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磁控溅射镀膜技术在(Cr,Ti,Al)N涂层上的应用
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作者 赵凡 项燕雄 +2 位作者 邹长伟 于云江 梁枫 《真空》 CAS 2024年第4期22-29,共8页
过渡金属氮化物硬质涂层在切削刀具、精密模具和机械零部件等领域有着广泛的应用。随着切削技术的进步和难加工材料的增多,硬质涂层已由传统的二元涂层向着三元、四元涂层不断发展。(Cr,Ti,Al)N四元涂层因其优异的综合性能而备受研究人... 过渡金属氮化物硬质涂层在切削刀具、精密模具和机械零部件等领域有着广泛的应用。随着切削技术的进步和难加工材料的增多,硬质涂层已由传统的二元涂层向着三元、四元涂层不断发展。(Cr,Ti,Al)N四元涂层因其优异的综合性能而备受研究人员的关注。本文从磁控溅射镀膜的基本原理和技术特点出发,介绍了制备(Cr,Ti,Al)N涂层常见的磁控溅射镀膜技术,分析了采用单质靶与合金靶沉积镀膜的效果及其各自的优缺点,研究了磁控溅射工艺参数对(Cr,Ti,Al)N涂层机械性能的影响,最后讨论了(Cr,Ti,Al)N梯度涂层的作用及其制备方法。本文可为设计(Cr,Ti,Al)N涂层制备工艺、改善(Cr,Ti,Al)N涂层性能提供理论参考与指导。 展开更多
关键词 (Cr ti al)n涂层 磁控溅射 靶材选择 工艺参数 梯度涂层
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多弧离子镀(Ti,Al,Zr)N多元超硬梯度膜的制备及力学性能研究 被引量:10
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作者 崔贯英 张钧 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第3期329-333,共5页
采用多弧离子镀技术并使用合金靶Ti-Al-Zr制备(Ti,Al,Zr)N多元超硬梯度膜。利用扫描电镜、X衍射仪对(Ti,Al,Zr)N膜层表面、断面形貌、成分、结构进行观察测定;系统考察了沉积工艺对(Ti,Al,Zr)N膜层质量、膜/基附着力和硬度的影响;并对... 采用多弧离子镀技术并使用合金靶Ti-Al-Zr制备(Ti,Al,Zr)N多元超硬梯度膜。利用扫描电镜、X衍射仪对(Ti,Al,Zr)N膜层表面、断面形貌、成分、结构进行观察测定;系统考察了沉积工艺对(Ti,Al,Zr)N膜层质量、膜/基附着力和硬度的影响;并对膜层抗热震性进行了研究。通过与TiN,(Ti,Al)N,(Ti,Zr)N等硬质膜进行比较,发现采用Ti-Al-Zr合金靶制备的(Ti,Al,Zr)N多元梯度膜有更高的硬度和膜/基附着力,硬度可达4000 HV,实现了从硬质膜到超硬膜的转变;膜/基附着力大于200 N,同时对沉积工艺有较强的适应性。 展开更多
关键词 (ti al zr)n梯度膜 多弧离子镀 显微硬度 热震 合金靶
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多弧离子镀(Cr,Ti,Al,Zr)N多组元超硬梯度膜的结构及性能 被引量:5
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作者 崔贯英 张钧 吕会敏 《材料保护》 CAS CSCD 北大核心 2010年第6期24-27,共4页
(Cr,Ti,Al,Zr)N梯度膜性能优异。采用多弧离子镀技术,使用Ti-Al-Zr合金靶和Cr单质靶在高速钢表面制备(Cr,Ti,Al,Zr)N多元超硬梯度膜,利用扫描电镜、能谱、X射线衍射仪、硬度计、划痕仪对膜层形貌、成分、结构、硬度、附着力进行分析,并... (Cr,Ti,Al,Zr)N梯度膜性能优异。采用多弧离子镀技术,使用Ti-Al-Zr合金靶和Cr单质靶在高速钢表面制备(Cr,Ti,Al,Zr)N多元超硬梯度膜,利用扫描电镜、能谱、X射线衍射仪、硬度计、划痕仪对膜层形貌、成分、结构、硬度、附着力进行分析,并通过热震性能试验考察了膜层的抗热震性能。结果表明:制备的膜层为面心立方结构,择优生长取向为(220)面;与TiN,(Ti,Al)N,(Ti,Cr)N,(Ti,Al,Zr)N等硬质膜相比,制备的(Cr,Ti,Al,Zr)N多元梯度膜具有更高的硬度和膜/基附着力,硬度可达4400HV,膜/基附着力大于200N,实现了从硬质膜到超硬膜的转变;膜层中N含量梯度可有效减少应力集中,Cr,Al含量的增加有利于提高膜层抗热震性能;负偏压对膜层硬度影响较大,对膜层成分、结构、抗热震性能影响较小,对膜/基附着力基本无影响。 展开更多
关键词 多弧离子镀 (Cr ti al zr)n超硬梯度膜 硬度 膜/基附着力 热震性能
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多弧离子镀(Ti,Al,Zr,Cr)N多元膜的高温氧化行为 被引量:2
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作者 赵时璐 张钧 刘常升 《中国腐蚀与防护学报》 CAS CSCD 北大核心 2009年第4期296-300,共5页
采用多弧离子镀技术,用Ti-Al-Zr合金靶和Cr靶,在W18Cr4V高速钢基体上沉积了(Ti,Al,Zr, Cr)N多元膜,并进行了600℃,700℃,800℃和900℃短时(4 h)高温氧化实验及700℃和800℃长期(100 h)高温循环氧化实验。用扫描电镜(SEM)、能谱(EDS)和X... 采用多弧离子镀技术,用Ti-Al-Zr合金靶和Cr靶,在W18Cr4V高速钢基体上沉积了(Ti,Al,Zr, Cr)N多元膜,并进行了600℃,700℃,800℃和900℃短时(4 h)高温氧化实验及700℃和800℃长期(100 h)高温循环氧化实验。用扫描电镜(SEM)、能谱(EDS)和X射线衍射(XRD)观察和分析样品表面氧化膜。结果表明,这种多元膜在短时(4 h)高温氧化条件下,800℃时仍具有良好的抗高温氧化性,XRD显示氧化膜主要为TiO_2;在长期(100 h)高温氧化条件下,该多元膜的抗高温氧化温度大约为700℃左右。 展开更多
关键词 多弧离子镀 (ti al zr Cr) n 高速钢 高温氧化
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激光熔覆Ti-Al-N复合涂层高温氧化及摩擦磨损性能
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作者 田雨鑫 肖华强 +3 位作者 游川川 冯进宇 肖易 周璇 《Transactions of Nonferrous Metals Society of China》 SCIE EI CAS CSCD 2023年第6期1779-1791,共13页
采用激光熔覆于TC4合金表面原位合成Ti-Al-N复合涂层,对比研究复合涂层及TC4基体的高温氧化行为及宽温域下的摩擦磨损性能。结果表明:复合涂层在800℃以下生成以TiO_(2)为主的多层膜,在900和1000℃下涂层氧化产物为TiO_(2)和Al_(2)O_(3... 采用激光熔覆于TC4合金表面原位合成Ti-Al-N复合涂层,对比研究复合涂层及TC4基体的高温氧化行为及宽温域下的摩擦磨损性能。结果表明:复合涂层在800℃以下生成以TiO_(2)为主的多层膜,在900和1000℃下涂层氧化产物为TiO_(2)和Al_(2)O_(3)的混合氧化层,涂层表现出较好的抗高温氧化性能;由于氧化膜增厚及涂层中分布的Ti_2AlN自润滑相的作用,800℃时涂层摩擦因数降至0.2091,磨损率降至0.025×10^(-4)mm^3·N^(-1)·m^(-1)是TC4钛合金基体的1.43%。复合涂层在测试温度区间以磨粒磨损为主,高温条件下氧化物具有明显的润滑作用。 展开更多
关键词 激光熔覆 ti-al-n复合涂层 自润滑 氧化 磨粒磨损
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含钪7N01铝合金中Al3(Sc,Zr,Ti)相的析出及其作用机制 被引量:7
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作者 李召明 姜海昌 +3 位作者 王昀立 张舵 闫德胜 戎利建 《中国材料进展》 CAS CSCD 北大核心 2019年第8期787-792,共6页
钪是铝合金中常见的添加元素,但关于钪在铝合金中的作用机制研究还不够深入。通过电阻炉熔炼方法制备了传统7N01铝合金与新型含钪7N01铝合金,经均匀化处理后将合金热挤压成板材并进行双级人工时效处理。采用电子背散射衍射(EBSD)和透射... 钪是铝合金中常见的添加元素,但关于钪在铝合金中的作用机制研究还不够深入。通过电阻炉熔炼方法制备了传统7N01铝合金与新型含钪7N01铝合金,经均匀化处理后将合金热挤压成板材并进行双级人工时效处理。采用电子背散射衍射(EBSD)和透射电镜(TEM)对比分析了传统7N01铝合金与新型含钪7N01铝合金的微观组织,对时效态热挤压板材力学性能进行了表征,并分析了合金强化的作用机制。结果表明:经470℃/24h均匀化处理后,传统7N01铝合金中析出了少量的纳米Al3(Zr,Ti)相,而含钪7N01铝合金中析出了大量纳米Al3(Sc,Zr,Ti)相。这种高密度、与基体保持共格的Al3(Sc,Zr,Ti)相对晶界迁移的钉扎效果显著,明显提升了再结晶形核的临界亚晶尺寸,抑制了热挤压过程中的动态再结晶,使含钪7N01铝合金几乎由完全的纤维结构组成。同时,含钪7N01铝合金的抗拉强度和屈服强度分别较传统7N01铝合金提高了10.7%和13.3%。计算结果表明,添加钪引起7N01铝合金的细晶强化和弥散强化效果分别为7和57MPa,强化效果主要来源于Al3(Sc,Zr,Ti)相的弥散强化。 展开更多
关键词 7n01铝合金 钪添加 al3(Sc zr ti)相 再结晶 弥散强化
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(Ti,Al,Zr)N多元硬质膜的退除方法与工艺研究 被引量:2
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作者 贾恒 张钧 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第12期1067-1073,共7页
利用多弧离子镀技术并使用T-i Al(原子百分比50∶50)合金靶与Zr单质靶组合在高速钢基体上镀覆(Ti,Al,Zr)N硬质反应膜。使用螯合剂、氧化剂、缓蚀剂及氢氧化钠配制膜层退除液,通过改变退除液各组元的浓度、退除液PH值和退膜温度等影响因... 利用多弧离子镀技术并使用T-i Al(原子百分比50∶50)合金靶与Zr单质靶组合在高速钢基体上镀覆(Ti,Al,Zr)N硬质反应膜。使用螯合剂、氧化剂、缓蚀剂及氢氧化钠配制膜层退除液,通过改变退除液各组元的浓度、退除液PH值和退膜温度等影响因素,考查(Ti,Al,Zr)N硬质反应膜的退除效果。分析了高速钢基体和退膜前后试样的表面形貌、成分和粗糙度。比较了退除液组元的不同组合、不同浓度、退除液不同PH值条件下镀膜试样表面形貌随时间的变化,进而确定了退除液的最佳组元组合及最佳退除膜层工艺,实现了高速钢基体上(Ti,Al,Zr)N膜的完全退除,退膜后的试样表面光亮,无腐蚀损伤。 展开更多
关键词 退除液 多弧离子镀 (ti al zr)n硬质反应膜 高速钢
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脉冲偏压对(Ti,Al)N/TiN/(Ti,Al)N多层复合涂层成分和硬度的影响 被引量:11
8
作者 毛延发 唐为国 +2 位作者 兰新哲 周廉 韩培刚 《稀有金属快报》 CSCD 2008年第6期12-16,共5页
采用脉冲偏压多弧离子镀技术在Hss-Al高速钢上涂镀(Ti,Al)N/TiN(/Ti,Al)N多层复合涂层。所用设备为复合八阵弧离子镀膜生长系统。简要介绍了多层复合膜的镀层工艺过程。鉴于复合涂层中的Al含量对涂层的性能特别是抗磨损性能有极重要的影... 采用脉冲偏压多弧离子镀技术在Hss-Al高速钢上涂镀(Ti,Al)N/TiN(/Ti,Al)N多层复合涂层。所用设备为复合八阵弧离子镀膜生长系统。简要介绍了多层复合膜的镀层工艺过程。鉴于复合涂层中的Al含量对涂层的性能特别是抗磨损性能有极重要的影响,实验中重点考察了脉冲偏压幅对Al含量的影响。同时测试了复合涂层的Vickers硬度与偏压幅值的关系。研究结果得出,随着脉冲偏压幅值的增加,涂层中Al含量先增加,然后减少,偏压幅值为-150V时,Al含量高达36.41at%;偏压幅与涂层显微硬度的关系有相似的规律,在偏压幅值为-150V时,7层复合膜的Vickers硬度达2750MPa左右,10层复合膜的硬度约2880MPa。 展开更多
关键词 多弧离子膜 (ti al)n/tin/(ti al)n 多声能复合涂层 维氏硬度
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Si掺杂对Al-Ti-N涂层的结构、力学性能和抗氧化性能的影响 被引量:1
9
作者 袁红梅 杨兵 +2 位作者 李佳 吴明晶 陈利 《粉末冶金材料科学与工程》 EI 北大核心 2013年第1期139-143,共5页
采用阴极弧蒸发技术在Al2O3、低合金钢和硬质合金刀片上沉积Ti与Al原子比相近的Al-Ti-N和Al-Ti-Si-N涂层,借助X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)、纳米压痕、划痕实验和氧化实验,研究Si掺杂对Al-Ti-N涂层的结构、力学性能和抗氧化性能的影... 采用阴极弧蒸发技术在Al2O3、低合金钢和硬质合金刀片上沉积Ti与Al原子比相近的Al-Ti-N和Al-Ti-Si-N涂层,借助X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)、纳米压痕、划痕实验和氧化实验,研究Si掺杂对Al-Ti-N涂层的结构、力学性能和抗氧化性能的影响。结果表明:Al-Ti-N涂层为以立方为主的立方和六方的两相结构,Si掺杂可降低TiN中Al的固溶度,使涂层转化为以六方为主的六方和立方的两相结构;Si的加入导致涂层硬度由34.5 GPa降到28.7 GPa;Si掺杂引起涂层的应力增加,从而导致涂层与基体的结合强度降低;Al-Ti-N涂层的抗氧化性能随Si的加入而显著改善,抗氧化温度提高到1 000℃以上。 展开更多
关键词 al-ti-n al-ti-Si-n 硬度 抗氧化性 涂层
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TRIBOLOGICAL AND HIGH SPEED TURNING PERFORMANCE IN Ti_(1-x)Al_xN COATINGS PREPARED BY CLOSE-FIELD UNBALANCED MAGNETRON SPUTTERING 被引量:1
10
作者 P.W. Shum M. Escursell T.H. Wong 《Acta Metallurgica Sinica(English Letters)》 SCIE EI CAS CSCD 2005年第3期254-260,共7页
Titanium-aluminium-nitride (Ti1-xAlxN) coatings were deposited by close-field un balanced magnetron sputtering on M42 steel substrates and WC-6wt%Co inserts at 4 50℃. The tribological behavior was analyzed by sliding... Titanium-aluminium-nitride (Ti1-xAlxN) coatings were deposited by close-field un balanced magnetron sputtering on M42 steel substrates and WC-6wt%Co inserts at 4 50℃. The tribological behavior was analyzed by sliding against steel and WC- 6wt%Co balls, while the turning performance was evaluated by a conventional tu rning machine at high cutting speeds without using coolants. In the tribological tests, the formation of transfer layer and the variations of hardness of the co atings played an important role for sliding against steel balls. For the coating s sliding against WC-6wt%Co balls, the Ti-Al-N coatings showed a similar frictio n coefficient, but the TiN coating exhibited a lower value. The difference could be explained by the tri-oxidation wear mechanism. In the turning tests, a super ior cutting performance of the coating was found at x=0.45, which endured 38 min utes before the tool flank wear reached the maximum value of 0.3mm, whereas only 20 minutes were endured for the TiN coating. The excellent performance of the c oatings in the turning tests could be explained by the enhanced mechanical prope rties and oxidation/diffusion resistance of the coatings. 展开更多
关键词 HARDnESS ti-al-n coating TRIBOLOGY turning test wear test
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High temperature oxidation behavior of (Ti, Al)N coating deposited by arc ion plating 被引量:1
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作者 刘爱东 杨世伟 《中国有色金属学会会刊:英文版》 CSCD 2005年第S3期398-401,共4页
(Ti, Al)N gradient nano-coating was deposited on the surface of 1Cr11Ni2W2MoV stainless steel by the MTP-8-800 arc ion plating equipment. And the oxidation performance at high temperature for 500h was tested under t... (Ti, Al)N gradient nano-coating was deposited on the surface of 1Cr11Ni2W2MoV stainless steel by the MTP-8-800 arc ion plating equipment. And the oxidation performance at high temperature for 500h was tested under the condition of the surrounding air temperature 700℃. The test results show that, because of the structural features of the (Ti, Al)N coating, the coating becomes the compact and continuous Al2O3 film, which can protect the basis material effectively in the process of the high temperature oxidizing. The oxidation kinetics of the coating accord with parabolic law. 展开更多
关键词 arc ion PLAtinG (ti al)n gradient nano-coating oxidation resistant
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Al含量对Ti_(1-X)Al_XN涂层组织结构的影响 被引量:14
12
作者 王永康 熊仁章 +2 位作者 雷廷权 夏立芳 李炳生 《材料工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第8期24-25,12,共3页
通过不同 Al含量的 Ti- Al粉末冶金靶 ,采用多弧离子镀技术制备了 Ti1 - XAl XN涂层。用 SEM、 XRD、 GAXRD以及 XTEM等手段研究了 Al元素对涂层组织结构的影响。研究表明 ,Ti Al N涂层呈柱状多晶组织 ,(Ti,Al) N为涂层的主要组成相 ;随... 通过不同 Al含量的 Ti- Al粉末冶金靶 ,采用多弧离子镀技术制备了 Ti1 - XAl XN涂层。用 SEM、 XRD、 GAXRD以及 XTEM等手段研究了 Al元素对涂层组织结构的影响。研究表明 ,Ti Al N涂层呈柱状多晶组织 ,(Ti,Al) N为涂层的主要组成相 ;随着 Al含量的增加 ,涂层中的 (Ti,Al) N相减少 ,且其晶格常数降低。 展开更多
关键词 多弧离子镀 ti1-xalxn涂层 组织结构 (ti al)n
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Al含量对(Ti,Al)N涂层结构性能的影响 被引量:20
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作者 李佳 夏长清 +1 位作者 刘昌斌 戴晓元 《材料导报》 EI CAS CSCD 2003年第12期29-31,35,共4页
(Ti,Al)N是20世纪80年代未期在TiN基础上发展起来的一种新型多元涂层材料。由于加入Al元素,(Ti,Al)N不但硬度、耐磨性优于TiN,而且大大改善了涂层的抗高温氧化性能。综述了Al元素在(Ti,Al)N涂层中的作用机理,以及Al含量对(Ti,Al)N涂层... (Ti,Al)N是20世纪80年代未期在TiN基础上发展起来的一种新型多元涂层材料。由于加入Al元素,(Ti,Al)N不但硬度、耐磨性优于TiN,而且大大改善了涂层的抗高温氧化性能。综述了Al元素在(Ti,Al)N涂层中的作用机理,以及Al含量对(Ti,Al)N涂层的晶体结构、抗高温氧化、硬度和耐磨性的影响。指出当Ti和Al的比例近似为1:1时,(Ti,Al)N涂层将获得优越的综合使用性能。 展开更多
关键词 多元涂层材料 (ti al)n 硬度 耐磨性
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(Ti,Al)N涂层的微观组织和性能 被引量:19
14
作者 陈利 吴恩熙 +2 位作者 尹飞 王社权 汪秀全 《中国有色金属学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第2期279-283,共5页
采用EPMA、XRD、SEM、TEM、HR-TEM、EDX、纳米压痕、氧化实验和切削实验研究了磁控溅射在硬质合金基体上沉积TiN涂层和(Ti,Al)N涂层的微观组织结构和性能。结果表明:TiN涂层晶粒为喇叭口柱状晶,(Ti,Al)N涂层为面心立方平直柱状晶,由于... 采用EPMA、XRD、SEM、TEM、HR-TEM、EDX、纳米压痕、氧化实验和切削实验研究了磁控溅射在硬质合金基体上沉积TiN涂层和(Ti,Al)N涂层的微观组织结构和性能。结果表明:TiN涂层晶粒为喇叭口柱状晶,(Ti,Al)N涂层为面心立方平直柱状晶,由于固溶了Al元素,(Ti,A l)N涂层呈(200)面择优生长;(Ti,Al)N涂层在硬质合金基体上无外延生长;(Ti,Al)N涂层在800℃氧化后形成Al2O3/TiO2/(Ti,Al)N的分层结构;(Ti,Al)N涂层具有更高的硬度和更好的切削性能。 展开更多
关键词 (ti al)n涂层 硬质合金 外延生长 氧化性能 切削性能
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SiC颗粒增强铝基复合材料基材上制备(Ti,Al)N涂层的研究 被引量:4
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作者 郑静地 邹友生 +4 位作者 宋贵宏 宫骏 刘越 孙超 闻立时 《金属学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2004年第7期745-748,共4页
利用电弧离子镀技术在SiCp/2024Al基体上制备(Ti,Al)N涂层.研究了偏压对涂层的相组成、晶格常数和成分的影响及不同过渡层对涂层与基体结合性能的影响.结果表明,在较小偏压下, (Ti,Al)N涂层呈(111)择优取向;偏压在-150 V时,涂层无择优取... 利用电弧离子镀技术在SiCp/2024Al基体上制备(Ti,Al)N涂层.研究了偏压对涂层的相组成、晶格常数和成分的影响及不同过渡层对涂层与基体结合性能的影响.结果表明,在较小偏压下, (Ti,Al)N涂层呈(111)择优取向;偏压在-150 V时,涂层无择优取向;但随偏压继续升高,出现(200)和(220)择优取向.在添加Ti过渡层时,涂层与基体形成致密均匀的良好结合.同时通过设计梯度涂层,获得了厚度达105μm的无裂纹(Ti,Al)N涂层. 展开更多
关键词 (ti al)n涂层 复合材料 电弧离子镀 偏压 SiC 相组成 晶格常数
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PVD法制备(Ti,Al)N涂层中残余应力对其质量的影响 被引量:14
16
作者 吴化 陈涛 宋力 《材料工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第2期60-64,92,共6页
在国产离子镀和空心阴极离子镀复合镀膜机上,通过改变脉冲偏压值制备了(Ti,Al)N涂层。用X射线衍射仪对涂层的相组成进行了检测分析,并通过测得的衍射谱线计算了(Ti,Al)N涂层中的残余应力值;扫描电镜观察涂层表面微观形貌显示涂层表面存... 在国产离子镀和空心阴极离子镀复合镀膜机上,通过改变脉冲偏压值制备了(Ti,Al)N涂层。用X射线衍射仪对涂层的相组成进行了检测分析,并通过测得的衍射谱线计算了(Ti,Al)N涂层中的残余应力值;扫描电镜观察涂层表面微观形貌显示涂层表面存在"大颗粒"现象;用材料表面微纳米力学测试系统检测了涂层与基体间的结合力和涂层的硬度值。对涂层中残余应力与质量和性能之间关系的研究分析表明:(Ti,Al)N涂层中存在着残余压应力,且随脉冲偏压值的增加其值有先减小后增大的趋势;涂层中"大颗粒"现象随脉冲偏压值的提高能够显著得到减轻,涂层与基体间结合力得到提高,涂层的硬度值增大,涂层质量和力学性能均得到改善。 展开更多
关键词 (ti al)n涂层 残余应力 X射线衍射法 大颗粒
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Ti-Al-Si-N涂层界面微结构研究 被引量:5
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作者 王更柱 陈添 +4 位作者 解志文 宋晓航 高旭 于晓光 宋华 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第2期179-183,共5页
采用多元等离子体浸没离子注入与沉积装置制备Ti-Al-Si-N涂层,借助X射线衍射仪、X射线光电子能谱、透射电子显微镜、纳米探针和原子力显微镜等系统研究涂层界面微结构与力学性能。研究结果表明:Ti-Al-Si-N涂层具有Si3N4界面相包裹TiAlN... 采用多元等离子体浸没离子注入与沉积装置制备Ti-Al-Si-N涂层,借助X射线衍射仪、X射线光电子能谱、透射电子显微镜、纳米探针和原子力显微镜等系统研究涂层界面微结构与力学性能。研究结果表明:Ti-Al-Si-N涂层具有Si3N4界面相包裹TiAlN纳米晶复合结构,Si元素掺杂诱发涂层发生明显晶粒细化效应。随涂层Si含量增加,TiAlN晶粒尺寸显著降低,界面Si3N4层厚度增加。当Si3N4界面层厚度小于1nm并与TiAlN晶粒共格外延生长时,Ti-Al-Si-N涂层表现超高硬度约40GPa,当Si3N4界面相厚度增至2nm并呈非晶态存在时,涂层硬度降至约29GPa。 展开更多
关键词 ti-al-Si-n涂层 界面微结构 硬化机理 多元等离子体浸没注入与沉积
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涂层结构对Ti-Al-N涂层氧化行为的影响 被引量:7
18
作者 彭继华 肖新生 +1 位作者 苏东艺 田君 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第3期208-213,共6页
采用多弧离子镀技术及TiAl合金靶,在SKH51高速钢基体上沉积了Ti1-xAlxN单层构型涂层和TiN/Ti1-xAlxN复合多层构型涂层,分析其高温氧化行为。用扫描电镜、X射线衍射、电子探针等手段表征了涂层氧化后的组织结构和元素分布。试验发现,基... 采用多弧离子镀技术及TiAl合金靶,在SKH51高速钢基体上沉积了Ti1-xAlxN单层构型涂层和TiN/Ti1-xAlxN复合多层构型涂层,分析其高温氧化行为。用扫描电镜、X射线衍射、电子探针等手段表征了涂层氧化后的组织结构和元素分布。试验发现,基体Fe元素扩散到涂层表面意味着SKH51涂层试样剧烈氧化阶段的开始。当涂层的构型相同时,涂层的抗氧化性能随着涂层中铝含量增加而单调增加。但对于TiN/Ti0.33Al0.67N复合多层构型涂层,其抗氧化性则比Ti0.33Al0.67N单层构型涂层差,高于铝含量基本相同的Ti0.67Al0.33N单层构型涂层。空气中800℃恒温退火,TiN/Ti0.33Al0.67N涂层出现严重氧化的时间是43 h,Ti0.33Al0.67N、Ti0.67Al0.33N涂层分别为53 h和11 h。因此,Ti-Al-N涂层的抗氧化性不仅同涂层中铝含量有关,涂层构型也起着重要用。 展开更多
关键词 涂层结构 多弧离子镀 ti-al-n涂层 微观结构 氧化行为
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V元素对TiAlN涂层高温氧化行为的影响 被引量:9
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作者 毛延发 兰新哲 +1 位作者 周廉 宫永辉 《稀有金属快报》 CAS CSCD 2008年第5期27-33,共7页
为了考察V元素对Ti-Al-N涂层高温氧化行为的影响,用多弧离子镀法在W18Cr4V1Co5高速钢试样表面涂镀了Ti-Al-N和Ti-Al-V-N涂层。对两种涂层试样在不同温度和不同时间下进行氧化处理。用SEM观测两种涂层的组织结构,用XRD分析其相组成,用GT... 为了考察V元素对Ti-Al-N涂层高温氧化行为的影响,用多弧离子镀法在W18Cr4V1Co5高速钢试样表面涂镀了Ti-Al-N和Ti-Al-V-N涂层。对两种涂层试样在不同温度和不同时间下进行氧化处理。用SEM观测两种涂层的组织结构,用XRD分析其相组成,用GTA分析其升温氧化和恒温氧化动力学行为。实验结果表明,V的加入使涂层晶粒细化,组织更加致密;两种涂层均在750℃以后才测量到氧化增重;Ti-Al-N涂层的氧化转折点为920℃,超过920℃,涂层迅速氧化,逐渐失效;Ti-Al-V-N涂层在超过1000℃增重仍非常缓慢,并具有抗氧化保护的作用。V元素的加入大大降低了氧化速率,从而有效地提高了涂层的抗氧化性能。 展开更多
关键词 tialn 多弧离子镀 高温氧化行为
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反应溅射(Al,Ti)(O,N)涂层的微结构与力学性能 被引量:5
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作者 刘艳 董云杉 +2 位作者 许辉 祝新发 李戈扬 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第8期1307-1309,共3页
采用Al—Ti镶嵌复合靶在Ar、N2和O2混合气体中反应溅射制备了一系列(Al,Ti)(O,N)涂层。并采用EDS、XRD、TEM和微力学探针研究了薄膜的化学成分、微结构和力学性能。结果表明,随氧分压的提高,涂层中氧含量逐步增加,氮含量相应... 采用Al—Ti镶嵌复合靶在Ar、N2和O2混合气体中反应溅射制备了一系列(Al,Ti)(O,N)涂层。并采用EDS、XRD、TEM和微力学探针研究了薄膜的化学成分、微结构和力学性能。结果表明,随氧分压的提高,涂层中氧含量逐步增加,氮含量相应减少,(Al+Ti):(O+N)的化学计量比仍约为1:1,涂层保持与(Al,Ti)N涂层相同的NaCl结构。低氧含量时薄膜在(111)方向上择优生长,随着氧含量的提高,涂层生长的择优取向发生改变,高氧含量薄膜样品呈现强烈(200)织构的柱状晶。与此同时,(Al,Ti)(O,N)涂层的硬度和弹性模量也仍保持在与(Al,Ti)N涂层相当的35GPa和370~420GPa的高值。由于涂层中形成了相当含量的氧化物,这类涂层的抗氧化能力有望得到提高。 展开更多
关键词 反应溅射 (al ti)(O n)复合涂层 微结构 力学性能
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