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剥离工艺制作SAW滤波器IDT的研究 被引量:6
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作者 陈颖慧 高杨 +1 位作者 郑英彬 赵兴海 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2012年第2期124-128,共5页
研究了用于声表面波滤波器的微米尺度的叉指换能器的制作工艺。利用剥离工艺,分别采用铝和铬金两种金属制作了叉指换能器的电极,分析了剥离工艺制作叉指电极时的工艺特性。对加工样品的测量分析结果表明,利用剥离工艺制备的叉指换能器... 研究了用于声表面波滤波器的微米尺度的叉指换能器的制作工艺。利用剥离工艺,分别采用铝和铬金两种金属制作了叉指换能器的电极,分析了剥离工艺制作叉指电极时的工艺特性。对加工样品的测量分析结果表明,利用剥离工艺制备的叉指换能器电极线条光滑、陡直、清晰,但是成品率较低。对比分析了采用铝和铬金制作的叉指换能器样品结构,结果表明两种金属材料在剥离液中的腐蚀时间不同,铝材料需要较长的剥离时间;两种材料制作的电极图形质量也有差异,铝材料制作的电极更为陡直、精细。 展开更多
关键词 声表面波(SAW) 滤波器 叉指换能器(idt) 剥离 陡直度
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ZnO/IDT/金刚石结构SAW滤波器的设计和制作 被引量:3
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作者 陈颖慧 郑英彬 +3 位作者 席仕伟 唐彬 王旭光 张慧 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2013年第6期443-447,478,共6页
传统材料制备的声表面波(SAW)滤波器的中心频率f大多位于较低的频段(f<500 MHz),但是无线通信频段逐渐向着高频化的方向发展,因此在SAW器件领域中引入高声速材料如金刚石以提高中心频率成为一种必然趋势。基于金刚石材料、采用ZnO/I... 传统材料制备的声表面波(SAW)滤波器的中心频率f大多位于较低的频段(f<500 MHz),但是无线通信频段逐渐向着高频化的方向发展,因此在SAW器件领域中引入高声速材料如金刚石以提高中心频率成为一种必然趋势。基于金刚石材料、采用ZnO/IDT/金刚石新型结构,设计了交错叉指结构和镜像阻抗连接结构的叉指换能器(IDT)参数。通过优化的工艺制备流程,获得了金刚石SAW滤波器样品。最后采用RF探针台对样品进行了性能测试和数据分析。测试结果表明制备的SAW滤波器样品的测试结果与理论值比较符合,交错叉指结构滤波器获得了很低的插损,镜像阻抗连接结构滤波器有效地提高了带外抑制度。样品IDT指宽2μm,SAW滤波器中心频率可达0.775 GHz。 展开更多
关键词 射频微机电系统(RFMEMS) 声表面波滤波器(SAW) 金刚石 氧化锌薄膜 叉指换能器(idt)
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我国消费者支付宝钱包使用意向研究--基于TAM和IDT理论 被引量:18
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作者 李琪 殷猛 孙乔 《大连理工大学学报(社会科学版)》 CSSCI 北大核心 2018年第1期23-29,共7页
支付宝钱包是我国移动支付的主要工具之一。文章以技术接受理论和创新扩散理论为基础,结合感知信任和感知风险,构建支付宝钱包消费者使用意愿研究模型,并通过调查问卷收集数据,利用SPSS21.0和AMOS21.0进行数据处理和假设检验。研究结果... 支付宝钱包是我国移动支付的主要工具之一。文章以技术接受理论和创新扩散理论为基础,结合感知信任和感知风险,构建支付宝钱包消费者使用意愿研究模型,并通过调查问卷收集数据,利用SPSS21.0和AMOS21.0进行数据处理和假设检验。研究结果表明:感知易用性、感知有用性、感知信任均显著影响消费者的使用态度;相容性和外部因素是感知有用性和感知易用性的主要影响因素;个人创新性正向影响消费者信任;感知风险负向影响消费者信任;消费者的使用态度能够显著正向影响消费者的使用意愿。 展开更多
关键词 TAM idt 移动支付 支付宝钱包 使用意向
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硅基AlN椭圆形IDT-SAW滤波器的设计 被引量:3
4
作者 王代强 陈雨青 +1 位作者 姚祖铭 刘桥 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2013年第12期1691-1694,共4页
在已知的压电材料中,AlN薄膜的声表面波传播速度是最快的。采用硅基AlN薄膜作为压电材料,利用变迹加权的方法来优化设计IDT,改进型δ函数模型为椭圆形结构IDT的建模工具。通过建模仿真并根据仿真结果设计SAW带通滤波器版图,在实验室制... 在已知的压电材料中,AlN薄膜的声表面波传播速度是最快的。采用硅基AlN薄膜作为压电材料,利用变迹加权的方法来优化设计IDT,改进型δ函数模型为椭圆形结构IDT的建模工具。通过建模仿真并根据仿真结果设计SAW带通滤波器版图,在实验室制作了中心频率为300MHz,带内插损11dB的SAW带通滤波器样品,测试结果表明其仿真结果与试验结果一致性较好,具有实际应用意义。 展开更多
关键词 滤波器 椭圆形idt结构 变迹加权 插入损耗 ALN薄膜
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变迹加权三角形IDT结构的SAW滤波器设计与实现 被引量:3
5
作者 王代强 陈雨青 +1 位作者 徐稀嫔 刘桥 《西南大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2011年第7期31-35,共5页
利用改进的δ函数模型对变迹加权三角形的IDT结构进行建模仿真,根据仿真结果设计SAW带通滤波器版图,并在实验室制作了中心频率为200 MHz、带内插损为6 dB的SAW带通滤波器样品,结果表明其仿真结果与试验结果的一致性较好.
关键词 变迹加权 idt结构 插入损耗 带通滤波器
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基于IDT和TAM理论的O2O电子商务消费者采纳行为研究 被引量:12
6
作者 陈湘青 《企业经济》 北大核心 2016年第1期96-100,共5页
基于创新扩散理论与技术采纳模型,分析了消费者O2O电子商务采纳行为的影响因素,引入了比较优势、兼容程度、复杂程度、感知易用性、感知有用性、感知风险、采纳意向与采纳行为8个结构变量,构建了O2O电子商务消费者采纳行为分析模型,并... 基于创新扩散理论与技术采纳模型,分析了消费者O2O电子商务采纳行为的影响因素,引入了比较优势、兼容程度、复杂程度、感知易用性、感知有用性、感知风险、采纳意向与采纳行为8个结构变量,构建了O2O电子商务消费者采纳行为分析模型,并以某大型团购网站为例进行实证分析。研究结果表明,IDT与TAM等经典理论同样适用于O2O电子商务领域,O2O电子商务的创新特性与技术采纳之间存在明显的影响关系。结合有关分析,提出了创新O2O电子商务模式,降低消费者感知风险,提高感知易用性与有用性等对策建议。 展开更多
关键词 O2O idt TAM 采纳行为 电子商务
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圆形IDT结构声表面波滤波器的设计与实现 被引量:1
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作者 王代强 姚祖铭 +3 位作者 陈雨青 杨发顺 龚红 刘桥 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2013年第4期50-53,共4页
采用硅基AlN薄膜作为压电衬底,利用改进的δ函数模型对变迹加权圆形IDT结构进行建模仿真,根据仿真结果设计SAW带通滤波器版图,并在实验室制作了中心频率为300 MHz,带内插损8 dB的SAW带通滤波器样品。测试结果表明,其仿真结果与试验结果... 采用硅基AlN薄膜作为压电衬底,利用改进的δ函数模型对变迹加权圆形IDT结构进行建模仿真,根据仿真结果设计SAW带通滤波器版图,并在实验室制作了中心频率为300 MHz,带内插损8 dB的SAW带通滤波器样品。测试结果表明,其仿真结果与试验结果一致性较好。 展开更多
关键词 声表面波带通滤波器 变迹加权 圆形idt结构 插入损耗 硅基AlN薄膜 Δ函数
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基于TAM和IDT模型的电子支付用户采纳行为实证研究 被引量:3
8
作者 刘罡 杨坚争 《科技与管理》 2019年第3期63-70,共8页
随着中国电子商务的迅速发展,电子支付作为一种崭新的支付方式越来越被大众所接受。本文对国内外电子支付影响因素相关文献进行了分析和整理,基于TAM和IDT模型提出了电子支付用户采纳行为模型。选取以中国网民以及在校大学生为主要研究... 随着中国电子商务的迅速发展,电子支付作为一种崭新的支付方式越来越被大众所接受。本文对国内外电子支付影响因素相关文献进行了分析和整理,基于TAM和IDT模型提出了电子支付用户采纳行为模型。选取以中国网民以及在校大学生为主要研究样本,使用结构方程对模型进行假设检验。研究结果支持了模型大多数假设,验证了所提出模型的有效性。通过对研究数据的分析得出了企业创新、社会影响等对我国电子支付发展的主要影响因素,并据此提出了相关建议。 展开更多
关键词 电子支付 技术接受模型 创新扩散理论
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基于IDT模型的大学教师MOOC使用行为研究 被引量:3
9
作者 贺立军 韩婷婷 《河北工业大学学报(社会科学版)》 2017年第4期29-34,共6页
在MOOC教学中,大学教师的使用行为与MOOC能否顺利推行有很大关联,了解教师使用行为的影响因素有助于改善教学现状,促进MOOC发展。以创新扩散理论(IDT)为基础,通过梳理归类理性行为理论(TRA)、计划行为理论(TPB)、技术接受模型(TAM)、技... 在MOOC教学中,大学教师的使用行为与MOOC能否顺利推行有很大关联,了解教师使用行为的影响因素有助于改善教学现状,促进MOOC发展。以创新扩散理论(IDT)为基础,通过梳理归类理性行为理论(TRA)、计划行为理论(TPB)、技术接受模型(TAM)、技术接受与使用统一理论(UTAUT)等,构建高校教师MOOC使用行为模型,并提出9个基本假设。以教师为调研对象,通过线上线下发放问卷的方式,总共收集210份有效问卷,并利用结构方程模型对概念模型进行拟合检验,结果显示:绩效期望、大众媒体、社会影响、MOOC推广人员的努力与行为意向呈正相关关系;行为意向与使用行为呈正相关关系;MOOC可观察性与行为意向呈负相关关系。对此,从高校角度提出了相关建议。 展开更多
关键词 MOOC 创新扩散理论(idt) 使用行为 结构方程模型 实证研究
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消费者微博营销参与意愿影响因素分析——基于TAM和IDT模型 被引量:14
10
作者 周蓓婧 侯伦 《管理学家(学术版)》 2011年第12期22-40,共19页
本文基于我国微博用户迅速上升、微博营销逐渐发展的大背景,回顾和总结了国内外关于网络购物参与意愿影响因素的研究成果,通过结合微博营销的特点,对消费者参与意愿进行实证研究。研究以TAM和IDT模型为理论基础,以我国微博用户为研究样... 本文基于我国微博用户迅速上升、微博营销逐渐发展的大背景,回顾和总结了国内外关于网络购物参与意愿影响因素的研究成果,通过结合微博营销的特点,对消费者参与意愿进行实证研究。研究以TAM和IDT模型为理论基础,以我国微博用户为研究样本,通过结构方程模型进行假设检验。研究结果支持了大多数的研究假设,并且验证了模型的有效性。最后本文通过得出的结论提出管理建议,以期为我国微博营销的发展提供有力借鉴。 展开更多
关键词 微博营销 技术接受模型 创新扩散理论 意愿
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施工企业对装配式技术接受行为研究——基于UTAUT-IDT整合模型的分析 被引量:3
11
作者 高喜珍 张鹏 郑健彤 《工程管理学报》 2021年第5期36-41,共6页
装配式建筑是建筑业绿色转型的重要举措,政府出台多项政策措施推动装配式建筑的发展,但实践中推广效果不理想,究其原因是建筑企业对装配式建筑接受意愿不高。因此,在对UTAUT和IDT模型整合的基础上,从企业和技术扩散的双重视角构建企业... 装配式建筑是建筑业绿色转型的重要举措,政府出台多项政策措施推动装配式建筑的发展,但实践中推广效果不理想,究其原因是建筑企业对装配式建筑接受意愿不高。因此,在对UTAUT和IDT模型整合的基础上,从企业和技术扩散的双重视角构建企业接受意愿及行为的理论模型,利用结构方程模型来探究装配式建筑企业接受意愿与接受行为的影响因素。结果表明,兼容扩展性、社会影响、绩效期望、努力期望均对接受意愿存在正向显著影响;感知成本对接受意愿存在负向影响;接受意愿与促成因素对装配式建筑企业接受行为存在显著的正向影响。并在此研究基础上,对装配式建筑可持续发展提出了相应的建议。 展开更多
关键词 装配式建筑 施工企业 接受行为 技术采纳与使用统一理论 创新扩散理论
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基于TAM和IDT的大学生手机报使用意向研究 被引量:1
12
作者 张建颖 《南京邮电大学学报(社会科学版)》 2014年第2期76-83,共8页
基于TAM(技术接受模型)和IDT(创新扩散理论),提炼出影响大学生使用手机报业务的五大因素,即感知创新性、手机报设计、感知有用性、感知易用性和主观规范,构建手机报使用意向研究模型。通过面向江苏省不同地市上千名大学生展开问卷调查,... 基于TAM(技术接受模型)和IDT(创新扩散理论),提炼出影响大学生使用手机报业务的五大因素,即感知创新性、手机报设计、感知有用性、感知易用性和主观规范,构建手机报使用意向研究模型。通过面向江苏省不同地市上千名大学生展开问卷调查,利用IBM SPSS Statistics 20.0社会科学统计软件和AMOS 20.0结构方程模型进行统计、分析和验证,针对数据分析结果得出感知创新性是影响大学生手机报使用意向最为显著的因素,并根据各因素影响程度排序,提出了创新形式与内容、注重有用性、降低复杂性、实现可试性等手机报发展的具体对策和建议。 展开更多
关键词 技术接受模型 创新扩散理论 新媒体 信息传播 手机报 使用意向
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关于SAW滤波器及其低损耗IDT结构
13
作者 马国胜 严晓兰 《电子元器件应用》 2001年第5期33-35,共3页
声表面波(SAW)滤波器以其独特的优点广泛应用于许多电子设备中,尤其在移动通信的应用领域中,更体现了它的优势,但低插入损耗的SAW滤波器是扩大其应用领域的关键,其中主要是叉指换能器(IDT)的结构。本文主要介绍SAW滤波器及实现低插入损... 声表面波(SAW)滤波器以其独特的优点广泛应用于许多电子设备中,尤其在移动通信的应用领域中,更体现了它的优势,但低插入损耗的SAW滤波器是扩大其应用领域的关键,其中主要是叉指换能器(IDT)的结构。本文主要介绍SAW滤波器及实现低插入损耗的几种IDT结构。 展开更多
关键词 声表面波滤器 叉指换能器 损耗
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YX128°-LiNbO_3 SAW传感器IDT的有限元仿真 被引量:8
14
作者 薛齐齐 孙崇波 孙毅 《哈尔滨工业大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第3期364-367,共4页
为研究高频环境下的二次效应,建立了SAW传感器叉指谐振器(IDT)的二维周期有限元模型.以YX128°-LiNbO3高频SAW传感器为分析对象,定量分析了不同电极设计参数下的电极二次效应;通过谐响应分析,得到了传感器IDT电学导纳与传感器中心... 为研究高频环境下的二次效应,建立了SAW传感器叉指谐振器(IDT)的二维周期有限元模型.以YX128°-LiNbO3高频SAW传感器为分析对象,定量分析了不同电极设计参数下的电极二次效应;通过谐响应分析,得到了传感器IDT电学导纳与传感器中心频率的关系,提取了IDT的谐振频率和逆谐振频率.结果表明,随着敷金比MR或电极高度EH的增大,表面波的模态频率降低,相应的表面波的速度也会降低.相同电极高度下,随着敷金比的增大,频率截止带逐渐变宽,对应的电极反射率逐渐变大.仿真提取的谐振频率为973MHz,逆谐振频率为1002MHz. 展开更多
关键词 SAW传感器 叉指谐振器 有限元
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基于沥青混合料均匀性分析的有限元劈裂(IDT)仿真研究
15
作者 吕悦晶 张沪生 +2 位作者 汤文 樊宇 程军勤 《智能计算机与应用》 2022年第10期101-106,共6页
为研究沥青混合料均匀性对劈裂试验(IDT)的影响,本研究基于数字图像技术提出一种沥青混合料均匀性评价指标,并用该指标评价沥青混合料截面均匀性;构建包含沥青砂浆和集料的二维沥青混合料细观模型,开展有限元虚拟IDT试验,以荷载峰值验... 为研究沥青混合料均匀性对劈裂试验(IDT)的影响,本研究基于数字图像技术提出一种沥青混合料均匀性评价指标,并用该指标评价沥青混合料截面均匀性;构建包含沥青砂浆和集料的二维沥青混合料细观模型,开展有限元虚拟IDT试验,以荷载峰值验证有限元方法的准确性和合理性,有效模拟沥青混合料均匀性对IDT试验中劈裂强度的影响。结果表明,劈裂强度的变异系数与均匀性指标之间具有较好的一致性,均匀性越好,劈裂强度变异系数越小。 展开更多
关键词 沥青混合料 均匀性 有限元 idt试验
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MEMS-IDT声表面波陀螺 被引量:6
16
作者 吕志清 胡爱民 《微纳电子技术》 CAS 2003年第4期27-29,33,共4页
声表面波陀螺的概念出现在70年代初期,发展为MEMS-IDT声表面波陀螺仅是最近几年的事情。MEMS-IDT声表面波陀螺仪是一种MEMS微机械振动陀螺,这种陀螺为单层平面结构,采用标准IC工艺就可完成加工,勿需悬浮的振动元件,有很强的抗冲击振动能... 声表面波陀螺的概念出现在70年代初期,发展为MEMS-IDT声表面波陀螺仅是最近几年的事情。MEMS-IDT声表面波陀螺仪是一种MEMS微机械振动陀螺,这种陀螺为单层平面结构,采用标准IC工艺就可完成加工,勿需悬浮的振动元件,有很强的抗冲击振动能力,可靠性高,可不用真空封装而保持较高的灵敏度。 展开更多
关键词 声表面波陀螺 声表面波 叉指换能器 驻波振动 MEMS—idt 微机械振动陀螺
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阶梯形IDT结构的仿真研究 被引量:2
17
作者 徐希嫔 王代强 刘桥 《现代电子技术》 2010年第6期176-177,184,共3页
提出一种叉指换能器的新结构,并用δ函数模型对其进行了分析仿真。结果表明,该结构克服了传统设计仿真时需加入反射栅或反射器来模拟叉指换能器内反射的缺点,大大缩减了δ函数模型仿真的繁杂性,通过自身结构的优化来模拟叉指换能器内反... 提出一种叉指换能器的新结构,并用δ函数模型对其进行了分析仿真。结果表明,该结构克服了传统设计仿真时需加入反射栅或反射器来模拟叉指换能器内反射的缺点,大大缩减了δ函数模型仿真的繁杂性,通过自身结构的优化来模拟叉指换能器内反射,并运用δ函数对其建模,然后通过Matlab对其仿真。仿真结果表明,应用此结构设计出的叉指换能器主峰曲线较好,旁瓣抑制较大,达到设计要求,其设计效率高,实用性强。 展开更多
关键词 阶梯形 idt 优化设计 δ函数模型
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IDT在YZ-LiNbO_3基片上的体声波激励研究 被引量:2
18
作者 邓明晰 吕霞付 蔡绍皙 《压电与声光》 CSCD 北大核心 1997年第6期369-371,380,共4页
具有广泛应用前景的声板波液体密度传感器采用了叉指换能器(IDT)在基片上的体声波(BAW)激励效应。文章针对常见的YZ-LiNbO3基片,研究了IDT激励BAW的响应与激励频率之间的关系。压电基片表面的IDT激励的B... 具有广泛应用前景的声板波液体密度传感器采用了叉指换能器(IDT)在基片上的体声波(BAW)激励效应。文章针对常见的YZ-LiNbO3基片,研究了IDT激励BAW的响应与激励频率之间的关系。压电基片表面的IDT激励的BAW在基片内来回反射,选择恰当的IDT激励频率,可得到极大的BAW响应。实验结果和理论分析表明,BAW的极大响应与发射接收IDT的间距、基片厚度和激励频率有确定关系。 展开更多
关键词 叉指换能器 基片 体声波激励
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基于IDT和TAM的高校学生网上购物行为研究 被引量:1
19
作者 王星月 尤建新 《上海管理科学》 2015年第2期91-95,共5页
随着电子商务的迅猛发展和竞争加剧,知晓网络购物行为决定因素及影响大小对电商企业商家尤为重要。本文主要采用了创新扩散理论(IDT)和技术接受模型(TAM),对高校学生网络购物的影响因素进行实证研究,并通过因子分析进行了验证,对电商服... 随着电子商务的迅猛发展和竞争加剧,知晓网络购物行为决定因素及影响大小对电商企业商家尤为重要。本文主要采用了创新扩散理论(IDT)和技术接受模型(TAM),对高校学生网络购物的影响因素进行实证研究,并通过因子分析进行了验证,对电商服务改良提供了针对性建议。研究发现,信息及物流质量,有用性及信任对高校学生网络购物决策起着重要影响。 展开更多
关键词 技术接受模型 创新扩散理论 网络购物 因子分析 高校学生
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基于IDTs电极分层布局结构的瑞利波器件特性研究
20
作者 袁宇鑫 武庆鹏 +2 位作者 孙立 孙科学 王艳 《压电与声光》 CAS 北大核心 2023年第1期11-17,共7页
现代科技的发展对高频声表面波(SAW)器件的需求不断增加,对其工作频率也提出了更高的要求。为了提高SAW器件的频率,该文构建了一种IDTs电极分层布局的器件模型,即IDTs/AlN/IDTs/R-sapphire结构,并采用有限元法分析其声学性能,包括导纳... 现代科技的发展对高频声表面波(SAW)器件的需求不断增加,对其工作频率也提出了更高的要求。为了提高SAW器件的频率,该文构建了一种IDTs电极分层布局的器件模型,即IDTs/AlN/IDTs/R-sapphire结构,并采用有限元法分析其声学性能,包括导纳、相速度、机电耦合系数等。结果表明,IDTs/AlN/IDTs/R-sapphire结构可激发出瑞利波,且当AlN压电薄膜厚度h_(AlN)=0.4λ(λ为器件周期),水平中心距P_(b)=4μm时,其工作频率为692 MHz,传统的IDTs/AlN/R-sapphire结构器件提高了近1倍(356 MHz),而此时机电耦合系数K^(2)为0.3%,比传统结构高。另外,通过优化IDTs电极的结构参数可进一步改善、调制瑞利波器件的性能。当IDTs的上层铜电极和下层铝电极厚度之比Δh=1.2,P_(b)=4μm,h_(AlN)/λ=0.5时,瑞利波器件的谐振频率为657.9 MHz,K^(2)=1.27%;当P b=6μm时,瑞利波的工作频率为461 MHz,机电耦合系数达到最大(K^(2)_(max)=1.34%),较传统IDTs单层布局结构瑞利波器件分别提升了30%和300%。结果表明,IDTs电极分层布局结构不仅可有效地提高SAW器件的工作频率和机电耦合系数,也可以降低高频SAW器件的制备难度。 展开更多
关键词 声表面波 叉指换能器 有限元分析 机电耦合系数 瑞利波
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