参数(R_2) 童子岩组 含煤地层 福建省
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煤系石墨鉴定指标探讨
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作者 栗克坤 王桂香 +7 位作者 陈新立 任辉 焦森 徐详 张宇航 王德利 魏天璐 房慧 《中国煤炭地质》 2022年第12期34-41,共8页
在吉林磐石、湖南郴州、湖南新化、福建永安、福建大田、陕西凤县、内蒙古巴音淖尔等地开展典型煤系石墨矿床野外调查采样和分析测试基础上,探讨煤系石墨鉴定指标。XRD(晶格间距d_(002))是鉴定煤系石墨的可靠指标,Raman(R_(2))是鉴定煤... 在吉林磐石、湖南郴州、湖南新化、福建永安、福建大田、陕西凤县、内蒙古巴音淖尔等地开展典型煤系石墨矿床野外调查采样和分析测试基础上,探讨煤系石墨鉴定指标。XRD(晶格间距d_(002))是鉴定煤系石墨的可靠指标,Raman(R_(2))是鉴定煤系石墨的辅助指标;煤系石墨的鉴定指标:煤系石墨(d_(002)=0.3354~0.338nm,R_(2)≤0.55)、煤系半石墨(d_(002)=0.338~0.344nm,R_(2)≤0.65),当XRD参数与Raman参数不一致时应以XRD参数为准。 展开更多
关键词 煤系石墨 鉴定方法 H/C原子比 镜质体最大反射率(R_(o max)) XRD(晶格间距d_(002)) Raman(R_(2))
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国家统计局、国家发展计划委员会、国家经济贸易委员会、财政部、中国人民银行、国家外汇管理局、国家税务总局、国家工商行政管理总局关于实施中国国民经济核算体系(2OO2)的通知
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《中国外汇管理》 2003年第C00期10-10,共1页
关键词 中国 《中国国民经济核算体系(002)》 国民经济管理 经济决策
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Ultrathin surface coating of Cu enabling long-life Zn metal anodes 被引量:1
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作者 Sang-Sang Liu Ya-Ru Liang +5 位作者 Wen-Long Chen Ze-Hua Wang Yi-Long Dai Fu-Gang Qi Zeng-Sheng Ma Xiao-Ping Ouyang 《Rare Metals》 SCIE EI CAS CSCD 2024年第5期2125-2135,共11页
Aqueous zinc-ion batteries(AZIBs)are regarded as promising energy storage devices due to their low cost,high capacity,and ecological safety.Nevertheless,the severe dendritic growth and side reactions hinder their prac... Aqueous zinc-ion batteries(AZIBs)are regarded as promising energy storage devices due to their low cost,high capacity,and ecological safety.Nevertheless,the severe dendritic growth and side reactions hinder their practical applicability significantly.Herein,an ultrathin Cu coating layer(~200 nm)is decorated on zinc foils via filtered cathodic vacuum arc deposition technology,aiming to achieve high-performance AZIBs.The Cu layer effectively suppresses chemical corrosion and hydrogen evolution reactions and enables preferential(002)Zn deposition during the stripping/plating cycles.Consequently,the Cu@Zn anode represents an elongated cycle life over 4,000 h at 2 mA·cm^(-2)/2 mAh·cm^(-2).Even in conditions of high current density of 5 and 10 mA·cm^(-2),the Cu@Zn anode shows prolonged cycling stability exceeding 4000 and 2000 h,respectively.Such advantages also bring high Coulombic efficiency of 99.87%under 5 mAh·cm^(-2)in Cu@Ti||Zn half-cell over 1500 cycles.Moreover,the Cu@Zn||MnO_(2)full cell demonstrates a superior cyclability with a specific capacity of 203 mAh·g^(-1)after 500 cycles a1 A·g^(-1). 展开更多
关键词 Zn ion battery Zn metal anode Zn(002)plane Cu coating
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Flat Zn deposition at battery anode via an ultrathin robust interlayer
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作者 Yizhou Wang Jianyu Chen +5 位作者 Zibo Chen Qian He Zhengnan Tian Jin Zhao Yanwen Ma Husam N.Alshareef 《Nano Research》 SCIE EI CSCD 2024年第9期8104-8111,共8页
Rechargeable aqueous zinc(Zn)ion batteries(AZIBs)using low-cost and safe Zn metal anodes are considered promising candidates for future grid-scale energy storage systems,but the Zn dendrite problem severely hinders th... Rechargeable aqueous zinc(Zn)ion batteries(AZIBs)using low-cost and safe Zn metal anodes are considered promising candidates for future grid-scale energy storage systems,but the Zn dendrite problem severely hinders the further prospects of AZIBs.Regulating Zn depositing behaviors toward horizontal alignment is highly effective and thus has received huge attention.However,such a strategy is usually based on previous substrate engineering,which requires complex preparation or expensive equipment.Therefore,it is essential to develop a novel solution that can realize horizontally aligned Zn flake deposition via easy operation and low cost.Herein,we report an ultrathin and robust Kevlar membrane as the interlayer to mechanically suppress Zn dendrite growth.Compared to the randomly distributed flaky dendrites in the control group,the deposited Zn sheets would grow into parallel alignment with the existence of such interlayer.As the dendrites are effectively suppressed,Zn||Cu asymmetric,Zn||Zn symmetric,and Zn||MnO_(2)full batteries using Kevlar interlayer deliver significantly improved cycling stabilities.Furthermore,the Zn||MnO_(2)pouch cell using a Kevlar interlayer delivers stable cycling performance and shows stable operation during multi-angle folding.We believe this work provides a new possibility for regulating Zn deposition from a crystallographic perspective. 展开更多
关键词 Zn metal anodes Zn dendrites aqueous Zn ion batteries dendrite suppression (002)crystal plane
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Al薄膜对(002)ZnO/Al/Si结构基片中ZnO薄膜特性影响的实验研究 被引量:4
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作者 张倩 陈希明 +2 位作者 杨保和 阴聚乾 吴晓国 《光电子.激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第5期935-939,共5页
采用射频磁控溅射法沉积制备了(002)ZnO/Al/Si复合结构。研究了Al薄膜对(002)ZnO/Al/Si复合结构的声表面波器件(SAWD)基片性能影响以及当ZnO薄膜厚度一定时的Al膜最佳厚度。采用X射线衍射(XRD)对Al和ZnO薄膜进行了结构表征,采用扫描电镜... 采用射频磁控溅射法沉积制备了(002)ZnO/Al/Si复合结构。研究了Al薄膜对(002)ZnO/Al/Si复合结构的声表面波器件(SAWD)基片性能影响以及当ZnO薄膜厚度一定时的Al膜最佳厚度。采用X射线衍射(XRD)对Al和ZnO薄膜进行了结构表征,采用扫描电镜(SEM)对ZnO薄膜进行表面形貌表征,并从薄膜生长机理角度进行了分析。结果表明,加Al薄膜有利于ZnO薄膜按(002)择优取向生长,并且ZnO薄膜的结晶性能提高;与(002)ZnO/Si结构基片相比,当Al薄膜厚为100nm时,(002)ZnO/Al/Si结构中ZnO薄膜的机电耦合系数提高了65%。 展开更多
关键词 声表面波器件(SAWD) (002)择优取向 Al薄膜
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