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Investigation on Breakdown Characteristics of Various Surface Terminal Structures for GaN-Based Vertical P-i-N Diodes
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作者 Song Shi Guanyu Wang +5 位作者 Yingcong Xiang Chuan Guo Xing Wang Yinlin Pu Huilan Li Zhixian Li 《Journal of Applied Mathematics and Physics》 2024年第2期554-568,共15页
GaN-based vertical P-i-N diode with mesa edge terminal structure due to electric field crowding effect, the breakdown voltage of the device is significantly reduced. This work investigates three terminal structures, i... GaN-based vertical P-i-N diode with mesa edge terminal structure due to electric field crowding effect, the breakdown voltage of the device is significantly reduced. This work investigates three terminal structures, including deeply etched, bevel, and stepped-mesas terminal structures, to suppress electric field crowding effects at the device and junction edges. Deeply-etched mesa terminal yields a breakdown voltage of 1205 V, i.e., 89% of the ideal voltage. The bevel-mesa terminal achieves about 89% of the ideal breakdown voltage, while the step-mesa terminal is less effective in mitigating electric field crowding, at about 32% of the ideal voltage. This work can provide an important reference for the design of high-power, high-voltage GaN-based P-i-N power devices, finding a terminal protection structure suitable for GaNPiN diodes to further enhance the breakdown performance of the device and to unleash the full potential of GaN semiconductor materials. 展开更多
关键词 GaN p-i-N Mesa Edge Terminal Electric Field Crowding
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高性能背照式GaN/AlGaN p-i-n紫外探测器的制备与性能 被引量:7
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作者 陈亮 张燕 +3 位作者 陈俊 郭丽伟 李向阳 龚海梅 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2007年第6期928-931,共4页
研究了GaN/AlGaN异质结背照式p-i-n结构可见盲紫外探测器的制备与性能。GaN/AlGaN外延材料采用金属有机化学气相沉积(MOCVD)方法生长,衬底为双面抛光的蓝宝石,缓冲层为AlN,n型层采用厚度为0.8μm的Si掺杂Al0.3Ga0.7N形成窗口层,i型层为0... 研究了GaN/AlGaN异质结背照式p-i-n结构可见盲紫外探测器的制备与性能。GaN/AlGaN外延材料采用金属有机化学气相沉积(MOCVD)方法生长,衬底为双面抛光的蓝宝石,缓冲层为AlN,n型层采用厚度为0.8μm的Si掺杂Al0.3Ga0.7N形成窗口层,i型层为0.18μm的非故意掺杂的GaN,p型层为0.15μm的Mg掺杂GaN。采用Cl2、Ar和BCl3感应耦合等离子体刻蚀定义台面,光敏面面积为1.96×10-3 cm2。可见盲紫外探测器展示了窄的紫外响应波段,响应区域为310~365 nm,在360 nm处响应率最大,为0.21 A/W,在考虑表面反射时,内量子效率达到82%;优质因子R0A为2.00×108Ω.cm2,对应的探测率D=2.31×1013 cm.Hz1/2.W-1;且零偏压下的暗电流为5.20×10-13 A。 展开更多
关键词 GaN/AIGaN p-i-N 紫外探测器 响应光谱
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高量子效率前照式GaN基p-i-n结构紫外探测器 被引量:5
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作者 游达 汤英文 +3 位作者 赵德刚 许金通 徐运华 龚海梅 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第5期896-899,共4页
研究了Al0.1-Ga0.9N/GaN异质结p-i-n结构可见盲紫外探测器的制备与性能,P区采用Al组分含量为0.1的AlGaN外延材料形成窗口层,使340-365nm波段的紫外光可以直接透过P区到达i区并被吸收,有效提高了这个波段的响应率与量子效率,并且研... 研究了Al0.1-Ga0.9N/GaN异质结p-i-n结构可见盲紫外探测器的制备与性能,P区采用Al组分含量为0.1的AlGaN外延材料形成窗口层,使340-365nm波段的紫外光可以直接透过P区到达i区并被吸收,有效提高了这个波段的响应率与量子效率,并且研究了不同P区AlGaN外延层厚度对探测器性能的影响,制备了两种不同P区厚度(0.1μm和0.15μm)的器件,测试结果表明,P区的厚度对200-340nm波段光吸收的量子效率影响较大,而i区的晶体质量的提高可以有效提高340-365nm波段光吸收的量子效率,并且当P区AlGaN厚度为0.15μm时,器件的峰值响应率达到0.214A/W,在考虑表面反射时外量子效率高达85.6%,接近理论极限,并且在零偏压时暗电流密度为3.16nA/cm^2,表明器件具有非常高的信噪比。 展开更多
关键词 p-i-N AlGaN量子效率 响应光谱 紫外探测器
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退火对高Al组分AlGaN P-I-N二极管光电性能的影响 被引量:2
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作者 赵鸿燕 司俊杰 +4 位作者 鲁正雄 成彩晶 丁嘉欣 张亮 陈慧娟 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2007年第12期1283-1286,共4页
研究了不同条件下的退火对高Al组分AlGaN P-I-N二极管性能的影响。研究结果表明,合适的退火条件既能使AlGaN与电极之间形成良好的欧姆接触,同时又能显著降低AlGaNP-I-N二极管的反向漏电流,反偏压5V时,暗电流密度由2.0×10-1A/cm2降... 研究了不同条件下的退火对高Al组分AlGaN P-I-N二极管性能的影响。研究结果表明,合适的退火条件既能使AlGaN与电极之间形成良好的欧姆接触,同时又能显著降低AlGaNP-I-N二极管的反向漏电流,反偏压5V时,暗电流密度由2.0×10-1A/cm2降为5.7×10-5A/cm2,串阻由18.01kΩ减小到1.071kΩ,从而优化了AlGaN P-I-N二极管的I-V特性。分析认为这与退火改善接触电极特性,同时消除器件制备工艺中引入的损伤、降低缺陷态密度有关。 展开更多
关键词 ALGAN P—I—N二极管 退火 欧姆接触 工艺损伤
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基于宽带隙P-I-N结构的高效有机小分子太阳电池 被引量:3
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作者 郭文阁 郑建邦 +1 位作者 任驹 张延曹 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第6期530-534,共5页
研制了一种采用混合的P-I-N异质结结构、基于混合ZnPc和C60的有机小分子太阳电池。该有机太阳电池光电转换由ZnPc和C60异质结混合成膜完成,电子和空穴分别通过n掺杂和P掺杂的宽带有机层传输至阴极和阳极,不同掺杂的电子或空穴传输层... 研制了一种采用混合的P-I-N异质结结构、基于混合ZnPc和C60的有机小分子太阳电池。该有机太阳电池光电转换由ZnPc和C60异质结混合成膜完成,电子和空穴分别通过n掺杂和P掺杂的宽带有机层传输至阴极和阳极,不同掺杂的电子或空穴传输层由精确控制两种有机小分子的蒸镀速率来实现;其中空穴传输层采用N,N,N’,N’-Tetrakis(4-methoxyphenyl)-benzidine(MeO-TPD)为基底材料和Tetrafluoro-tetracyano-quinodimethane(F4-TCNQ)为掺杂材料,电子传输层采用C60为基底材料,而掺杂材料为Leuco Crystal violet(LCV)。实验发现:可以通过改变光电转换层和电子传输层的厚度,优化器件的结构;与未掺杂的有机薄膜相比,掺杂的宽带有机传输层导电率提高了3~4个数量级,并且它们几乎不吸收太阳光;电子传输层的厚度直接影响太阳电池的转换效率,这与薄膜光学的预期结果相符;当增大光电转换层的厚度,不仅增加了光吸收,同时电子空穴的复合率也随之增加,因此器件的填充因子降低。实验结果表明:该有机太阳电池的光电转换效率可达2.4%。 展开更多
关键词 有机太阳电池 有机小分子 p-i-N异质结 转换效率
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单片集成硅光接收器中p-i-n硅光电探测器的进展 被引量:2
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作者 郭辉 郭维廉 +1 位作者 吴霞宛 陈迪平 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2001年第10期52-57,共6页
介绍了单片集成硅光接收器的研究背景、硅光电探测器工作机理以及它对实现高性能单片集成硅光接收器的影响,回顾总结了近年来的研究进展,并报道了我们的研究结果,展望了今后的发展。
关键词 单片集成电路 p-i-n硅光电探测器 SOI 单片集成硅光接收器
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背照射和正照射p-i-n结构GaN紫外探测器的i-GaN和p-GaN厚度设计 被引量:2
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作者 周梅 李春燕 赵德刚 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第9期1034-1040,共7页
研究了i-Ga N和p-Ga N厚度对背照射和正照射p-i-n结构Ga N紫外探测器响应光谱的影响。模拟计算发现:对于背照射结构,适当地减小i-Ga N厚度有利于提高探测器的响应,降低i-Ga N层的本底载流子浓度也有利于提高探测器的响应;p-Ga N的欧姆... 研究了i-Ga N和p-Ga N厚度对背照射和正照射p-i-n结构Ga N紫外探测器响应光谱的影响。模拟计算发现:对于背照射结构,适当地减小i-Ga N厚度有利于提高探测器的响应,降低i-Ga N层的本底载流子浓度也有利于提高探测器的响应;p-Ga N的欧姆接触特性好坏对探测器的响应影响不大,适当地增加p-Ga N厚度可以改善探测器性能。而正照射结构则不同,i-Ga N厚度对探测器的响应度影响不大,但欧姆接触特性差将严重降低探测器的响应,适当地减小p-Ga N厚度可以大幅度改善探测器的响应特性。能带结构和入射光吸收的差别导致了正照射和背照射探测器结构中i层和p层厚度的选择和设计不同。 展开更多
关键词 GAN p-i-n结构 紫外探测器 量子效率
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p-InGaN层厚度对p-i-n结构InGaN太阳电池性能的影响及机理 被引量:3
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作者 周梅 赵德刚 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第5期534-538,共5页
研究了p-In Ga N层厚度对p-i-n结构In Ga N太阳电池性能的影响。模拟计算发现,随着p-In Ga N层厚度的增加,In Ga N太阳电池效率降低。较差的p-In Ga N欧姆接触特性会破坏In Ga N太阳电池性能。计算结果还表明,无论欧姆接触特性好坏,随着... 研究了p-In Ga N层厚度对p-i-n结构In Ga N太阳电池性能的影响。模拟计算发现,随着p-In Ga N层厚度的增加,In Ga N太阳电池效率降低。较差的p-In Ga N欧姆接触特性会破坏In Ga N太阳电池性能。计算结果还表明,无论欧姆接触特性好坏,随着p-In Ga N层厚度的增加,短路电流下降是导致In Ga N电池效率降低的主要原因。选择较薄的p-In Ga N层有利于提高p-i-n结构In Ga N太阳电池的效率。 展开更多
关键词 INGAN 太阳电池 p-i-n结构
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背照式GaN/AlGaN p-i-n紫外探测器的制备与性能 被引量:1
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作者 陈亮 游达 +6 位作者 汤英文 乔辉 陈俊 赵德刚 张燕 李向阳 龚海梅 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2006年第11期1036-1039,共4页
文章研究了p-GaN/i—GaN/n-Al0.3Ga0.7N异质结背照式p-i—n可见盲紫外探测器的制备与性能。器件的响应区域为310~365nm,最大响应率为0.046A/W,对应的内量子效率为19%,优值因子R0A达到1.77×10^8Ω·cm^2,相应的在363n... 文章研究了p-GaN/i—GaN/n-Al0.3Ga0.7N异质结背照式p-i—n可见盲紫外探测器的制备与性能。器件的响应区域为310~365nm,最大响应率为0.046A/W,对应的内量子效率为19%,优值因子R0A达到1.77×10^8Ω·cm^2,相应的在363nm处的探测率D^*=2.6×10^12cmHz^1/2W^-1。 展开更多
关键词 GaN/AlGaN p—i—n 紫外探测器 响应率
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基于LabVIEW的半导体光源P-I特性测试系统 被引量:2
10
作者 李强 曾显光 张永林 《光学与光电技术》 2010年第2期39-41,共3页
采用PCI-6251数据采集卡和LabVIEW平台,设计了一套半导体光源的P-I特性测试系统。该系统通过软件驱动数据采集卡为发光器件提供合适的驱动电压,采集发光器件的光功率和驱动电流,实现了P-I特性曲线的测量、分析和存储等功能。测试结果表... 采用PCI-6251数据采集卡和LabVIEW平台,设计了一套半导体光源的P-I特性测试系统。该系统通过软件驱动数据采集卡为发光器件提供合适的驱动电压,采集发光器件的光功率和驱动电流,实现了P-I特性曲线的测量、分析和存储等功能。测试结果表明该系统设计成本低、测量效率高、人机界面友好、操作简单、扩展性强,适用于教学、实验及科研等领域。 展开更多
关键词 虚拟仪器 数据采集 半导体光源 p-i 特性
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高速激光器组件P-I曲线扭折问题研究 被引量:1
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作者 丁国庆 郑立德 《光通信技术》 CSCD 北大核心 2003年第8期3-5,共3页
报告和分析了高速激光器组件中可能出现的3种P-I曲线扭折;指出了在驱动电流20~40 mA、光功率0.3~5mW范围内的较小的P-I曲线扭折,为光学元件表面(或界面)和光纤端面光反射所致;讨论了避免或减小P-I曲线扭折的几种方法.
关键词 激光器组件 P—I 曲线 扭折
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基于虚拟仪器技术的LED/LD P-I特性测试系统 被引量:2
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作者 狄红卫 《半导体光电》 CAS CSCD 北大核心 2003年第5期367-370,共4页
 介绍了一种基于虚拟仪器技术的LED/LDP I特性测试系统。系统采用虚拟仪器开发软件LabVIEW,提高了数据采集、处理能力及系统的拓展升级能力,达到了简化系统结构、降低系统成本的目的。实际测试证明本系统使用方便、效率高、结果可靠。
关键词 发光二极管 半导体激光器 虚拟仪器 PI特性
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变速箱中比例电磁阀P-I控制算法的研究 被引量:2
13
作者 邓勇 沙庆康 +1 位作者 向玉德 田飞 《液压与气动》 北大核心 2018年第9期38-43,共6页
在分析比例电磁阀工作原理的基础上,建立比例电磁阀电流控制模型进行仿真。仿真表明,电磁阀控制频率过低会使比例阀占空比与输出电流间的比例性变差,产生控制误差,因此要选取合适的PWM频率减小控制误差;根据感性负载的电流响应特性,以... 在分析比例电磁阀工作原理的基础上,建立比例电磁阀电流控制模型进行仿真。仿真表明,电磁阀控制频率过低会使比例阀占空比与输出电流间的比例性变差,产生控制误差,因此要选取合适的PWM频率减小控制误差;根据感性负载的电流响应特性,以及混合动力汽车变速箱中比例电磁阀的工作频率要求,提出P-I控制算法并进行实验验证,试验结果表明该算法可以根据比例电磁阀电流动态响应要求计算出相应参数值,且满足控制需求。 展开更多
关键词 比例电磁阀 p-i控制算法 控制特性 动态响应
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基于氮化镓单晶的垂直p-i-n二极管性能研究 被引量:1
14
作者 张敏 金浩妮 +2 位作者 万飞 宗平 白煜 《半导体光电》 CAS 北大核心 2021年第5期620-623,共4页
利用高质量自支撑Ga N衬底,通过外延方法制备了垂直结构的Ga N基p-i-n型二极管结构。通过对材料结构、杂质浓度分布以及对器件整流特性的研究,探究了影响垂直结构器件特性的关键因素。结果表明,在同质外延的制备过程中,衬底表面的粗糙... 利用高质量自支撑Ga N衬底,通过外延方法制备了垂直结构的Ga N基p-i-n型二极管结构。通过对材料结构、杂质浓度分布以及对器件整流特性的研究,探究了影响垂直结构器件特性的关键因素。结果表明,在同质外延的制备过程中,衬底表面的粗糙程度将使制备的环形结构具有不规则形状,这种不规则电极对垂直结构器件的性能将产生不利影响;此外,多种杂质在界面处聚集,进而形成平面漏电通道,是降低器件耐压值的主要因素。 展开更多
关键词 Ga N p-i-N 垂直结构 反向漏电
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AlGaN/GaN P-I-N紫外探测器的电子辐照效应
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作者 白云 邵秀梅 +2 位作者 张燕 李向阳 龚海梅 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2007年第9期867-869,873,共4页
制备了Al0.1Ga0.9N/GaN异质结P-I-N结构可见盲正照射紫外探测器。用能量为0.8MeV的电子对器件依次进行注量为5×1014,5×1015和5×1016n/cm2的辐照。通过测量辐照前后器件的I-V曲线和光谱响应曲线,讨论了不同注量的电子辐照... 制备了Al0.1Ga0.9N/GaN异质结P-I-N结构可见盲正照射紫外探测器。用能量为0.8MeV的电子对器件依次进行注量为5×1014,5×1015和5×1016n/cm2的辐照。通过测量辐照前后器件的I-V曲线和光谱响应曲线,讨论了不同注量的电子辐照对Al0.1Ga0.9N/GaN异质结P-I-N器件性能的影响。实验表明,小注量的电子辐照对器件的反向暗电流影响不大,当电子注量≥5×1016n/cm2时才使器件的暗电流增大一个数量级。为了分析器件的辐照失效机理,制备SiN/GaN的MIS结构,并对其进行电子辐照,发现SiN/GaN之间的界面态随着电子辐照注量的增加而增加。这表明,器件的暗电流的增大的原因之一为钝化层与GaN材料之间因为辐照诱生的界面态。辐照前后器件的光谱响应曲线表明,电子辐照对器件的响应率没有产生明显的影响。 展开更多
关键词 ALGAN p-i-N 电子辐照 MIS结构
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GaN基p-i-n结构紫外光探测器
16
作者 谢雪松 吕长志 +2 位作者 张小玲 李志国 冯士维 《半导体光电》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第1期33-35,共3页
用反应分子束外延(RMBE)方法在蓝宝石衬底上制备了GaN p-i-n结构,应用常规的半导体工艺制成了紫外光探测器,测试结果显示其正向导通电压为4.6 V,反向击穿电压大于40V;室温下反偏3 V时的暗电流为6.68 pA,峰值响应度0.115 A/W出现在367 nm... 用反应分子束外延(RMBE)方法在蓝宝石衬底上制备了GaN p-i-n结构,应用常规的半导体工艺制成了紫外光探测器,测试结果显示其正向导通电压为4.6 V,反向击穿电压大于40V;室温下反偏3 V时的暗电流为6.68 pA,峰值响应度0.115 A/W出现在367 nm处;400 nm处的响应度为6.59×10-5A/W,比峰值响应度低四个量级。 展开更多
关键词 GAN p-i-n结构 紫外探测器
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4H-SiCp-i-n紫外光电探测器的电容-电压特性研究
17
作者 蔡加法 陈厦平 +1 位作者 吴少雄 吴正云 《量子电子学报》 CAS CSCD 北大核心 2016年第6期770-774,共5页
分析并比较了4H-SiC p-i-n紫外光电探测器的电容-电压(C-V)特性随温度和偏置电压的变化情况,观测到4H-SiC p-i-n结构中的深能级缺陷。结果表明:由于近零偏压时探测器i型层已处于耗尽状态,其高频(1 MHz)C-V特性几乎不随反向偏压变化.随... 分析并比较了4H-SiC p-i-n紫外光电探测器的电容-电压(C-V)特性随温度和偏置电压的变化情况,观测到4H-SiC p-i-n结构中的深能级缺陷。结果表明:由于近零偏压时探测器i型层已处于耗尽状态,其高频(1 MHz)C-V特性几乎不随反向偏压变化.随着温度升高,被热离化的自由载流子数量增多导致高频结电容随之增大;探测器的低频(100 kHz)结电容比高频结电容具有更强的电压和温度依赖性,原因在于被深能级缺陷俘获的载流子随反向偏压增大或随温度升高而被离化,从而对结电容产生影响. 展开更多
关键词 光电子学 4H-SIC p-i-n紫外光电探测器 电容-电压 深能级缺陷
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ICP刻蚀在GaAs p-i-n工艺中的应用
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作者 张力江 幺锦强 +1 位作者 崔玉兴 付兴昌 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2010年第8期503-506,共4页
基于GaAs p-i-n器件的制造工艺,介绍了器件制造过程中关键工艺步骤p-i层的去除方法,并总结分析了在p-i层去除过程中不同的方法对工艺结果造成的影响。分别采用了湿法腐蚀和干法刻蚀的方法制作了器件,结果表明采用湿法腐蚀的方法去除p-i... 基于GaAs p-i-n器件的制造工艺,介绍了器件制造过程中关键工艺步骤p-i层的去除方法,并总结分析了在p-i层去除过程中不同的方法对工艺结果造成的影响。分别采用了湿法腐蚀和干法刻蚀的方法制作了器件,结果表明采用湿法腐蚀的方法去除p-i层时,由于腐蚀的各项异性造成的影响无法消除,会影响器件的性能。阐述了影响干法刻蚀的设备因素和工艺因素,讨论分析了不同的气体、腔体的真空度以及不同的功率对最终结果的影响。最终得到刻蚀均匀、稳定的干法刻蚀条件,将ICP干法刻蚀工艺引入GaAs p-i-n器件制造。 展开更多
关键词 GAAS 感应耦合等离子体 p-i-N二极管 湿法腐蚀 干法刻蚀
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A Solar-Blind AlGaN-Based p-i-n Back-Illuminated Photodetector with a High Temperature AlN Template Layer
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作者 邹泽亚 杨谟华 +4 位作者 刘挺 赵文伯 赵红 罗木昌 王振 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第1期20-23,共4页
The growth, fabrication, and characterization of a solar-blind A1GaN-based p-i-n back-illuminated photodetector with a high temperature A1N template are reported for the first time. The photodetector was fabricated fr... The growth, fabrication, and characterization of a solar-blind A1GaN-based p-i-n back-illuminated photodetector with a high temperature A1N template are reported for the first time. The photodetector was fabricated from multilayer AIx Gal-xN films grown by MOCVD on double-polished c-plane (0001) sapphire substrates. Crack free, high A1 content (0.7) A1GaN multilayer structure,designed for the solar-blind p-i-n back-illuminated photodetector,was grown on a high temperature A1N template without a nuclear layer. The high quality of the epitaxial layers is demonstrated by in-situ optical reflectance monitoring curve, triple-axis X-ray diffraction, and atomic-force microscope. At a 1.8V bias, the processed p-i-n photodetector exhibits a solar-blind photoresponse with a maximum responsivity of 0. 0864A/W at 270nm. The photodetector exhibits a forward turn-on voltage at around 3.5V and a reverse breakdown voltage above 20V, and the leakage current is below 20pA for 2V reverse bias. 展开更多
关键词 solar-blind high temperature A1N template back-illuminated photodetector p-ion
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a-SiC_x:Hp-i结的电致发光
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作者 岳瑞峰 姚永昭 刘理天 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第4期259-262,共4页
在以ITO薄膜为正极的透明导电玻璃上,利用PECVD方法进行B掺杂制备出具有p-i结的a-SiCx:H薄膜,然后在其上溅Al作为负电极形成“三明治”器件结构,并对它的I-V特性和发光特性进行了研究。结果表明,器件具有整流效应,正反向电压分别为8 V和... 在以ITO薄膜为正极的透明导电玻璃上,利用PECVD方法进行B掺杂制备出具有p-i结的a-SiCx:H薄膜,然后在其上溅Al作为负电极形成“三明治”器件结构,并对它的I-V特性和发光特性进行了研究。结果表明,器件具有整流效应,正反向电压分别为8 V和12 V;在正向电压高于8 V时,观测到了电致发光。最后,根据我们提出的能带模型很好地解释了实验结果。 展开更多
关键词 a-SiCx:H薄膜 p-i PECVD 电致发光
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