直流磁控溅射在铝衬底上沉积(Ti_xAl_y)N薄膜及其性能研究

本文利用独立钛靶,在衬底6063铝合金表面镀覆了一层氮化物薄膜。借助于X射线衍射仪对薄膜的相组成进行分析,利用薄膜测厚仪和显微硬度计对薄膜的厚度和硬度进行测量,通过光学金相显微镜及场发射扫描电子显微镜,观察薄膜的微观组织及薄膜质量。通过观测发现,以独立钛靶在铝衬底表面可以生成(TixAly)N薄膜。薄膜可以强化合金的表面、增加合金的表面硬度。薄膜上的硬度压痕周围没有发现放射状的裂纹,表明薄膜与衬底结合良好。通过SEM观察发现薄膜有良好的颗粒均匀性、致密性和表面平整度。