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靶面淀积参数对真空微电子平板摄像管特性的影响
被引量:
2
1
作者
吕永积
邵佑军
+1 位作者
刘光诒
施化芬
《液晶与显示》
CAS
CSCD
2002年第4期265-269,共5页
为了开发用于真空微电子平板摄像管的高灵敏度CdSe多层光导材料 ,改建了一台能精确控制CdSe材料的蒸发速率、厚度和基体温度的高真空蒸镀设备 ,开发了由真空热预处理 ,非真空热后处理二种处理新工艺 ,制造出了新的高性能的CdSe多层光导...
为了开发用于真空微电子平板摄像管的高灵敏度CdSe多层光导材料 ,改建了一台能精确控制CdSe材料的蒸发速率、厚度和基体温度的高真空蒸镀设备 ,开发了由真空热预处理 ,非真空热后处理二种处理新工艺 ,制造出了新的高性能的CdSe多层光导靶。使CdSe多层光导靶的灵敏度提高了两个数量级 ,而清晰度 (分辨率 )保持不变。
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关键词
靶面淀积参数
真空微电子平板摄像管
真空热预处理
非真空热处理
CDSE
硒化镉
多层光导靶
下载PDF
职称材料
真空热预处理在平板摄像管CdSe多层靶面制作中的作用
被引量:
1
2
作者
吕永积
邵佑军
+2 位作者
黄庆云
蔡东山
施化芬
《液晶与显示》
CAS
CSCD
2003年第4期286-289,共4页
为了研制用于真空微电子平板摄像管(FPC)的具有高感光度的CdSe多层光导材料,发展了包括真空热预处理(VHPT)和非真空热后处理(NAHT)在内的新型热处理工艺。重新装配的蒸发设备和具有结晶和氧化功能的新型炉具满足两种热处理工艺并同其他...
为了研制用于真空微电子平板摄像管(FPC)的具有高感光度的CdSe多层光导材料,发展了包括真空热预处理(VHPT)和非真空热后处理(NAHT)在内的新型热处理工艺。重新装配的蒸发设备和具有结晶和氧化功能的新型炉具满足两种热处理工艺并同其他工艺一起可制造出新的高性能的CdSe多层光导靶。实验结果表明,CdSe多层光导靶的灵敏度提高,而清晰度(分辨率)保持不变,介绍了与VHPT工艺有关的实验结果。
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关键词
真空热预处理
平板摄像管
CDSE
多层光导材料
硒化镉
多层靶面
制作工艺
下载PDF
职称材料
用于平板摄像的CdSe靶面淀积参数对摄像特性的影响
3
作者
吕永积
刘光诒
+1 位作者
邵佑军
施化芬
《科学技术与工程》
2002年第1期59-60,共2页
为了开发用于真空微电子平板摄像管 Vacuum Microelectronics FlatPanel Camera Tube(VME FPC)的高灵敏度 CdSe 多层光导靶面,改建了一台精确控制 CdSe 材料的蒸发速率、厚度和基体温度的高真空热蒸镀设备,开发了由真空热预处理,非真空...
为了开发用于真空微电子平板摄像管 Vacuum Microelectronics FlatPanel Camera Tube(VME FPC)的高灵敏度 CdSe 多层光导靶面,改建了一台精确控制 CdSe 材料的蒸发速率、厚度和基体温度的高真空热蒸镀设备,开发了由真空热预处理,非真空热后处理组成的系列新处理工艺,制造出了新的高性能的 CdSe多层光导靶。
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关键词
真空热预处理VHPT
非真空热后处理NHAT
平板摄像管
摄像特性
淀积参数
CdSe多层光导靶面
热处理工艺
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职称材料
题名
靶面淀积参数对真空微电子平板摄像管特性的影响
被引量:
2
1
作者
吕永积
邵佑军
刘光诒
施化芬
机构
广电总局广科院光电研究所
中国科学院电子学研究所
出处
《液晶与显示》
CAS
CSCD
2002年第4期265-269,共5页
基金
国家自然科学基金资助项目 (69971 0 1 1 )
文摘
为了开发用于真空微电子平板摄像管的高灵敏度CdSe多层光导材料 ,改建了一台能精确控制CdSe材料的蒸发速率、厚度和基体温度的高真空蒸镀设备 ,开发了由真空热预处理 ,非真空热后处理二种处理新工艺 ,制造出了新的高性能的CdSe多层光导靶。使CdSe多层光导靶的灵敏度提高了两个数量级 ,而清晰度 (分辨率 )保持不变。
关键词
靶面淀积参数
真空微电子平板摄像管
真空热预处理
非真空热处理
CDSE
硒化镉
多层光导靶
Keywords
vacuum microelectronics flat panel camera tube
vacuum
heat
pretreatment
non vacuum
heat
after treatment
分类号
TN142 [电子电信—物理电子学]
TN105 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
真空热预处理在平板摄像管CdSe多层靶面制作中的作用
被引量:
1
2
作者
吕永积
邵佑军
黄庆云
蔡东山
施化芬
机构
国家广电总局光电研究所
出处
《液晶与显示》
CAS
CSCD
2003年第4期286-289,共4页
基金
国家自然科学基金资助项目(69971011)
文摘
为了研制用于真空微电子平板摄像管(FPC)的具有高感光度的CdSe多层光导材料,发展了包括真空热预处理(VHPT)和非真空热后处理(NAHT)在内的新型热处理工艺。重新装配的蒸发设备和具有结晶和氧化功能的新型炉具满足两种热处理工艺并同其他工艺一起可制造出新的高性能的CdSe多层光导靶。实验结果表明,CdSe多层光导靶的灵敏度提高,而清晰度(分辨率)保持不变,介绍了与VHPT工艺有关的实验结果。
关键词
真空热预处理
平板摄像管
CDSE
多层光导材料
硒化镉
多层靶面
制作工艺
Keywords
vacuum microelectronics flat panel camera tube
vacuum
heat
pretreatment
non-vacuum heat after-treatment
分类号
TN142 [电子电信—物理电子学]
TN105 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
用于平板摄像的CdSe靶面淀积参数对摄像特性的影响
3
作者
吕永积
刘光诒
邵佑军
施化芬
机构
广电总局广科光电研究所
中国科学院电子学研究所
出处
《科学技术与工程》
2002年第1期59-60,共2页
基金
国家自然科学基金(69971011)资助
文摘
为了开发用于真空微电子平板摄像管 Vacuum Microelectronics FlatPanel Camera Tube(VME FPC)的高灵敏度 CdSe 多层光导靶面,改建了一台精确控制 CdSe 材料的蒸发速率、厚度和基体温度的高真空热蒸镀设备,开发了由真空热预处理,非真空热后处理组成的系列新处理工艺,制造出了新的高性能的 CdSe多层光导靶。
关键词
真空热预处理VHPT
非真空热后处理NHAT
平板摄像管
摄像特性
淀积参数
CdSe多层光导靶面
热处理工艺
Keywords
vacuum microelectronics
flat panel camera tube
vacuum
heat
pre treatment
non vacuum
heat
after
treatment
分类号
TN142 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
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被引量
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1
靶面淀积参数对真空微电子平板摄像管特性的影响
吕永积
邵佑军
刘光诒
施化芬
《液晶与显示》
CAS
CSCD
2002
2
下载PDF
职称材料
2
真空热预处理在平板摄像管CdSe多层靶面制作中的作用
吕永积
邵佑军
黄庆云
蔡东山
施化芬
《液晶与显示》
CAS
CSCD
2003
1
下载PDF
职称材料
3
用于平板摄像的CdSe靶面淀积参数对摄像特性的影响
吕永积
刘光诒
邵佑军
施化芬
《科学技术与工程》
2002
0
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职称材料
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