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改进溶胶-凝胶法制备PZT50/50铁电薄膜
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作者 王根水 于剑 +6 位作者 赖珍荃 孟祥建 孙璟兰 郭少令 褚君浩 李刚 路庆华 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第1期63-64,共2页
采用改进的溶胶凝胶法在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备了PZT50/50铁电薄膜,用X射线衍射表征了薄膜的物相,用原子力显微镜(AFM)表征薄膜的微观形貌,用RT66A测量了薄膜的铁电特性,获得了具有优良的铁... 采用改进的溶胶凝胶法在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备了PZT50/50铁电薄膜,用X射线衍射表征了薄膜的物相,用原子力显微镜(AFM)表征薄膜的微观形貌,用RT66A测量了薄膜的铁电特性,获得了具有优良的铁电性能的晶粒尺寸为100nm的PZT50/50铁电薄膜,在20V电压下,Pr=31.83μC/cm2。 展开更多
关键词 溶胶-凝胶法 前驱体 pzt50/50 铁电薄膜 制备
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