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Effects of atomic number Z on the energy distribution of hot electrons generated by femtosecond laser interaction with metallic targets 被引量:2
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作者 蔡达锋 谷渝秋 +5 位作者 郑志坚 周维民 焦春晔 陈豪 温天舒 淳于书泰 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2006年第10期2363-2367,共5页
The effects of atomic number Z on the energy distribution of hot electrons generated by the interaction of 60fs, 130mJ, 800nm, and 7×10^17W/cm^2 laser pulses with metallic targets have been studied experimentally... The effects of atomic number Z on the energy distribution of hot electrons generated by the interaction of 60fs, 130mJ, 800nm, and 7×10^17W/cm^2 laser pulses with metallic targets have been studied experimentally. The results show that the number and the effective temperature of hot electrons increase with the atomic number Z of metallic targets, and the temperature of hot electrons are in the range of 190-230keV, which is consistent with a scaling law of hot electrons temperature. 展开更多
关键词 atomic number effect hot electron energy distribution
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Kink effect in current–voltage characteristics of a GaN-based high electron mobility transistor with an AlGaN back barrier 被引量:1
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作者 马晓华 吕敏 +4 位作者 庞磊 姜元祺 杨靖治 陈伟伟 刘新宇 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2014年第2期452-456,共5页
The kink effect in current-voltage (IV) characteristic s seriously deteriorates the performance of a GaN-based HEMT. Based on a series of direct current (DC) IV measurements in a GaN-based HEMT with an AlGaN back ... The kink effect in current-voltage (IV) characteristic s seriously deteriorates the performance of a GaN-based HEMT. Based on a series of direct current (DC) IV measurements in a GaN-based HEMT with an AlGaN back barrier, a possible mechanism with electron-trapping and detrapping processes is proposed. Kink-related deep levels are activated by a high drain source voltage (Vds) and located in a GaN channel layer. Both electron trapping and detrapping processes are accomplished with the help of hot electrons from the channel by impact ionization. Moreover, the mechanism is verified by two other DC IV measurements and a model with an expression of the kink current. 展开更多
关键词 kink effect deep levels hot electrons GaN-based HEMT
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开态应力下氮化镓HEMT器件的退化机理研究
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作者 韩红波 张豪 +3 位作者 郑雪峰 马晓华 于洪喜 郝跃 《空间电子技术》 2024年第5期62-67,共6页
当前,氮化镓(gallium nitride,GaN)高电子迁移率晶体管(high electron mobility transistors,HEMTs)器件已逐渐被广泛应用。然而,退化问题仍然是困扰其高可靠应用的重要因素。特别是开态应力下,器件的退化机理值得深入研究。文章基于实... 当前,氮化镓(gallium nitride,GaN)高电子迁移率晶体管(high electron mobility transistors,HEMTs)器件已逐渐被广泛应用。然而,退化问题仍然是困扰其高可靠应用的重要因素。特别是开态应力下,器件的退化机理值得深入研究。文章基于实验测试及仿真,重点研究了氮化镓射频HEMT器件在开态应力下的退化现象与机理。研究结果表明,单一的高漏压应力并不会对器件带来明显退化,而高漏压与大的漏极电流结合则会对器件产生明显退化,这一影响重点集中在栅极与漏极之间的有源区。需要注意的是,栅极偏置电压在沟道电子进入栅下区域的过程中也起到了重要作用。开态应力下,栅极偏压形成的垂直电场会使得器件栅下区域损伤更加严重。文章的研究成果可以为氮化镓射频器件在复杂环境下的高可靠性应用提供重要支撑。 展开更多
关键词 氮化镓 开态应力 热电子效应 电子俘获 可靠性
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The reliability of AlGaN/GaN high electron mobility transistors under step-electrical stresses 被引量:3
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作者 马晓华 焦颖 +6 位作者 马平 贺强 马骥刚 张凯 张会龙 张进成 郝跃 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2011年第12期395-399,共5页
In spite of their extraordinary performance, AlGaN/GaN high electron mobility transistors (HEMTs) still lack solid reliability. Devices under accelerated DC stress tests (off-state, VDS = 0 state, and on-state step... In spite of their extraordinary performance, AlGaN/GaN high electron mobility transistors (HEMTs) still lack solid reliability. Devices under accelerated DC stress tests (off-state, VDS = 0 state, and on-state step-stress) are investigated to help us identify the degradation mechanisms of the AlGaN/GaN HEMTs. All our findings are consistent with the degradation mechanism based on crystallographic-defect formation due to the inverse piezoelectric effects in Ref. [1] (Joh J and del Alamo J A 2006 IEEE IDEM Tech. Digest p. 415). However, under the on-state condition, the devices are suffering from both inverse piezoelectric effects and hot electron effects, and so to improve the reliability of the devices both effects should be taken into consideration. 展开更多
关键词 inverse piezoelectric effects degradation mechanisms hot electron effects DC electrical step stresses AlGaN/GaN HEMTs reliability
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热等离子体影响嘶声波的色散特性和电子散射效应研究
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作者 马新 顾旭东 +3 位作者 朱琪 焦鹿怀 王敬之 倪彬彬 《地球与行星物理论评(中英文)》 2023年第5期558-571,共14页
由等离子体层嘶声波引起的电子散射效应是地球内磁层电子损失的重要机制,也是地球内外辐射带间槽区形成的主要原因.在量化嘶声波对高能电子散射效应的研究过程中,冷等离子体近似下的嘶声波色散关系被广泛应用.然而在实际磁层等离子体环... 由等离子体层嘶声波引起的电子散射效应是地球内磁层电子损失的重要机制,也是地球内外辐射带间槽区形成的主要原因.在量化嘶声波对高能电子散射效应的研究过程中,冷等离子体近似下的嘶声波色散关系被广泛应用.然而在实际磁层等离子体环境中,热等离子体成分的存在会修正嘶声波的色散特性,进而也会影响嘶声波对高能电子的散射效应.本文主要介绍了热等离子体影响嘶声波色散特性及其对电子散射效应的相关研究.基于卫星波动观测数据的统计分析结果证实了热等离子体效应对嘶声波色散特性的修正作用;通过典型事例分析以及基于准线性理论的数值计算,分析了嘶声波散射高能电子对地磁活动条件和热等离子体参数(电子温度各向异性、热电子温度以及热电子占比)的依赖性.结果表明,冷等离子体假设会高估100 keV以下能量电子以及较大投掷角范围内100 keV以上能量电子的散射系数,而低估较低投掷角范围内100 keV以上能量电子的散射系数.此外,冷等离子体假设下共振区间会扩展到更低能量的电子,而基于观测的色散曲线结果则使100 keV以上电子与嘶声波的共振范围扩展到更小的投掷角区间.随着热等离子体参数的增大,冷等离子体近似与热等离子体环境下的散射系数差异也逐渐增大.相关研究结果对于模拟实际等离子体环境中嘶声波对电子的散射过程以及辐射带的动态演化具有重要意义. 展开更多
关键词 等离子体层嘶声波 色散关系 辐射带电子 电子散射效应 热等离子体效应
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直流磁控溅射铂电阻薄膜 被引量:12
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作者 周鸿仁 刘秀蓉 徐蓓娜 《电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1997年第6期662-665,共4页
根据薄膜理论和通过成膜工艺实验,研究了影响铂薄膜电阻温度系数的主要因素。1)对铂靶材料的纯度要求高,含杂质极少;2)淀积薄膜要有一定厚度,通常近于1μm才能有较大的α;3)成膜以后,需经过高温热处理,减少缺陷,结晶化... 根据薄膜理论和通过成膜工艺实验,研究了影响铂薄膜电阻温度系数的主要因素。1)对铂靶材料的纯度要求高,含杂质极少;2)淀积薄膜要有一定厚度,通常近于1μm才能有较大的α;3)成膜以后,需经过高温热处理,减少缺陷,结晶化改善。通过大量实验,使用高铝陶瓷基片或微晶玻璃基片,溅射铂薄膜的厚度为800nm,高温热处理1h,可以获得电阻温度系数为3.850×10-3/℃的铂电阻薄膜。 展开更多
关键词 铂薄膜 热敏电阻 磁控溅射 热处理
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AlN插入层与AlGaN/GaN HEMT电流崩塌效应的关系 被引量:2
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作者 李诚瞻 刘键 +3 位作者 刘新宇 薛丽君 陈晓娟 和致经 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第6期1055-1058,共4页
比较有无AlN插入层AlGaN/GaNHEMTs在直流偏置应力条件下的电流崩塌程度,研究AlN插入层对电流崩塌的影响.从测试结果看,无AlN插入层的AlGaN/GaNHEMTs有更显著的电流崩塌程度,表明AlN插入层对电流崩塌效应有显著的抑制作用.模拟的AlGaN/Ga... 比较有无AlN插入层AlGaN/GaNHEMTs在直流偏置应力条件下的电流崩塌程度,研究AlN插入层对电流崩塌的影响.从测试结果看,无AlN插入层的AlGaN/GaNHEMTs有更显著的电流崩塌程度,表明AlN插入层对电流崩塌效应有显著的抑制作用.模拟的AlGaN/GaN能带结构表明,AlN插入层能显著提高AlGaN导带底能级,增加异质结的带隙差.带隙差的增加有利于减小电子遂穿几率,加强沟道二维电子气的量子限制,从而抑制电流崩塌效应. 展开更多
关键词 AlN插入层 HEMTS 电流崩塌效应 热电子
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波段外激光辐照PC型探测器的反常响应机制 被引量:5
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作者 马丽芹 陆启生 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第2期201-204,共4页
提出了PC型半导体探测器对波段外激光辐照的热电子光电导响应机制。响应波段外激光辐照PC型半导体探测器时,探测器有响应且输出电压信号迅速增大,与波段内激光辐照时的响应规律截然不同,这是由光激发能带内热电子而引起的光电导现象。... 提出了PC型半导体探测器对波段外激光辐照的热电子光电导响应机制。响应波段外激光辐照PC型半导体探测器时,探测器有响应且输出电压信号迅速增大,与波段内激光辐照时的响应规律截然不同,这是由光激发能带内热电子而引起的光电导现象。当较强功率的激光辐照时还应考虑热效应。依据该机制进行了模拟计算,计算结果表明当PC型HgCdTe探测器被波段外激光辐照时,热电子的产生使得电导率减小,进而导致探测器的电阻增大。 展开更多
关键词 波段外激光辐照 PC型半导体探测器 热电子光电导 热效应 响应
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Al,Ti,Cu,Mo原子的K壳层电离截面的理论计算 被引量:2
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作者 熊勇 易有根 郑志坚 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第1期159-161,共3页
电子离子碰撞过程是模拟激光等离子体的超热电子的能谱和产额的主要过程之一。基于相对论性的电子离子碰撞的K壳层的电离截面理论,计算了Al,Ti,Cu,Mo原子的K壳层的电子离子碰撞截面,结果和最近的文献实验数值和其它理论数值进行了比较,... 电子离子碰撞过程是模拟激光等离子体的超热电子的能谱和产额的主要过程之一。基于相对论性的电子离子碰撞的K壳层的电离截面理论,计算了Al,Ti,Cu,Mo原子的K壳层的电子离子碰撞截面,结果和最近的文献实验数值和其它理论数值进行了比较,计算结果可用来模拟激光等离子体的超热电子能谱和产额。 展开更多
关键词 超热电子 K壳层 电离截面 相对论效应
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自旋晶体管的最新研究进展
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作者 钟智勇 刘爽 +3 位作者 唐晓莉 石玉 刘颖力 张怀武 《微纳电子技术》 CAS 2005年第12期546-553,共8页
自旋晶体管是指利用电子自旋自由度构建的在结构上类似于传统半导体晶体管的三端自旋器件。对基于自旋劈裂的磁双极型自旋晶体管、基于热电子输运的自旋晶体管和基于Rashba效应的自旋晶体管的最新研究动态进行了评述,并对其发展前景做... 自旋晶体管是指利用电子自旋自由度构建的在结构上类似于传统半导体晶体管的三端自旋器件。对基于自旋劈裂的磁双极型自旋晶体管、基于热电子输运的自旋晶体管和基于Rashba效应的自旋晶体管的最新研究动态进行了评述,并对其发展前景做了展望。 展开更多
关键词 自旋电子学 自旋晶体管 自旋劈裂 热电子 Rashba效应
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脉冲应力增强的NMOSFET′s热载流子效应研究 被引量:2
11
作者 刘红侠 郝跃 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第5期658-660,共3页
本文研究了交流应力下的热载流子效应 ,主要讨论了脉冲应力条件下的热空穴热电子交替注入对NMOSFET′s的退化产生的影响 .在脉冲应力下 ,阈值电压和跨导的退化增强 .NMOSFET′s在热空穴注入后 ,热电子随后注入时 ,会有大的退化量 ,这可... 本文研究了交流应力下的热载流子效应 ,主要讨论了脉冲应力条件下的热空穴热电子交替注入对NMOSFET′s的退化产生的影响 .在脉冲应力下 ,阈值电压和跨导的退化增强 .NMOSFET′s在热空穴注入后 ,热电子随后注入时 ,会有大的退化量 ,这可以用中性电子陷阱模型和脉冲应力条件下热载流子注入引起的栅氧化层退化来解释 .本文还定量分析研究了NMOSFET′s退化与脉冲延迟时间和脉冲频率的关系 ,并且给出了详细的解释 .在脉冲应力条件下 。 展开更多
关键词 脉冲应力增强 NMOSFET 热载流子效应
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InP δ掺杂的输运特性 被引量:1
12
作者 程文超 A.Zrenner +1 位作者 叶秋怡 F.Koch 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 1989年第12期885-891,共7页
测量了用MOCVD技术制造的InP δ掺杂样品的磁输运特性,量子化Hall效应和高电场下的热电子效应.得到了该样品的载流子分布,子能带结构,杂质传播宽度和电子迁移率等基本物理参数,观察到填充因子v=2的量子Hall平台和负微分电阻现象,建立和... 测量了用MOCVD技术制造的InP δ掺杂样品的磁输运特性,量子化Hall效应和高电场下的热电子效应.得到了该样品的载流子分布,子能带结构,杂质传播宽度和电子迁移率等基本物理参数,观察到填充因子v=2的量子Hall平台和负微分电阻现象,建立和证实了δ掺杂样品的热电子传输模型. 展开更多
关键词 掺杂 二维特性 热电子传输
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单壁碳纳米管作沟道的场效应晶体管输运特性理论研究 被引量:3
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作者 刘兴辉 张俊松 +7 位作者 王绩伟 曾凡光 李新 敖强 王震 王振世 马迎 王瑞玉 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第7期636-641,共6页
为研究以单壁碳纳米管(CNT)作沟道的场效应晶体管(FET)的输运特性,采用非平衡格林函数(NEGF)理论,构建了CNTFET的电子输运模型,该方法摒弃粗糙的连续体模型,可实现CNTFET输运性质与手性指数的直接对接。以(17,0)锯齿型管为例,数值计算了... 为研究以单壁碳纳米管(CNT)作沟道的场效应晶体管(FET)的输运特性,采用非平衡格林函数(NEGF)理论,构建了CNTFET的电子输运模型,该方法摒弃粗糙的连续体模型,可实现CNTFET输运性质与手性指数的直接对接。以(17,0)锯齿型管为例,数值计算了CNTFET输出特性、转移特性、跨导、亚阈值摆幅、开关态电流比等电学特性;在等效栅氧化层厚度相同的情况下,对比了采用不同栅介质材料时上述电学特性在数值上的差异,发现随栅介质介电常数的增加,漏感应势垒降低效应变得显著,这不但导致开态时从源注入到漏的电子浓度增加、电流增大,也导致关态电流增大,开关态的电流比减少。研究还发现在通常的栅源和漏源电压下,沟道中出现热电子。 展开更多
关键词 碳纳米管 场效应晶体管 环绕栅 漏感应势垒降低 热电子
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纳秒级强脉冲电子束与Ar~+离子束辐照作物种子后自由基产额的变化
14
作者 高清祥 王勇 +2 位作者 杨汉民 江兴流 宋志敏 《辐射研究与辐射工艺学报》 CAS CSCD 北大核心 1995年第2期79-83,共5页
应用多极板放电室产生的纳秒级强脉冲电子束与Ar^+离子束辐照蕃茄、黄瓜、辣椒和小麦的种子,分别测定辐照种子中的自由基产额,统计胚根根尖细胞中的染色体畸变频率和咱子的萌发能力,以及种子的萌发能力密切相关。辐照处理时间长... 应用多极板放电室产生的纳秒级强脉冲电子束与Ar^+离子束辐照蕃茄、黄瓜、辣椒和小麦的种子,分别测定辐照种子中的自由基产额,统计胚根根尖细胞中的染色体畸变频率和咱子的萌发能力,以及种子的萌发能力密切相关。辐照处理时间长,自由基产额高,染色全变率高,萌发生长能力低。四种作物种子的重复实验证明,电子脉冲的辐射效应明显强于Ar^+离子脉冲。 展开更多
关键词 自由基 电子束 离子束 辐照效应 作物 种子
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纳米尺度金属-氧化物半导体场效应晶体管沟道热噪声模型 被引量:2
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作者 张梦 姚若河 刘玉荣 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2020年第5期174-181,共8页
随着CMOS工艺的发展,热载流子效应对沟道热噪声的影响随着器件尺寸的降低而增大,传统热噪声模型未能准确表征沟道的热噪声.本文通过解能量平衡方程,得到电子温度表达式,并结合沟道漏电流表达式,建立了沟道热噪声模型.利用建立的电子温... 随着CMOS工艺的发展,热载流子效应对沟道热噪声的影响随着器件尺寸的降低而增大,传统热噪声模型未能准确表征沟道的热噪声.本文通过解能量平衡方程,得到电子温度表达式,并结合沟道漏电流表达式,建立了沟道热噪声模型.利用建立的电子温度表达式,该热噪声模型考虑了热载流子效应的影响,并且在计算热噪声的过程中考虑了电子温度对迁移率降低的影响以及温度梯度对热噪声的影响.通过分析与计算,结果显示,随着器件尺寸的减小,温度梯度对电子温度产生显著影响,使得热载流子效应的影响增大,热载流子效应对热噪声的增长作用超过了迁移率降低对热噪声的减小作用,最终导致热噪声增大.本文建立的沟道热噪声模型可应用于纳米尺寸金属-氧化物半导体场效应晶体管器件的噪声性能分析及建模. 展开更多
关键词 电子温度 迁移率降低 热载流子效应 温度梯度 沟道热噪声
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High-power terahertz pulse sensor with overmoded structure 被引量:1
16
作者 王雪锋 王建国 +2 位作者 王光强 李爽 熊正锋 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2014年第5期634-638,共5页
Based on the hot electron effect in a semiconductor, an overmoded resistive sensor for 0.3-0.4 THz band is investi-gated. The distribution of electromagnetic field components, voltage standing wave ratio (VSWR), and... Based on the hot electron effect in a semiconductor, an overmoded resistive sensor for 0.3-0.4 THz band is investi-gated. The distribution of electromagnetic field components, voltage standing wave ratio (VSWR), and the average electric field in the silicon block are obtained by using the three-dimensional finite-difference time-domain (FDTD) method. By adjusting several factors (such as the length, width, height and specific resistance of the silicon block) a novel sensor with optimal structural parameters that can be used as a power measurement device for high power terahertz pulse directly is proposed. The results show that the sensor has a relative sensitivity of about 0.24 kW 1, with a fluctuation of relative sensitivity of no more than ±22%, and the maximum of VSWR is 2.74 for 0.3-0.4 THz band. 展开更多
关键词 hot electron effect high power terahertz pulse overmoded structure
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应用于有机加氢反应的等离激元催化材料设计
17
作者 黄浩 龙冉 熊宇杰 《物理化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2017年第4期661-669,共9页
金属纳米晶体具有独特的表面等离激元特性,为太阳能转换成化学能提供了新的机遇。本文以课题组近期的研究工作为例,阐述在催化有机加氢反应中表面等离激元效应所产生的多种物理过程的作用机制。该系列工作实现了太阳能向化学能的有效转... 金属纳米晶体具有独特的表面等离激元特性,为太阳能转换成化学能提供了新的机遇。本文以课题组近期的研究工作为例,阐述在催化有机加氢反应中表面等离激元效应所产生的多种物理过程的作用机制。该系列工作实现了太阳能向化学能的有效转换,为太阳能替代传统有机化工中的热催化提供了可能性,对等离激元催化材料的设计具有一定的指导意义。 展开更多
关键词 表面等离激元 纳米材料 催化 光热效应 热电子
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光热效应增强的Au/RGO/Na_(2)Ti_(3)O_(7)光催化加氢性能
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作者 孟祥钰 詹琦 +4 位作者 武亚南 马晓双 姜靖逸 孙岳明 代云茜 《高等学校化学学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2022年第3期136-147,共12页
将典型的光热等离激元石墨烯和纳米金简便地负载在钛酸钠(Na_(2)Ti_(3)O_(7))载体上,构建出具有较窄禁带宽度和较高光催化活性的Au/RGO/Na_(2)Ti_(3)O_(7)光热辅助光催化体系.研究发现,石墨烯片层与金纳米颗粒在光照下,通过局域表面等... 将典型的光热等离激元石墨烯和纳米金简便地负载在钛酸钠(Na_(2)Ti_(3)O_(7))载体上,构建出具有较窄禁带宽度和较高光催化活性的Au/RGO/Na_(2)Ti_(3)O_(7)光热辅助光催化体系.研究发现,石墨烯片层与金纳米颗粒在光照下,通过局域表面等离激元共振效应诱导产生大量的热电子,以活化反应物并降低反应活化能,其引发的光热效应还可精准提升光催化体系中反应位点附近的温度,从而大幅提升光催化反应速率.通过构建特殊微支结构,进一步增强了Au/RGO/Na_(2)Ti_(3)O_(7)催化剂对光的捕获,并限域锚定高表面能催化剂以增强体系的稳定性.在光热、光催化的高效协同增强下,Au/RGO/Na_(2)Ti_(3)O_(7)催化剂体系对对硝基苯酚和肉桂醛的加氢反应均表现出增强的光催化活性.光热辅助下的Au/RGO/Na_(2)Ti_(3)O_(7)光催化剂在对硝基苯酚反应中的转换频率(TOF)值高达54.4 min^(-1),反应活化能显著降低至15.78 kJ/mol,且其在长效测试中表现出良好的稳定性(4次循环催化后,转化率的保持率近90%) 展开更多
关键词 光热效应 光催化 热电子 加氢还原
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热电子与线捆对低频等离子体交换模的稳定作用 被引量:1
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作者 陈湘仁 连宏伟 《力学学报》 EI CSCD 北大核心 1993年第4期404-410,共7页
用多组份磁流体力学方程导出了有线捆作用的热电子等离子体中,低频等离子体交换模的色散关系;分别求得实频与增长率的分析解;分析了热电子与线捆对低频等离子体交换模的稳定作用。无Line-tying时,当热电子与等离子体密度比大于(ωBi/(-... 用多组份磁流体力学方程导出了有线捆作用的热电子等离子体中,低频等离子体交换模的色散关系;分别求得实频与增长率的分析解;分析了热电子与线捆对低频等离子体交换模的稳定作用。无Line-tying时,当热电子与等离子体密度比大于(ωBi/(-ω*i))^(1/2k_yr_(ci))由于Charge-uncovering效应而稳定。当有强Line-tying效应时,具有弱增长的不稳定性。 展开更多
关键词 热电子 等离子体 交换模 线捆
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在不同热氧化条件下SiO_2-Si结构的电子辐射效应研究 被引量:2
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作者 谢茂浓 《四川大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 1998年第3期372-377,共6页
利用2MV电子静电加速器,研究了热氧化工艺与SiO2Si结构的电子辐射效应和辐射损伤机制.结果表明,高能电子辐照SiO2Si结构引起的MOS电容平带电压漂移ΔVfb与SiO2膜厚d2ox成正比.由P型硅为衬底或掺... 利用2MV电子静电加速器,研究了热氧化工艺与SiO2Si结构的电子辐射效应和辐射损伤机制.结果表明,高能电子辐照SiO2Si结构引起的MOS电容平带电压漂移ΔVfb与SiO2膜厚d2ox成正比.由P型硅为衬底或掺氯氧化的SiO2Si结构对电子辐射较敏感;而由磷处理或干N2热退火的SiO2Si结构能有效地降低对电子辐射的敏感性. 展开更多
关键词 电子辐射效应 热氧化 MOS器件 SiO2-Si结构
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