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介电泳效应平面抛光的电极同层布置方式数值仿真与实验 被引量:1
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作者 邓乾发 程军 +3 位作者 吕冰海 袁巨龙 王旭 岑凯迪 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第15期1772-1779,1793,共9页
针对化学机械平面抛光(CMPP)过程中,抛光液受抛光盘旋转离心力作用,抛光液有效利用率低、在抛光盘表面分布不均,从而影响平面抛光效率和质量的问题,提出了一种电极同层布置方式的介电泳平面抛光方法(SLAE-DEPP)。采用COMSOL Multiphysic... 针对化学机械平面抛光(CMPP)过程中,抛光液受抛光盘旋转离心力作用,抛光液有效利用率低、在抛光盘表面分布不均,从而影响平面抛光效率和质量的问题,提出了一种电极同层布置方式的介电泳平面抛光方法(SLAE-DEPP)。采用COMSOL Multiphysics对电极同层布置方式下封闭式圆环电极和非封闭式圆环电极的电势变化和电场强度平方梯度变化进行仿真,仿真结果表明,非封闭式圆环电极方式的电场强度平方梯度在半径ρ方向和角度θ方向都存在变化,在开口处最大电场强度平方梯度变化约为封闭式电极方式电场强度平方梯度变化的1.5倍。采用非封闭圆环电极同层布置方式制作抛光盘,搭建实验平台进行抛光实验,实验结果表明,与传统CMPP抛光相比,SLAE-DEPP方式抛光直径为76.2 mm硅片,抛光6 h后,工件中心处表面粗糙度Ra从初始690 nm下降到1 nm以下,工件平面度(RMS值)为0.268μm,工件材料去除率(MRR)提高了近27.3%,工件表面去除均匀达到镜面,抛光效率和抛光质量均优于传统CMPP方式。 展开更多
关键词 介电泳效应 平面抛光 电极同层布置 均匀性
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地铁自动售票机系统设计 被引量:8
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作者 向鹏 《自动化应用》 2010年第11期12-14,共3页
介绍地铁AFC系统的基本组成和自动售票机的工作原理。讲述了自动售票机系统软硬件的设计框架,并针对硬件模块进行详细的描述,介绍各个模块在TVM中的功能组成以及软硬件设计方案。
关键词 自动售检票 车站计算机 自动售票机 单程票发售 不间断电源 人工售补票机
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On the Deepest Fallacy in the History of Mathematics: The Denial of the Postulate about the Approximation Nature of a Simple-Iteration Method and Iterative Derivation of Cramer’s Formulas
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作者 Albert Iskhakov Sergey Skovpen 《Applied Mathematics》 2019年第6期371-382,共12页
Contrary to the opinion about approximation nature of a simple-iteration method, the exact solution of a system of linear algebraic equations (SLAE) in a finite number of iterations with a stationary matrix is demonst... Contrary to the opinion about approximation nature of a simple-iteration method, the exact solution of a system of linear algebraic equations (SLAE) in a finite number of iterations with a stationary matrix is demonstrated. We present a theorem and its proof that confirms the possibility to obtain the finite process and imposes the requirement for the matrix of SLAE. This matrix must be unipotent, i.e. all its eigenvalues to be equal to 1. An example of transformation of SLAE given analytically to the form with a unipotent matrix is presented. It is shown that splitting the unipotent matrix into identity and nilpotent ones results in Cramer’s analytical formulas in a finite number of iterations. 展开更多
关键词 System of Linear Algebraic Equations (slae) NILPOTENT MATRIX Unipotent MATRIX Eigenvalue Assignment Finite ITERATIVE Process Cramer’s FORMULAS
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