封装用铝金属基板表面金属化图形的制作

利用化学镀铜方法 ,结合光刻技术 ,研究了在阳极氧化 Al基板上的金属化布线。设计了完成化学镀铜金属化图形的工艺流程 ,并对影响图形制作的主要因素进行了分析 。

聚酰亚胺膜分子自组装与激光诱导图形化学镀铜

为了摒弃化学镀铜中价格昂贵、环境污染的活化工艺,将分子自组装技术与激光诱导化学镀技术结合,在聚酰亚胺薄膜(PI)上成功实现了图形化微米级金属铜沉积:将PI薄膜通过KOH溶液进行表面水解;经离子交换和高温处理在PI表面束缚纳米银粒子,在PI表面自组装上一层十二硫醇的自组装膜;再用聚焦的激光光刻产生预期的图形,最后实施化学镀后,在PI表面上实现金属铜的图形化沉积。采用XPS,AFM,SEM,ATR-FTIR,半导体特性分析系1统和视频光学接触角测量仪等跟踪表征各过程。结果显示:沉积的铜线宽度为30μm,选择性、导电性良好,本法为化学镀技术提供一种新技术,可用于电子行业。

折合偶极子天线与金属的距离对天线性能的影响

通过Ansoft HFSS 9.0和Matlab软件分析有限尺寸金属片对折合偶极子天线性能的影响。采用矩形且与天线长度比约1.25的有限尺寸金属片,水平对称放置于天线一侧。天线采用结构简单、输入阻抗易于调试的折合偶极子天线。仿真结果表明,通过调整折合偶极子天线与金属片之间的距离可以调节天线的辐射方向,实现较高的增益和阻抗周期变化。此结果已在实际应用中得到验证并可为RFID便携式天线等设计提供参考。

可选择性金属化的激光诱导新型涂层的制备

以环氧丙烯酸酯作为基体树脂,铜基有机金属络合物为激光活化前驱体,正丁醇和二甲苯为混合溶剂,添加分散剂以及填料,制备一种用于选择性激光诱导金属化图形制备的新型涂料。采用刷涂或喷涂方法将涂料涂覆在铝合金片表面,可形成平均厚度为47?m的膜层。对涂层表面进行选择性激光活化和化学镀铜处理,制备出金属化图形。分别采用光学显微镜、扫描电镜(SEM)和XPS光电子能谱对涂层与镀铜膜的表面形貌以及激光刻蚀区域铜元素的化学价态进行表征,采用十字划痕测试和热震实验测试涂层与镀铜膜的附着力。结果表明:未经激光刻蚀的涂层表面光滑平整,而刻蚀后的区域表面粗糙度增加,但刻蚀边缘光滑无毛刺。刻蚀区域经化学镀形成的金属化图形,由粒径为10μm的铜颗粒紧密排列而成,未刻蚀区域没有泛镀,表现出优异的选择性。涂层和金属化铜镀层与铝金属基体之间具有优良的附着力。

金属平板对阵列天线端射特性的影响

由阵元构成的阵列天线通常布置于金属板上,金属板的反射增强了其前向的辐射,但会改变其端射特性。本文研究金属平板对阵列天线的端射特性的影响。采用FEKO软件建立仿真模型对阵列天线的端射方向图进行计算,并分析阵列天线端射方向图的分布特性。

CRT荫罩制造技术及其在平板显示等领域的应用

CRT荫罩制造工艺的基础技术是光刻腐蚀。将应用于制造荫罩的精密光刻精细腐蚀技术引伸应用到平板显示、微电子、微机械等领域,可以制作出高精度OLED金属掩膜版,LCD、PDP光学掩膜版等,使这一非常成熟的工艺焕发出新的活力。

高筋薄板构件多自由度摆动辗压成形规律与工艺研究

高筋薄板构件多自由度摆动辗压成形过程中金属流动十分复杂,导致高筋薄板构件筋高分布十分不均匀。根据双偏心套型摆动辗压机运动原理,探究摆动模做圆轨迹和螺旋线轨迹运动时摆动模与坯料的接触模式演化规律,提出了接触区形状数学计算方法。采用有限元模拟仿真技术揭示摆动模做圆轨迹和螺旋线轨迹运动时高筋薄板构件摆动辗压成形金属流动规律以及高筋生长规律,阐明摆动模运动、接触区变化、金属流动和高筋生长之间的关联关系。在此基础上,开展高筋薄板构件摆动辗压成形工艺试验,实现高筋薄板构件摆动辗压成形。研究结果表明,相比圆轨迹运动,摆动模做螺旋线轨迹运动能够减弱金属径向和切向流动,增强金属轴向流动能力,从而有效提高高筋薄板构件摆动碾压成形过程中金属轴向流动的均匀性,获得筋高分布均匀的高筋薄板构件。

全湿式薄膜金属化的二层挠性覆铜板工艺及其微细线路应用技术

与既有的挠性覆铜板（又称聚酰亚胺软性铜箔积层板）制造工艺相比较，本文论述的最新的全湿式薄膜金属化工艺，具有金属与聚酰亚胺薄膜（Polyimide略称PI）结合平滑．利于微细线路的形成，成本低，热负荷之后仍保持比较高的剥离强度的特点。同时，它能够对各种聚酰亚胺薄膜进行金属化，适用于卷对眷（Roll to Roll）的自动搬送的自动化生产设备。

基于飞秒激光直写技术的金属图案化研究(特邀)

飞秒激光直写是一种新型的纳米加工技术,但由于飞秒激光和金属的光热效应会产生激光烧蚀现象,难以直接在金属上实现高质量图案转移。结合飞秒激光直写技术和剥离(lift-off)工艺,开发了一种新型金属图案转移技术,可成功实现亚微米精度(0.89μm)的金属图案转移。探究了飞秒激光直写参数及显影方式和参数等对金属转移性能的影响。研究发现,随着飞秒激光曝光剂量的增加,金属转移精度有所提高。同时,干法显影效果优于湿法显影效果,且随着牺牲层显影时间的增加,转移线宽逐渐增大,但线条的粗糙度得到改善。在金属转移工艺中,通过设计并引入一定的底切角度,成功改善了金属线条的边缘翘曲和粗糙度高的现象。结合飞秒激光直写技术和lift-off工艺实现了直径为2 inch(1 inch=2.54 cm)的铬基转移光栅,并验证了制备的铬图案作为掩模板曝光的可行性,实现了SU-8光刻胶上的投影曝光,证明了所提策略局部替代电子束光刻进行掩模板加工的潜力。此外,基于该策略实现了Au和Pt的图案转移,说明所提策略具有一定普适性。

板材角轧过程平面形状演变规律

建立了基于影响函数法的数学模型,利用仿真和实验方法研究了角轧制过程中板块的平面板形演化规律。结果表明,随着第1道旋转角度的增加,板材角部与其他部位的伸长率差异增大,这是长宽夹角随第1道旋转角度增大而呈下降趋势的主要原因。随着第2道旋转角度的增加,长宽角呈上升趋势,这是由于板材角部(钝角)与他部位的伸长率差异随着第2道旋转角度的增加而增大。εw(宽度方向上的变形)随着第1道或第2道旋转角度的增加而增大,这是宽展随第1道或第2道旋转角度增大的主要原因。考虑到2次轧制的压下量相同,当第2道的旋转角度是第1道旋转角度的2倍时,板材几乎可以恢复到矩形。预测的长宽夹角和宽展值与实验值吻合较好,表明所建立的基于影响函数法的计算模型能够准确估计长宽夹角和宽展。