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金属掩膜刻蚀(MHM)微小颗粒缺陷分析及改善方案研究
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作者 李光磊 《集成电路应用》 2023年第1期44-46,共3页
阐述平台产品(HKB)量产过程中产生的所有微小颗粒缺陷发生的晶圆正十字方向位置,金属掩膜刻蚀(MHM)微小颗粒缺陷的形成机理,探讨缺陷成因和解决方案。
关键词 集成电路制造 金属掩膜刻蚀 微小颗粒缺陷 Tiny PA mhm
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基于EEMD-MHM模型的观测值域多路径误差改正研究
2
作者 汤玲 梁四幺 《海洋测绘》 CSCD 北大核心 2022年第2期54-58,64,共6页
为削弱多路径误差以提高GNSS定位精度,引入集合经验模态分解EEMD与多路径半天球图MHM进行组合构建多路径误差改正模型。该组合模型首先基于“零均值”假设进行GNSS双差到单差的转换,然后利用EEMD尺度自动分解与重构精确提取单差残差序... 为削弱多路径误差以提高GNSS定位精度,引入集合经验模态分解EEMD与多路径半天球图MHM进行组合构建多路径误差改正模型。该组合模型首先基于“零均值”假设进行GNSS双差到单差的转换,然后利用EEMD尺度自动分解与重构精确提取单差残差序列中的多路径误差,最终构建MHM模型用于观测值域多路径误差的实时改正。静态多天实验结果表明,EEMD-MHM组合的多路径误差改正模能提高相邻观测间多路径误差序列的相关性,提高多路径误差模型的精度,将多路径误差改正后的静态多天基线分量标准差STD稳定在1 mm以内,并且东北天方向上的均方根误差RMSE可分别提升75%、42.9%、62.5%,验证了该EEMD-MHM组合多路径误差改正模型的有效性和稳定性。 展开更多
关键词 全球导航卫星系统 观测值域改正 多路径误差建模 集合经验模态分解 多路径半天球图模型
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多层次多模型预测控制算法的模型切换方法研究 被引量:12
3
作者 刘琳琳 周立芳 +1 位作者 嵇婷 赵豫红 《自动化学报》 EI CSCD 北大核心 2013年第5期626-630,共5页
针对多层次多模型(Multi-hierarchical multi-model,MHM)预测控制系统的模型切换问题,在分析各通道非线性程度对模型层次切换以及层次间模型切换过程对系统动态特性的影响的基础上,提出了一种新的模型切换方法.并将此方法应用到多输入... 针对多层次多模型(Multi-hierarchical multi-model,MHM)预测控制系统的模型切换问题,在分析各通道非线性程度对模型层次切换以及层次间模型切换过程对系统动态特性的影响的基础上,提出了一种新的模型切换方法.并将此方法应用到多输入多输出pH中和过程,仿真结果表明,该方法有效地改善了系统工况大范围跳变时的动态性能. 展开更多
关键词 多层次多模型结构 模型预测控制 模型切换
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居民健康期望寿命测算研究——以湖北宜昌市为例 被引量:4
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作者 吴婵 徐勇 +8 位作者 苏拥军 赵露 杨佳娟 徐承中 鲁芳芳 张培 裴松 胡池 刘军 《中国卫生政策研究》 CSCD 北大核心 2018年第5期46-54,共9页
目的:以宜昌市居民特定健康状况流行水平、健康期望寿命(HE)及其占比情况,验证健康期望寿命综合测量方法。方法:采用网格化分层抽样抽取调查对象,以第五次全国卫生服务家庭健康询问调查表为基础,参考欧洲基本健康模块(MEHM),嵌入基本健... 目的:以宜昌市居民特定健康状况流行水平、健康期望寿命(HE)及其占比情况,验证健康期望寿命综合测量方法。方法:采用网格化分层抽样抽取调查对象,以第五次全国卫生服务家庭健康询问调查表为基础,参考欧洲基本健康模块(MEHM),嵌入基本健康模块,并经过方法验证,使用自评健康、活动限制指标分别计算自评健康期望寿命和无活动限制期望寿命两项指标。结果:2016年,宜昌市居民出生自评健康期望寿命(HE-sp)及其占比分别为71.90岁(男性69.66岁,女性74.44岁)、91.89%。宜昌市居民出生健康寿命年(HLY)及其占比分别为75.58(男性73.60岁,女性77.82岁)、96.60%。宜昌市居民出生HLY女性高于男性(Z=9.21,P<0.05),男女HLY占比基本一致。男女性HE-sp有差异(Z=7.68,P<0.05),出生HE-SP占比无差异,健康期望寿命呈现等比例下降趋势。结论:计算机网格化抽样面访适宜基层推广,基本健康模块适合国内居民健康调查使用。建议全国统一地市级人群健康综合测量工具,明确健康期望寿命指标类别,推荐采取类似欧盟的基本健康模块监测指标,并纳入中国居民健康核心指标体系。 展开更多
关键词 健康期望寿命 自评健康期望寿命 健康寿命年 基本健康模块
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热力耦合问题数学均匀化方法的物理意义 被引量:1
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作者 朱晓鹏 黄俊 +1 位作者 陈磊 邢誉峰 《北京航空航天大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第11期2139-2151,共13页
针对复合材料周期结构热力耦合问题,通过构造各阶摄动项的全解耦格式,推导了高阶数学均匀化方法(MHM)的数学表达式,并使用加权残量方法将其转换为易于编程实现的矩阵列式。将弹性影响函数和热影响函数分别比拟为弹性虚拟位移和热虚拟位... 针对复合材料周期结构热力耦合问题,通过构造各阶摄动项的全解耦格式,推导了高阶数学均匀化方法(MHM)的数学表达式,并使用加权残量方法将其转换为易于编程实现的矩阵列式。将弹性影响函数和热影响函数分别比拟为弹性虚拟位移和热虚拟位移,通过弹性虚拟载荷和热虚拟载荷的自平衡特性、量纲分析及几何直观等角度揭示了各阶影响函数和摄动位移的物理意义,并指出二阶摄动位移对于细观结构分析的必要性。数值计算结果验证了高阶MHM矩阵列式及物理意义分析的正确性。 展开更多
关键词 周期复合材料结构 数学均匀化方法(mhm) 热力耦合 摄动位移 物理意义
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超低k介质材料低损伤等离子体去胶工艺进展 被引量:1
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作者 吴元伟 韩传余 +1 位作者 赵玲利 王守国 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2011年第11期733-738,共6页
介绍了三类常见的低k介质材料,并对空气隙(k=1)的发展进行了探讨;讨论了引起等离子体损伤的机理和传统的O2等离子体去胶工艺面临的困难;最后综述了近年来国际上提出的低损伤等离子体去胶工艺的研究进展。人们已经开发出一些对低k材料进... 介绍了三类常见的低k介质材料,并对空气隙(k=1)的发展进行了探讨;讨论了引起等离子体损伤的机理和传统的O2等离子体去胶工艺面临的困难;最后综述了近年来国际上提出的低损伤等离子体去胶工艺的研究进展。人们已经开发出一些对低k材料进行硅化处理的工艺,可以部分修复在刻蚀和去胶处理过程中被消耗掉的有机官能团。基于金属硬掩膜层和新型等离子体化学的集成方案将会展示出颇具前景的结果。 展开更多
关键词 等离子体去胶 多孔超低k介质 空气隙 等离子体损伤 损伤修复 金属硬掩膜(mhm)
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基于CGSPN的医疗卫生应急动员系统的建模与分析 被引量:1
7
作者 李希茂 冯秀芳 +1 位作者 余雪丽 安建成 《太原理工大学学报》 CAS 2003年第5期568-571,共4页
给出了山西省医疗卫生应急动员的过程和CGSPN的定义及其稳态概率的计算方法 ,并用CGSPN对山西省医疗卫生应急动员进行了建模 。
关键词 医疗卫生应急动员 有色广义Petri网 稳态概率
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移动健康管理服务使用意愿的影响因素研究——基于创新扩散的视角 被引量:20
8
作者 赵栋祥 《情报杂志》 CSSCI 北大核心 2017年第11期120-127,146,共9页
[目的/意义]作为新兴的健康服务模式,探究移动健康管理服务使用意愿的影响因素在Health 2.0时代具有重要意义。[方法/过程]在回顾移动健康管理服务和健康信息系统采纳的基础上,基于创新扩散的视角,构建了一个涵盖技术创新、社会影响和... [目的/意义]作为新兴的健康服务模式,探究移动健康管理服务使用意愿的影响因素在Health 2.0时代具有重要意义。[方法/过程]在回顾移动健康管理服务和健康信息系统采纳的基础上,基于创新扩散的视角,构建了一个涵盖技术创新、社会影响和个体特质3个层面的移动健康管理服务的使用意愿模型,并通过问卷调查和结构方程模型方法对研究模型和假设进行实证检验。[结果/结论]研究表明:技术、社会和个体3个层面都对移动健康管理服务使用意愿有显著影响;按影响程度排序,依次是相容性、个体创新特质、社会规范、相对优势和自我效能;易用性和隐私顾虑并未对移动健康管理服务的使用意愿产生显著影响,表明目前移动健康管理服务的简单化和初级性,同时表明与其他因素相比,该调查中的消费者并不那么在意移动健康管理服务的信息隐私和易用性。研究有助于理解移动健康环境下的用户认知和行为,同时对移动健康服务的实践具有一定的指导意义。 展开更多
关键词 移动健康管理服务 使用意愿 结构方程模型
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面向多层异构网的最大和谐均值用户对级联方案
9
作者 纪珊珊 贾向东 +3 位作者 徐文娟 杨小蓉 范巧玲 陈玉宛 《计算机工程》 CAS CSCD 北大核心 2019年第1期40-44,共5页
针对中继异构网中基站负载不均衡的问题,提出一种中继协作的多层异构网用户对级联方案,以实现最佳用户对级联(UPA)。在中继协作异构网中,利用等效的端到端偏置接收功率为每层中一个特定的移动用户对定义最佳中继,基于此给出最大和谐均... 针对中继异构网中基站负载不均衡的问题,提出一种中继协作的多层异构网用户对级联方案,以实现最佳用户对级联(UPA)。在中继协作异构网中,利用等效的端到端偏置接收功率为每层中一个特定的移动用户对定义最佳中继,基于此给出最大和谐均值用户对级联(MHM-UPA)准则,并假设所有网络元素的位置建模为独立泊松点过程,通过随机几何分析方法推导相应的UPA概率以及统计描述。分析结果表明,该方案充分考虑了中继系统中两跳的联合影响,能够有效克服双跳中继系统的瓶颈效应,改善系统性能。 展开更多
关键词 第五代移动通信 异构网 中继协作 用户对级联准则 最大和谐均值
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预制双扭工字透水框架裂缝防治 被引量:2
10
作者 张庆文 张新军 姜立志 《中国港湾建设》 2017年第8期93-96,共4页
长江南京以下12.5 m深水航道二期工程和畅洲标段HL1、HL2潜堤堤身下游护底范围内消能结构采用双扭工字型透水框架结构。双扭工字透水框架在预制的过程中出现影响使用功能的裂缝,文章结合工程实例,介绍双扭工字透水框架模板改进过程、构... 长江南京以下12.5 m深水航道二期工程和畅洲标段HL1、HL2潜堤堤身下游护底范围内消能结构采用双扭工字型透水框架结构。双扭工字透水框架在预制的过程中出现影响使用功能的裂缝,文章结合工程实例,介绍双扭工字透水框架模板改进过程、构件出现裂缝的原因和防治措施,为后续预制透水框架和其他小型预制构件的裂缝防治提供参考。 展开更多
关键词 双扭工字透水框架 常见裂缝 模板改进 防裂措施
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A Novel Method for Character Segmentation in Natural Scenes
11
作者 徐立 戚飞虎 +2 位作者 蒋人杰 朱凯华 吴国荣 《Journal of Shanghai Jiaotong university(Science)》 EI 2006年第4期484-489,497,共7页
A new approach to extract and segment characters in natural scenes was proposed in this paper. First, a set of intrinsic features were calculated based on connected components (CCs) extracted by a non-linear Nilblack ... A new approach to extract and segment characters in natural scenes was proposed in this paper. First, a set of intrinsic features were calculated based on connected components (CCs) extracted by a non-linear Nilblack algorithm. Then, feature propagation was conducted for feature enhancement, under the constraint of the layout relations. Next, candidate CCs were fed into classifiers with the enhanced feature vector. At last, a model-based hierarchical merging (MHM) procedure was presented to obtain understandable characters. The proposed merging algorithm utilized the constraint of text lines for specific languages and dynamically merges CCs into characters. The whole algorithm was evaluated at both pixel level and character level, experimental results showed that the proposed method is effective in detecting scene characters with significant geometric variations, uneven illumination, extremely low contrast and cluttered background. 展开更多
关键词 CHARACTER segmentation FEATURE extraction MODEL-BASED HIERARCHICAL MERGING (mhm)
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40nm一体化刻蚀工艺技术研究
12
作者 盖晨光 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2014年第8期589-595,共7页
用金属硬掩模层(MHM)进行一体化(AIO)刻蚀的工艺是40 nm节点后道工序的关键工艺技术。阐述了40 nm低功耗芯片工艺研发过程中,一体化刻蚀工艺开发所遇到的诸多工艺难题,并对其产生的机理进行了深入分析。结合工艺设备与工艺特性,进行了... 用金属硬掩模层(MHM)进行一体化(AIO)刻蚀的工艺是40 nm节点后道工序的关键工艺技术。阐述了40 nm低功耗芯片工艺研发过程中,一体化刻蚀工艺开发所遇到的诸多工艺难题,并对其产生的机理进行了深入分析。结合工艺设备与工艺特性,进行了刻蚀实验并对刻蚀工艺条件进行了优化,使用扫描电子显微镜(SEM)和透射电子显微镜(TEM)对样品形貌进行了观测,采用电迁移测试结构对通孔样品的可靠性进行了测试,结果表明,氮化钛厚度、沟槽剖面形貌和顶部缺口形貌得到优化,双大马士革凹槽形貌、通孔剖面形貌以及通孔底部完整性得到较好控制,解决了氟化钛残留问题,有效解决了一体化刻蚀的工艺难题。 展开更多
关键词 一体化刻蚀 金属硬掩模层 双大马士革 后道工艺(BEOL) 沟槽刻蚀
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欧洲基本健康模块在宜昌居民健康测量中的应用
13
作者 吴婵 徐勇 +8 位作者 苏拥军 赵露 杨佳娟 徐承中 鲁芳芳 张培 裴松 胡池 刘军 《公共卫生与预防医学》 2018年第1期37-40,共4页
目的借鉴欧洲基本健康模块(Minimum European Health Module,MEHM),设计合适的基本健康模块(Minimum Health Module,MHM),并验证其在人群健康综合测量中的可靠性。方法采用网格化分层抽样方法抽取调查对象后,随机抽取5%为此次方法验证... 目的借鉴欧洲基本健康模块(Minimum European Health Module,MEHM),设计合适的基本健康模块(Minimum Health Module,MHM),并验证其在人群健康综合测量中的可靠性。方法采用网格化分层抽样方法抽取调查对象后,随机抽取5%为此次方法验证的试验对象,验证基本健康模块,选择自评健康、活动限制指标分别进行信度和效度评价,并计算分析居民自评健康和无活动限制健康状况。结果基本健康模块调查表总体自评健康、活动限制指标重测Kappa一致性系数分别为0.855、0.882,效标关联效度Gamma系数分别为0.899、0.974。现场调查质量控制指标符合要求。2016年宜昌市居民自评非健康率9.49%,长期活动限制3.08%。结论基本健康模块适合国内居民健康调查使用。建议全国统一地市级人群健康综合测量工具,明确健康综合测量指标类别,推荐采取类似欧盟的基本健康模块监测指标,并纳入中国居民健康核心指标体系。 展开更多
关键词 人群健康综合测量 欧洲基本健康模块 基本健康模块 宜昌市居民
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