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基于多频相移的相位偏折测量透明物体表面三维形貌
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作者 宿朝阳 王张颖 +7 位作者 倪育博 高楠 孟召宗 杨泽青 张国锋 尹伟 赵洪伟 张宗华 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2024年第4期201-214,共14页
光学三维测量中的相位偏折测量术以其快速、高精度、稳定抗干扰的优点,在光学表面测量、快速检测等领域得到广泛应用。透明物体因其上下表面的折射和反射,导致相机采集到不同表面反射叠加的混合条纹,传统的相位偏折测量术难以对其进行... 光学三维测量中的相位偏折测量术以其快速、高精度、稳定抗干扰的优点,在光学表面测量、快速检测等领域得到广泛应用。透明物体因其上下表面的折射和反射,导致相机采集到不同表面反射叠加的混合条纹,传统的相位偏折测量术难以对其进行有效的三维测量。为解决该问题,文中提出一种基于多频相移的相位偏折法测量透明物体的表面三维形貌。首先,显示屏显示多种不同频率与多步相移结合的正弦条纹,从另外一个角度相机采集物体表面反射的混合条纹。然后,利用最小二乘法迭代将混合条纹进行分离,得到上下表面折叠相位并展开。接着,通过梯度标定确定相位与梯度的关系,根据梯度积分恢复透明物体表面的三维形貌。最后,实验证明所提方法能够有效实现混合条纹的分离,实测透明玻璃板上表面的平均误差从32.4μm减少到5.1μm,结果验证了混合条纹分离方法的有效性,提升了透明物体表面三维形貌测量精度。与已有方法相比,文中方法可以有效避免初始相位值偏差较大带来的影响,缩短计算时间,适用于不同形状透明物体表面三维形貌的测量。 展开更多
关键词 相位偏折测量术 透明物体 多频相移 三维形貌
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基于相位测量偏折术的透明物体表面缺陷检测
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作者 丁玉洁 周志峰 +1 位作者 王勇 王立瑞 《电子科技》 2024年第5期62-70,共9页
目前国内对玻璃、透镜等透明物体的质量控制仍使用传统方法,传统的肉眼评估方法效率低下。为实现透明物体表面缺陷的自动化检测,提出一种基于相位测量偏折术(Phase Measuring Deflectometry,PMD)的透射式检测方法。利用结合了新相移图... 目前国内对玻璃、透镜等透明物体的质量控制仍使用传统方法,传统的肉眼评估方法效率低下。为实现透明物体表面缺陷的自动化检测,提出一种基于相位测量偏折术(Phase Measuring Deflectometry,PMD)的透射式检测方法。利用结合了新相移图案生成计算式的PMD算法生成结构光条纹图案,使用透射式系统将该条纹图案投射到被测物体表面。相机采集经被测物体折射后的变形条纹图片,生成绝对相位图,通过识别绝对相位图中的局部畸变提取缺陷。通过分析周期错位导致误检的原因,提出一种绝对相位周期错位修正的方法。新相移图案生成计算式能提前修正周期错位现象,二者结合使用能提高相位展开的精度。以焦距为300 mm的凹、凸透镜为例进行实验,结果表明该方法能准确地提取出因表面缺陷导致的绝对相位图中的局部畸变,精度为0.1 mm。 展开更多
关键词 透明物体 表面缺陷自动化检测 相位测量偏折术 结构光条纹图案 透射式系统 相位展开 局部畸变 周期错位
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Performance Analysis and Evaluation of Geometric Parameters in Stereo Deflectometry 被引量:3
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作者 Yongjia Xu Feng Gao Xiangqian Jiang 《Engineering》 SCIE EI 2018年第6期806-815,共10页
This paper presents a novel geometric parameters analysis to improve the measurement accuracy of stereo deflectometry.Stereo deflectometry can be used to obtain form information for freeform specular surfaces.A measur... This paper presents a novel geometric parameters analysis to improve the measurement accuracy of stereo deflectometry.Stereo deflectometry can be used to obtain form information for freeform specular surfaces.A measurement system based on stereo deflectometry typically consists of a fringe-displaying screen,a main camera,and a reference camera.The arrangement of the components of a stereo deflectometry system is important for achieving high-accuracy measurements.In this paper,four geometric parameters of a stereo deflectometry system are analyzed and evaluated:the distance between the main camera and the measured object surface,the angle between the main camera ray and the surface normal,the distance between the fringe-displaying screen and the object,and the angle between the main camera and the reference camera.The influence of the geometric parameters on the measurement accuracy is evaluated.Experiments are performed using simulated and experimental data.The experimental results confirm the impact of these parameters on the measurement accuracy.A measurement system based on the proposed analysis has been set up to measure a stock concave mirror.Through a comparison of the given surface parameters of the concave mirror,a global measurement accuracy of 154.2 nm was achieved. 展开更多
关键词 Optical METROLOGY ERROR analysis STEREO deflectometry THREE-DIMENSIONAL SHAPE measurement Performance evaluation Simulation
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High-precision measurement of low reflectivity specular object based on phase measuring deflectometry 被引量:1
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作者 Yuxiang Wu Huimin Yue Yong Liu 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2017年第8期772-780,共9页
Phase measuring deflectometry(PMD)is a robust,noncoherent technique for the characterization of specular surface.For measuring high specular reflectivity surface,PMD can deliver micron radian range local gradient.Howe... Phase measuring deflectometry(PMD)is a robust,noncoherent technique for the characterization of specular surface.For measuring high specular reflectivity surface,PMD can deliver micron radian range local gradient.However,when the measured surface has low specular reflectivity,the accuracy of the measured gradient is low since the captured fringe pattern shows low signal to noise ratio.The phase error characteristics in PMD system when testing low reflectivity surfaces are analyzed.The analysis illustrates that the random phase error increases rapidly while the nonlinear error drops slowly with the decreasing of the tested surface reflectivity.In order to attain high precision measurement of low reflectivity specular surface,a robust error reduction method based on wavelet de-noising is proposed to reduce the phase error.This error reduction method is compared with several other normally used methods in both simulation and experiment work.The method based on the wavelet de-noising shows better performance when measuring the low reflectivity specular surface. 展开更多
关键词 光电工程 电学技术 测试 调整
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Quantitative Flow Visualization by Rainbow Schlieren Deflectometry and Pitot Pressure Measurements for Leek Peeler Nozzle Jets
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作者 Masatoshi Ezoe Shinichiro Nakao Yoshiaki Miyazato 《Journal of Flow Control, Measurement & Visualization》 2019年第1期44-60,共17页
To optimize the leek peeling performance, a new nozzle has been developed in which the nozzle has a design Mach number of 1.68, an inner diameter of 2.0 mm at the throat, and an inner diameter of 2.3 mm at the exit. E... To optimize the leek peeling performance, a new nozzle has been developed in which the nozzle has a design Mach number of 1.68, an inner diameter of 2.0 mm at the throat, and an inner diameter of 2.3 mm at the exit. Experiments have been conducted over a range of nozzle pressure ratios from 3.0 to 6.0. Flow field issued from the new nozzle is quantitatively visualized by the rainbow schlieren deflectometry and compared with that from a conventional nozzle. Density fields in the free jets are reconstructed by the Abel inversion method for the schlieren images with the horizontal rainbow filter. The density values at the exit of the conventional nozzle obtained by the rainbow schlieren are compared with the analytical results by the flow model proposed in the past. In addition, Pitot probe surveys along the jet centerline were made to obtain the impact pressure distributions. The Mach number and velocity distributions along the jet centerline are obtained from a combination of the density and Pitot pressure data to clarify the fundamental flow structure of leek peeler nozzle jets. 展开更多
关键词 COMPRESSIBLE Flow Optical Observation LEEK Peeler NOZZLE RAINBOW SCHLIEREN deflectometry Pitot Pressure
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Application of Rainbow Schlieren Deflectometry for Jets from Round Laval Nozzles Followed by Cylindrical Ducts
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作者 Ryota Fukunaga Muhammad Minarul Islam +2 位作者 Yusuke Awata Shinichiro Nakao Yoshiaki Miyazato 《Journal of Flow Control, Measurement & Visualization》 2021年第2期15-27,共13页
The jet from a round Laval nozzle followed by a cylindrical duct with an inner diameter of 10 mm and a length of 50 mm is investigated experimentally. The Laval nozzle has a design Mach number of 1.5. Quantitative flo... The jet from a round Laval nozzle followed by a cylindrical duct with an inner diameter of 10 mm and a length of 50 mm is investigated experimentally. The Laval nozzle has a design Mach number of 1.5. Quantitative flow visualization of the jet issued from the duct exit is performed over a range of nozzle pressure ratios from 2.0 to 4.5 using the rainbow schlieren deflectometry combined with the computed tomography to investigate the jet three-dimensional structure. The flow features of the near-field shock systems in the jets are displayed with the density contour plot at the cross-section including the jet centerline. Effects of the nozzle pressure ratio on the density profile along the jet centerline are clarified quantitatively. In addition, a comparison between the present experiment and the previous one with a conventional Laval nozzle for jet centerline density profiles is carried out to examine the effect of the cylindrical duct. Furthermore, the three-dimensional structures of overexpanded and underexpanded jets are demonstrated with the isopycnic surfaces to visualize the internal flow features. 展开更多
关键词 Rainbow Schlieren deflectometry Jet Flow Shock Wave Computed Tomography
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基于偏折法的碟式聚光器抛物镜面法向误差快速检测方法
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作者 刘繁茂 张原愿 +1 位作者 廖灿灿 莫寒 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第8期367-378,共12页
为实现碟式聚光器抛物镜面的法向误差快速检测,针对单目偏折法缺少深度信息的不足,拟构建一种迭代拟合算法,通过拟合计算得到二次曲面系数,修正镜面坐标系与相机坐标系之间的转换误差,实现对称碟式聚光器抛物镜面的快速定位与法向误差... 为实现碟式聚光器抛物镜面的法向误差快速检测,针对单目偏折法缺少深度信息的不足,拟构建一种迭代拟合算法,通过拟合计算得到二次曲面系数,修正镜面坐标系与相机坐标系之间的转换误差,实现对称碟式聚光器抛物镜面的快速定位与法向误差计算。搭建实验平台,进行5次不同位姿的抛物镜面测量实验,获得被测抛物镜面单元的实际法线方向数据,与镜面设计面形的标准法线方向相比,其平均误差为7.3591 mrad;5次测量的抛物镜面法向误差结果相近,其整体标准差为5.0278 mrad;与镜面面形基准数据相比较,验证了该方法测得的法向误差低于20 mrad。实验结果表明该方法可行,且具有快速性和稳定性。 展开更多
关键词 太阳能热发电 聚光器 碟式 误差检测 相位变换 偏折法
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基于外置光阑针孔相机的高精度偏折测量技术
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作者 叶璐 张祥朝 +2 位作者 王军华 徐敏 郑列华 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第12期126-137,共12页
设计了一种外置光阑的针孔相机镜头,可免去传统方法复杂的相机标定过程,采用影像仪和三坐标测量机实现测量系统各元件空间位置的几何标定,并依靠相移算法实现屏幕与相机像素的精准匹配。实验结果表明,本文提出的偏折测量结果与干涉仪测... 设计了一种外置光阑的针孔相机镜头,可免去传统方法复杂的相机标定过程,采用影像仪和三坐标测量机实现测量系统各元件空间位置的几何标定,并依靠相移算法实现屏幕与相机像素的精准匹配。实验结果表明,本文提出的偏折测量结果与干涉仪测试结果偏差优于20 nm RMS,可满足光学镜面加工研磨阶段到抛光阶段的过渡测量需求,为光学加工车间提供了可靠、经济、高效的面型评估,具有广泛的应用前景。 展开更多
关键词 偏折术 离轴抛物面 相机标定 几何标定 面型重构
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塔式太阳能热发电站定日镜面形检测专用仪器的研制 被引量:6
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作者 许文斌 卢振武 +1 位作者 张红鑫 刘华 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第7期1390-1394,共5页
对于塔式太阳能热发电系统的定日镜,其反射面法线倾角的精度是影响定日镜工作效率的主要光学因素,因此法线倾角也是面形检测的指标。据此,我们提出用基于激光束偏转法的定日镜单元面形检测方法和定日镜主镜安装误差在线检测的方法,研制... 对于塔式太阳能热发电系统的定日镜,其反射面法线倾角的精度是影响定日镜工作效率的主要光学因素,因此法线倾角也是面形检测的指标。据此,我们提出用基于激光束偏转法的定日镜单元面形检测方法和定日镜主镜安装误差在线检测的方法,研制了相应的检测设备和软件。检测了位于北京的1MWe太阳能塔式热发电示范电站的由55块1.8182m^2(六边形反射镜)定日镜单元组成的100m^2主镜,检测精度优于0.1m·rad。 展开更多
关键词 定日镜 倾角检测 激光束偏转
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条纹投影与相位偏折测量技术研究进展 被引量:16
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作者 刘东 严天亮 +2 位作者 王道档 杨甬英 黄玮 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2017年第9期185-194,共10页
条纹投影和相位偏折测量术可用于精确地测量待测物面形,在全场光学三维轮廓测量领域具有较好的发展前景。首先,介绍了条纹投影和相位偏折测量技术的基本原理,重点是这两种技术中的相位提取技术、摄像机定标技术等关键技术。其次,对条纹... 条纹投影和相位偏折测量术可用于精确地测量待测物面形,在全场光学三维轮廓测量领域具有较好的发展前景。首先,介绍了条纹投影和相位偏折测量技术的基本原理,重点是这两种技术中的相位提取技术、摄像机定标技术等关键技术。其次,对条纹投影和相位偏折测量术这两种测量方法的异同点做了对比。最后,介绍了条纹投影和相位偏折测量技术在提升测量精度和速度方面的发展。为了提升测量精度,主要有校正条纹Gamma效应、提升相位提取精度、摄像机标定精度和相位-高度/梯度标定精度等途径;为了提升测量速度,主要有提升相位提取速度、相位解包裹速度等方法。 展开更多
关键词 条纹投影轮廓测量 相位偏折测量 对比 精度 速度
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薄膜反射镜的静电成形 被引量:6
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作者 陈新华 唐敏学 +1 位作者 沈为民 余建军 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2007年第2期274-277,共4页
利用薄膜反射镜作为太空望远镜主镜是研究大口径、超轻型未来空间光学系统的最新方向之一。基于静电学原理,设计了口径Ф200mm薄膜反射镜静电成形实验系统,该系统包括薄膜反射镜固定装置、电极板装置以及直流高压系统。采用ZYGO干涉仪... 利用薄膜反射镜作为太空望远镜主镜是研究大口径、超轻型未来空间光学系统的最新方向之一。基于静电学原理,设计了口径Ф200mm薄膜反射镜静电成形实验系统,该系统包括薄膜反射镜固定装置、电极板装置以及直流高压系统。采用ZYGO干涉仪和莫尔偏折术,分别对薄膜反射镜面形随直流电压的变化情况以及不同电压下薄膜反射镜的顶点曲率半径进行了观察和测量,并与理论值进行了比较和分析。实验结果表明,该系统可有效改变薄膜反射镜的面形。目前,在700V电压下,薄膜反射镜的顶点曲率半径达17.7m。 展开更多
关键词 空间光学 薄膜反射镜 静电成形 莫尔偏折术
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真实火箭燃气羽流密度场的定量显示 被引量:6
12
作者 张福祥 李开明 方毅 《宇航学报》 EI CSCD 北大核心 1994年第2期58-63,共6页
本文采用用激光-莫尔偏折和自动测压系统,清晰地显示出真实火箭燃气射流场在激波处的莫尔条纹漂移,首次定量地给出了一种欠膨胀火箭射流的密度分布结果,该结果与射流理论符合较好。
关键词 射流 激波 莫尔偏折法 火箭
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高灵敏度莫尔偏折法及其在激波风洞流场中的应用 被引量:3
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作者 阎大鹏 王海林 +2 位作者 贺安之 杨祖清 乐嘉陵 《空气动力学学报》 CSCD 北大核心 1994年第1期43-50,共8页
本文介绍了一种具有高灵敏度的莫尔偏折法,从理论上分析了其工作和测量原理。并把这种方法用于高超声速激波风洞中流场的显示和测量,获得了几种特殊模型流场的清晰莫尔偏折图,定量计算了高超声速激波风洞中带有凸起物模型三维密度场... 本文介绍了一种具有高灵敏度的莫尔偏折法,从理论上分析了其工作和测量原理。并把这种方法用于高超声速激波风洞中流场的显示和测量,获得了几种特殊模型流场的清晰莫尔偏折图,定量计算了高超声速激波风洞中带有凸起物模型三维密度场的分布。 展开更多
关键词 莫尔偏折法 测量 激波风洞
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类Ne铬X射线激光莫尔条纹技术研究 被引量:2
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作者 黄文忠 谷渝秋 +6 位作者 李英骏 尤永禄 淳于书泰 何颖玲 袁晓东 陈远斌 徐彬 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第2期155-158,共4页
利用星光 II激光装置以较低泵浦功率密度获得了类Ne铬X射线激光 ,并以此为探针光建立了莫尔条纹偏折装置 ,获得了清晰的静态X射线激光莫尔条纹。介绍了实验方法 ,给出了实验结果 ,并对结果进行了讨论。
关键词 类Ne铬X射线激光 等离子体 莫尔条纹 激光诊断
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面向精密制造的光学自由曲面在位偏折测量技术 被引量:4
15
作者 张祥朝 徐敏 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2020年第8期70-79,共10页
复杂光学曲面的在位测量是当前精密工程领域面临的重要难题。偏折术对光学曲面的测量精度可与干涉仪相比,而且拥有更高的测量效率、稳定性及动态范围,因此具有广阔的应用前景。但是偏折测量本质上是一个标定问题,其测量精度直接取决于... 复杂光学曲面的在位测量是当前精密工程领域面临的重要难题。偏折术对光学曲面的测量精度可与干涉仪相比,而且拥有更高的测量效率、稳定性及动态范围,因此具有广阔的应用前景。但是偏折测量本质上是一个标定问题,其测量精度直接取决于几何标定的可靠性。本文结合单点金刚石切削机床设计了原位偏折测量系统,采用机床中自带的气浮转台安装辅助反射镜,在两个姿态下进行光线追迹,通过数值优化计算各元件之间的相对位置,将标定精度提高一个数量级。根据反向投影偏差的统计规律,可有效分离工件的面形偏差与位姿误差。该方法有效利用了工件的名义面形信息,将传统的位置-面形单向映射转变为双向映射,显著提高了在位测量的灵活性与效率。对于复杂的自由曲面,采用子孔径拼接测量方法,对待测的局部区域发展了精准定位技术,有效保证了迭代重构过程的正确收敛。采用离轴抛物镜等光学曲面进行实验验证,所提出的偏折测量方法的精度优于150 nm RMS。 展开更多
关键词 光学制造 在位测量 偏折术 几何标定 光线追迹
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TiX射线激光莫尔条纹偏转装置 被引量:1
16
作者 黄文忠 张传飞 +2 位作者 尤永录 谷渝秋 淳于书泰 《原子能科学技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第z1期120-123,共4页
建立了TiX射线激光莫尔条纹偏转装置 ,介绍了装置的工作原理、结构和主要性能 ,并对有关问题进行了简短讨论。
关键词 等离子体诊断技术 莫尔条纹装置 X射线激光
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傅里叶变换在莫尔测偏法中的应用 被引量:5
17
作者 王伯雄 叶茂 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第3期313-315,325,共4页
本文针对非球面莫尔测偏法提出了采用相移技术结合博里叶变换进行数据处理的新方法。在对莫尔条纹图作二维博里叶变换后可获取相应于被测表面高度的相位信息,然后用相移来确定该相位信息的正负号,以最终正确重构被测表面的三维形貌。... 本文针对非球面莫尔测偏法提出了采用相移技术结合博里叶变换进行数据处理的新方法。在对莫尔条纹图作二维博里叶变换后可获取相应于被测表面高度的相位信息,然后用相移来确定该相位信息的正负号,以最终正确重构被测表面的三维形貌。对有限宽莫尔条纹图因栅线夹角引起的倾斜项误差采用最小二乘法加以剔除。用该法进行了非球面测量。 展开更多
关键词 莫尔测偏法 傅里叶变换 莫尔条纹图 相移技术
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光学频谱面定位精度与定位方法的研究 被引量:1
18
作者 吴长发 陶景光 方罗珍 《华中理工大学学报》 CSCD 北大核心 1997年第4期35-37,共3页
用Fourier光学的理论分析了光学频谱面定位的理论精度,导出了相应的公式,提出了一种用Moire偏转术精密定位谱面的新方法,可以方便地将实际定位误差控制在理论精度范围内,实例表明相对定位精度达0.025%。
关键词 光学频谱平面 定位 精度 光学信息处理
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柴油机涡流室内非稳态温度场的测试和分析 被引量:1
19
作者 吴志新 熊锐 +3 位作者 李德桃 顾子良 阎大鹏 贺安之 《燃烧科学与技术》 CAS CSCD 1995年第4期312-318,共7页
柴油机涡流室内的温度场对着火和燃烧过程有非常重要的影响。作者首次采用激光莫尔偏折技术对涡流室内非稳态温度场进行了实机测试,获得了清晰的莫尔条纹图;建立了涡流室内温度场的轴对称模型及计算方法,进行了较精确的计算和分析,... 柴油机涡流室内的温度场对着火和燃烧过程有非常重要的影响。作者首次采用激光莫尔偏折技术对涡流室内非稳态温度场进行了实机测试,获得了清晰的莫尔条纹图;建立了涡流室内温度场的轴对称模型及计算方法,进行了较精确的计算和分析,由此得到了一些有重要理论意义和实用价值的结果。 展开更多
关键词 柴油机 涡流室 非稳态温度场 激光莫尔偏折法
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燃气射流起始冲击波场形态的实验研究 被引量:1
20
作者 徐强 张福祥 李开明 《实验力学》 CSCD 北大核心 1999年第4期505-508,共4页
介绍利用激光摩尔偏折仪和压阻式压力传感器对发动机喷流起始冲击波的基本形态进行的研究. 研究结果验证了在燃气流团前存在着起始冲击波及发展初期具有非球面的特性,并提出了喷口起始冲击波波阵面发展的新结构,对前人有关起始冲击... 介绍利用激光摩尔偏折仪和压阻式压力传感器对发动机喷流起始冲击波的基本形态进行的研究. 研究结果验证了在燃气流团前存在着起始冲击波及发展初期具有非球面的特性,并提出了喷口起始冲击波波阵面发展的新结构,对前人有关起始冲击波发展结构的研究结果进行了修正. 展开更多
关键词 火箭发动机 起始冲击波 燃气射流 形态
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