期刊文献+
共找到49篇文章
< 1 2 3 >
每页显示 20 50 100
电子束泵浦KrF激光器进行超短脉冲的单束放大实验研究 被引量:3
1
作者 汤秀章 张海峰 +3 位作者 龚堃 马维义 单玉生 王乃彦 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第5期641-645,共5页
电子束泵浦KrF激光器口径大、泵浦率高 ,可直接用于进行超短脉冲激光的放大。用天光一号电子束泵浦KrF激光器进行超短脉冲激光放大 ,将超短脉冲激光放大到 2~ 3J、1.2 ps,激光功率达到 2TW。
关键词 实验研究 超短脉冲激光 电子束泵浦 krf激光 激光放大 准分子激光器
下载PDF
248nm KrF准分子激光精密加工Al_2O_3的实验研究 被引量:3
2
作者 江超 王又青 +1 位作者 胡少六 李波 《激光杂志》 CAS CSCD 北大核心 2002年第2期59-61,共3页
本文采用波长 2 4 8nm的KrF准分子激光器 ,对Al2 O3 陶瓷片的精密加工进行了研究 ,探讨了各种工艺参数对加工质量的影响规律。同时研究了激光工艺参数对材料表面粗糙度的影响 。
关键词 krf准分子激光器 精密加工 工艺研究 氧化铝陶瓷
下载PDF
50mJ超短脉冲KrF激光系统的参数优化(英文) 被引量:1
3
作者 汤秀章 张海峰 +5 位作者 李静 陶业争 单玉生 王乃彦 皮特.西蒙 山多.斯扎特玛利 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第5期707-712,共6页
介绍了原子能院建立的钛宝石 /KrF混合型激光装置 ,主要输出参数的测量和性能优化。放电泵浦准分子激光器采用离轴放大结构 ,结合棱镜对进行GVD补偿 ,获得 5 0mJ,2 2 0fs的紫外超短脉冲。用4 0cm透镜聚焦 ,靶上功率密度达到 10 17W/cm2 。
关键词 参数优化 超短脉冲 离轴放大 krf激光器 准分子激光器
下载PDF
电子束激励KrF激光放大器稳定运行的重要技术问题 被引量:1
4
作者 马维义 马景龙 +2 位作者 胡凤明 单玉生 王乃彦 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第5期723-726,共4页
介绍了用于天光一号高功率氟化氪 (KrF)准分子激光系统中的电子束双向激励主放大器稳定运行中必须解决的一些重要技术问题 :水介质脉冲传输线中的绝缘支撑击穿问题 ;大面积电子束二极管阳极膜的安装 ;与压力膜接触处Hibachi筋的形状 ;... 介绍了用于天光一号高功率氟化氪 (KrF)准分子激光系统中的电子束双向激励主放大器稳定运行中必须解决的一些重要技术问题 :水介质脉冲传输线中的绝缘支撑击穿问题 ;大面积电子束二极管阳极膜的安装 ;与压力膜接触处Hibachi筋的形状 ;二极管后脉冲的形成及其对阳极膜和阴极发射体造成的损害等问题。 展开更多
关键词 大面积电子束激励 krf准分子激光放大器 脉冲传输线 二极管阳极膜 二极管后脉冲
下载PDF
KrF准分子激光精密加工K9光学玻璃的实验研究 被引量:9
5
作者 江超 王又青 《电加工与模具》 2003年第2期33-35,共3页
采用波长 2 4 8nm的KrF准分子激光器对K9光学玻璃的精密微细加工进行了研究 ,探讨了准分子激光与玻璃的相互作用机理。进行了表面切割和打孔实验 ,研究了激光加工的工艺参数及加工质量的变化规律 ,对加工后的工件表面形貌进行了分析。
关键词 准分子激光器 激光烧蚀 激光精密加工 激光切割 激光打孔 光学玻璃
下载PDF
KrF激光对高速飞片的驱动特性研究 被引量:1
6
作者 李业军 王钊 +4 位作者 田宝贤 梁晶 韩茂兰 陆泽 汤秀章 《实验流体力学》 CAS CSCD 北大核心 2014年第3期104-109,共6页
利用诱导空间非相干技术平滑的KrF准分子(248nm)激光驱动带有烧蚀层的平面靶,研究激光空间均匀性对产生完整飞片的影响,结果表明激光不均匀性在2%以下,能够产生完整的高速飞片,且完整飞片能够维持20ns以上不破裂;当激光不均匀性达到5%,... 利用诱导空间非相干技术平滑的KrF准分子(248nm)激光驱动带有烧蚀层的平面靶,研究激光空间均匀性对产生完整飞片的影响,结果表明激光不均匀性在2%以下,能够产生完整的高速飞片,且完整飞片能够维持20ns以上不破裂;当激光不均匀性达到5%,激光引入流体力学不稳定性种子应很强,冲击波在靶内输运过程中不稳定性不断发展增强,到靶背时强到足以使飞片解体甚至气化,不能产生完整的飞片。为了获得尽可能高的飞片速度,采用激光与烧蚀层参数不匹配方法,使冲击波对飞片作多次加速。利用功率密度为1012 W/cm2的KrF激光与含50μm Kapton烧蚀层的5μm铝飞片作用,得到速度约10km/s的高速飞片,与模拟结果吻合得很好。 展开更多
关键词 krf准分子激光 高速飞片 冲击波平面性 速度干涉条纹 侧向阴影照相
下载PDF
百焦耳级KrF准分子激光实验
7
作者 刘晶儒 袁孝 +8 位作者 甘雨刚 赵学庆 易爱平 王龙华 胡志云 刘建胜 黄梅生 李铁军 魏燕明 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 1996年第3期465-467,共3页
介绍闪光Ⅱ号加速器泵浦的百焦耳级氟化氢激光研制情况,给出了激光器的构造和主要性能。在二极管电压为840kV,电流为200KA条件下,获得了157J的最大激光能量,峰值功率为2.0GW。研究了激光输出能量随F2和Kf气... 介绍闪光Ⅱ号加速器泵浦的百焦耳级氟化氢激光研制情况,给出了激光器的构造和主要性能。在二极管电压为840kV,电流为200KA条件下,获得了157J的最大激光能量,峰值功率为2.0GW。研究了激光输出能量随F2和Kf气体浓度的变化规律. 展开更多
关键词 准分子激光 电子束泵浦 激光实验 氟化氪
下载PDF
电子束泵浦KrF激光放大器增益与吸收的测量
8
作者 汤秀章 唐志宏 王乃彦 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 1994年第4期491-495,共5页
为研制百焦耳级KrF激光放大器,发展MOPA系统,我们用自探测法在百焦耳级电子束泵浦KrF激光装置上进行了激光放大器的增益与吸收的测量。泵浦率约为0.67MW/cm ̄2,激光介质为89.6%Ar:10%Kr:0.4%... 为研制百焦耳级KrF激光放大器,发展MOPA系统,我们用自探测法在百焦耳级电子束泵浦KrF激光装置上进行了激光放大器的增益与吸收的测量。泵浦率约为0.67MW/cm ̄2,激光介质为89.6%Ar:10%Kr:0.4%F_2的混合气体,总气压0.25MPa,实验测得激光放大器的小信号增益系数g_0=6.6%cm ̄(-1)、非饱和吸收系数α_n=0.93%cm ̄(-1)、饱和光强I_s=2.5MW/cm ̄2。 展开更多
关键词 krf激光放大器 增益 吸收 电子束泵浦 氟化氪
下载PDF
用于ps脉冲放大的大口径放电泵浦KrF激光器
9
作者 袁孝 刘晶儒 +1 位作者 吕百达 Julius Goldhar 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第3期361-364,共4页
以简单的火花间隙作为放电开关 ,建立了一种用于 ps脉冲激光放大的大口径放电泵浦 Kr F准分子激光器。该激光器的有效增益口径截面为 4 cm× 3cm,在自由运转情况下最大激光输出能量为 1.3J,脉宽2 0 ns。用作 ps放大器时 ,利用光学... 以简单的火花间隙作为放电开关 ,建立了一种用于 ps脉冲激光放大的大口径放电泵浦 Kr F准分子激光器。该激光器的有效增益口径截面为 4 cm× 3cm,在自由运转情况下最大激光输出能量为 1.3J,脉宽2 0 ns。用作 ps放大器时 ,利用光学偏振放大方式获得了激光能量 14 0 m J,脉冲宽度 10 ps的激光输出。利用 Xe 展开更多
关键词 ps脉冲放大 krf激光器 放电泵浦 ps激光放大器 设计 氟化氢 准分子激光器
下载PDF
KrF准分子激光激发掺锗光纤折射率扰动的非线性过程
10
作者 江毅 陈伟民 +1 位作者 邹建 黄尚廉 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1997年第1期46-50,共5页
本文采用了一种简单的功率监测法,观察了KrF准分子激光对掺锗光纤折射率影响的非线性过程.观察到子纤芯折射率扰动过程中非稳定现象、饱和现象和折射率扰动的非线性.
关键词 krf激光 掺锗 光纤 折射率扰动
下载PDF
百焦耳级KrF准分子激光装置设计与调试
11
作者 单玉生 王乃彦 +8 位作者 曾乃工 周创志 杨大为 马维义 康向东 黄德宝 王文昌 王效军 王淦昌 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 1993年第1期5-15,共11页
首先用解析方法分析了提高激光输出能量的途径。其次用分析和反应动力学模拟计算相结合方法给出激光腔设计参数。并给出二极管、电子束传输系统以及变阻抗线预脉冲开关等设计参数。根据这些参数对百焦耳准分子激光器进行了工程设计。在... 首先用解析方法分析了提高激光输出能量的途径。其次用分析和反应动力学模拟计算相结合方法给出激光腔设计参数。并给出二极管、电子束传输系统以及变阻抗线预脉冲开关等设计参数。根据这些参数对百焦耳准分子激光器进行了工程设计。在安装调试时,采用单元安装、逐级调试然后总调。在调试中解决了阴极边缘电子发射和沿径向有机玻璃绝缘板表面的沿面滑闪等问题。在Marx电压1.1MV,主膜为50μmTi箔,二极管电压为620kV,电子束流为160kA,束能8kJ条件下,当腔内总气压为0.25MPa、气体混合比为F_2Kr:Ar=0.4:10:89.6,谐振腔全反镜反射率为96%,输出镜透射率为75%时,获得稳定、重复100JKrF激光输出能量。 展开更多
关键词 氟化氪 准分子激光 谐振腔 激光器
下载PDF
用于光刻的小型KrF准分子激光器及光学系统
12
作者 张兆平 马树森 +1 位作者 秦玉英 熊旭明 《量子电子学报》 CAS CSCD 1997年第3期236-239,共4页
本文报道了用于半导体光刻的一体化小型KrF准分子激光器及光学系统的性能。获得了16mm×40mm的均匀光斑,光强分布不均匀性<±5%光密度~1mJ/cm2。最后讨论了改善微区均匀性的方法。
关键词 准分子激光器 光斑均匀性 光刻
下载PDF
用KrF准分子脉冲激光在低基板温度下制备AlN薄膜的研究 被引量:2
13
作者 赵强 范正修 +4 位作者 WANGMingli Kyung-KuYOON Jae-GuKIM Seong-KukLEE Kyung-HyunWHANG 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第B05期101-102,共2页
用KrF准分子脉冲激光在 2 0 0℃的Si(111)基板上通过改变制备条件 ,采用沉积后直接保温处理的方式制备出了具有不同择优取向的AlN薄膜 ,并得出了较高的处理温度和过长的时间不利于AlN相的形成的结论。
关键词 准分子脉冲激光 激光沉积 ALN薄膜
全文增补中
KrF激光照射约束层靶驱动产生高速飞片研究 被引量:1
14
作者 殷倩 汤秀章 +3 位作者 李业军 王钊 田宝贤 张品亮 《航天器环境工程》 2016年第3期300-304,共5页
微小空间碎片的超高速撞击对航天器性能有重要影响。为了研究撞击损伤机制,在"天光一号"装置上开展了Kr F准分子激光照射约束层靶产生高速飞片的实验研究,利用成像速度干涉仪(Imaging-VISAR)对飞片自由面速度进行诊断。采用1.... 微小空间碎片的超高速撞击对航天器性能有重要影响。为了研究撞击损伤机制,在"天光一号"装置上开展了Kr F准分子激光照射约束层靶产生高速飞片的实验研究,利用成像速度干涉仪(Imaging-VISAR)对飞片自由面速度进行诊断。采用1.9 J准分子激光将10μm的Al飞片加速至12 km/s,且整个过程为准等熵加载。研究结果表明准等熵加载下激光能量转化为飞片动能的效率(达39.4%)比冲击加载要高得多,飞片速度也高于后者。 展开更多
关键词 krf准分子激光 空间碎片模拟 约束层靶 高速飞片 能量转化效率 试验研究
下载PDF
质子束泵浦KrF~*准分子系统化学动力学研究和能量沉积计算
15
作者 王晓莎 陈栋泉 王正言 《计算物理》 CSCD 北大核心 1992年第3期263-266,共4页
本文修改了电子束泵浦下KrF~*准分子激光的化学动力学程序,利用修改后的程序对质子束泵浦下的Ar、Kr、F_2混合系统的化学动力学过程和能量沉积情况作了计算。计算结果表明,在相同混合气体成份,气压以及电流密度情况下,质子束能量沉积是... 本文修改了电子束泵浦下KrF~*准分子激光的化学动力学程序,利用修改后的程序对质子束泵浦下的Ar、Kr、F_2混合系统的化学动力学过程和能量沉积情况作了计算。计算结果表明,在相同混合气体成份,气压以及电流密度情况下,质子束能量沉积是电子束能量沉积的50倍左右。 展开更多
关键词 准分子激光 质子束 抽运源 激光器
下载PDF
电子泵浦KrF准分子激光的一维动力学研究
16
作者 冯国刚 王乃彦 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 1993年第1期29-36,共8页
对电子束泵浦KrF准分子激光进行了一维动力学模拟研究,考虑了24种粒子,119种反应通道。较为细致地研究了一维模型的物理机制及数学处理方法。运用该模型对国外实验结果作了模拟计算,结果符合较好。对原子能院电子束泵浦百焦耳级准分子... 对电子束泵浦KrF准分子激光进行了一维动力学模拟研究,考虑了24种粒子,119种反应通道。较为细致地研究了一维模型的物理机制及数学处理方法。运用该模型对国外实验结果作了模拟计算,结果符合较好。对原子能院电子束泵浦百焦耳级准分子激光器进行了模拟计算,给出了一些激光参数随时间、纵向位置的变化规律。最后对零维模型和一维模型的计算结果作了比较。 展开更多
关键词 动力学 准分子激光 氟化氪 电子束
下载PDF
Erbium Doped Fiber Amplifier Gain Flattening Using Long-Period Fiber Gratings
17
作者 CHEN Gen-xiang JIAN Shui-sheng +2 位作者 LI Tang-jun LIU Chun-ning XIE Zeng-hua 《Chinese Physics Letters》 SCIE CAS CSCD 1999年第7期513-515,共3页
Based on theoretical and experimental studies on the optical properties of long-period gratings(LPGs),an erbium doped fiber amplifier(EDFA)gain equalizer was fabricated by writing three long period gratings with desig... Based on theoretical and experimental studies on the optical properties of long-period gratings(LPGs),an erbium doped fiber amplifier(EDFA)gain equalizer was fabricated by writing three long period gratings with designed properties in hydrogen-loaded standard single-mode fibers.The LPGs were written by a KrF excimer laser at 248 nm with amplitude masks.The gain variation of±3dB in the EDFA is reduced to±0.3 dB with a bandwidth of 30 nm and the total insertion loss of the device is less than 0.3 dB. 展开更多
关键词 amplifier ERBIUM krf
下载PDF
高功率放电泵浦KrF激光器放电及输出特性研究
18
作者 张树葵 鲁敬平 +4 位作者 周丕璋 李万松 吴关女 范敏 彭翰生 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 1993年第1期16-22,共7页
介绍了一台工作于振荡器状态下的高功率放电泵浦KrF准分子激光器的放电工作特性,研究了影响激光输出参量的若干因素。通过计算和实验,在国内首次实现了体积大于85cm×3cm×1.3cm的KrF激光气体放电,单脉冲激光输出能量超过130mJ... 介绍了一台工作于振荡器状态下的高功率放电泵浦KrF准分子激光器的放电工作特性,研究了影响激光输出参量的若干因素。通过计算和实验,在国内首次实现了体积大于85cm×3cm×1.3cm的KrF激光气体放电,单脉冲激光输出能量超过130mJ,给出了详细的实验结果并深入讨论分析了有关的物理机制。 展开更多
关键词 氟化氪 准分子激光 放电 激光器
下载PDF
248nm深紫外光刻胶 被引量:9
19
作者 郑金红 黄志齐 侯宏森 《感光科学与光化学》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2003年第5期346-356,共11页
本文从化学增幅技术的产生,深紫外248nm胶主体树脂及PAG发展历程、溶解抑制剂、存在的工艺问题及解决途径多个方面综述了深紫外248nm胶的发展与进步.
关键词 化学增幅 krf激光 深紫外光刻 248 nm光刻胶 主体树脂 酸催化 光致产酸剂
下载PDF
高功率XeCl准分子激光系统前端平滑实验 被引量:6
20
作者 薛全喜 赵学庆 +2 位作者 华恒祺 郑国鑫 张永生 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第2期332-339,共8页
为得到物面光强分布均匀、能量尽量大的部分相干XeCl准分子激光前端种子光,采用放大自发辐射(ASE)法和散射法开展了前端平滑实验研究。首先,基于一台窄脉冲XeCl准分子激光器,研究了种子光的物面光斑均匀性、能量和发散角随光束口径及... 为得到物面光强分布均匀、能量尽量大的部分相干XeCl准分子激光前端种子光,采用放大自发辐射(ASE)法和散射法开展了前端平滑实验研究。首先,基于一台窄脉冲XeCl准分子激光器,研究了种子光的物面光斑均匀性、能量和发散角随光束口径及物面位置的变化规律。然后,分析了影响种子光参数的因素。最后,进行了验证实验。实验结果显示:ASE法种子光物面光斑不均匀性最小为2.01%,能量为微焦量级,但发散角在水平和竖直方向有较大差别;散射法种子光物面光斑不均匀性最小为1.54%,能量为百纳焦量级,发散角为5.5 mrad,衍射极限倍数处于1437可调。前端泵浦腔尺寸和入射激光能量、散射板上光斑大小、收集透镜焦距分别是影响两种种子光参数的重要因素。经初级放大器放大后,光束物面光斑不均匀性为2.04%,能量达到8.0 mJ,满足高功率XeCl准分子激光角多路系统建设需求。 展开更多
关键词 准分子激光 XECL激光 光束平滑 均匀性 放大自发辐射 散射
下载PDF
上一页 1 2 3 下一页 到第
使用帮助 返回顶部