综述了基于原子力显微镜的红外光谱(Atomic force microscopy-based infrared spectroscopy,AFM-IR)的特点,测量和检测原理及其技术优势。AFM-IR是能在纳米尺度对不同材料进行表征的新兴技术,该技术可以以远低于常规光学衍射极限的分辨...综述了基于原子力显微镜的红外光谱(Atomic force microscopy-based infrared spectroscopy,AFM-IR)的特点,测量和检测原理及其技术优势。AFM-IR是能在纳米尺度对不同材料进行表征的新兴技术,该技术可以以远低于常规光学衍射极限的分辨率检测材料的化学成分,同时提供不同组分的分布图谱。AFM-IR的原理是利用原子力显微镜(AFM)悬臂梁的振动检测样本因吸收红外辐射脉冲产生的热膨胀,因此AFM-IR在继承了AFM的纳米级分辨率的基础上结合了红外光谱的化学分析能力,克服了二者原有的缺点并实现了优势互补。这项新技术在过去十多年备受关注并获得了长足的发展,因其操作简便、系统稳定、样品制备要求相对较低,以及与红外光谱直接相关而无需数学建模或额外数据后续处理,已被广泛用于材料科学、生命科学等诸多领域。展开更多
文摘综述了基于原子力显微镜的红外光谱(Atomic force microscopy-based infrared spectroscopy,AFM-IR)的特点,测量和检测原理及其技术优势。AFM-IR是能在纳米尺度对不同材料进行表征的新兴技术,该技术可以以远低于常规光学衍射极限的分辨率检测材料的化学成分,同时提供不同组分的分布图谱。AFM-IR的原理是利用原子力显微镜(AFM)悬臂梁的振动检测样本因吸收红外辐射脉冲产生的热膨胀,因此AFM-IR在继承了AFM的纳米级分辨率的基础上结合了红外光谱的化学分析能力,克服了二者原有的缺点并实现了优势互补。这项新技术在过去十多年备受关注并获得了长足的发展,因其操作简便、系统稳定、样品制备要求相对较低,以及与红外光谱直接相关而无需数学建模或额外数据后续处理,已被广泛用于材料科学、生命科学等诸多领域。
文摘为了解决扫描探针显微镜(Scanning Probe Microscope,SPM)现有校准方法复杂程度高且存在局限性的问题,提出了一种基于二维标准微尺度正交栅格的SPM校准方法,通过对扫描获取的栅格图像进行互相关/卷积(Cross-correlation/Convolution,CC)滤波,实现对栅距中心坐标的峰值检测。校准的运动几何误差包括x轴和y轴位置偏差Δ_(x)和Δ_(y)、沿x轴和y轴扫描的直线度偏差δy和δx以及两轴之间的正交性偏差γ_(xy)。根据x轴和y轴扫描像素数、扫描范围、标准栅格计量检定节距平均值、栅距平均值计算得出校准因子C_(x)和C_(y)。采用标称节距为10μm的正交栅格样板对原子力显微镜(Atomic Force Microscope,AFM)进行校准实验,结果显示C_(x)和C_(y)分别为0.925和1.050,γ_(xy)为0.015°,该台AFM的校准扩展不确定度为0.33μm(k=2.56)。研究成果对于推动SPM校准标准文件的具体实施和执行具有积极意义,并为SPM仪器研制及性能评估提供了技术参考。