一种基于铂电阻的硅基MEMS热式流量传感器芯片研制

针对高精度微小流量测量场合对高稳定流量计的应用需求,介绍一种基于铂电阻的硅基MEMS热式流量传感器芯片的研制。利用铂电阻作为加热和测温电阻,提升MEMS流量传感器芯片的稳定性。将铂电阻制作于悬空介质层上,提升MEMS流量传感器芯片的响应速度和灵敏度。通过有限元仿真,优化MEMS流量传感器的芯片结构,使其铂电阻TCR与响应速度都有良好表现。通过优化封装结构,封装后的MEMS流量传感器芯片在0~200mL/min范围内具有较好的稳定性和响应,测量精度小于测量值的0.8%,满足绝大部分同类流量测量的技术需求。

含氧气氛直流磁控溅射薄膜铂电阻制备及性能研究

本文采用直流磁控溅射方法,在特殊的含氧气氛条件下,用高纯铂靶在氧化铝陶瓷基板上制备出高性能铂薄膜热敏电阻。利用扫描电子显微镜对铂电阻薄膜微观组织进行分析,利用X射线衍射分析仪对薄膜的物相及晶粒尺寸进行标定。测定薄膜铂电阻的阻温特性曲线,计算电阻温度系数(TCR)值。结果表明:含氧气氛下直流磁控溅射制备的薄膜铂电阻经过高温处理后完全脱氧,得到纯度高、结构致密均匀、附着强度高、热敏电阻性能优异的高性能铂薄膜电阻。

高精度温度测试仪的设计

针对温度测控精度的问题,本文提出了一种高精度、低功耗温度测试仪的设计方案。该系统采用PT100铂热电阻模块对温度信息进行采集放大处理,通过A/D转换后将信号传递给主控制器,主控制器根据按键要求把分析结果输出给液晶屏显示。该高精度温度测试仪经多次调试和测试后,其功能和指标均达到了设计的要求,误差不大于0.5%。

基于组态王软件的温度数据采集系统的设计与研究

提出了基于组态王软件和Pt100铂热电阻的温度采集系统的设计方法。首先,通过非线性的铂热电阻Pt100采集被测物体周围环境的温度信号;其次,将采集的电阻信号通过泓格I-7015模块输入,同时利用I-7520将信号传输进计算机进行数据分析处理;最后,在组态王软件上分别对冷凝冷却实验的实时监控界面、实时温度曲线、温度数据报表和报警等进行程序编写。

基于MSP430F149单片机的实验用温控对象模拟器的设计

从控制算法、硬件、软件等方面介绍实验用温控对象模拟器,选用MSP430F149单片机作为主控芯片,并配有温度检测电路、信号调理电路、转换电路、加热电路以及键盘和液晶显示等,可实现数据采集、加热器控制等功能,通过模拟输入输出通道或数字通信通道与上位机进行交互,形成一个温度控制系统。

MEMS高温温度传感器的研制与测量精度研究

航空发动机智能化及其他机械系统的智能化需要原位集成制造的传感器,为此研制了发动机涡轮叶片原位集成高温传感器。该高温传感器采用MEMS微制造工艺将厚度在微米量级的微小传感器原位集成在航空发动机涡轮叶片表面,利用微技术制造的传感器和标准的热电偶进行了一系列的高温测量试验和一系列细致的高温温度表征测量研究。该微制造工艺攻克了两项技术难关:曲表面的光刻技术和高温绝缘层的制作技术。涡轮叶片表面原位集成的微传感器不仅可以原位测量高达800℃的环境温度,并且具有很高的机械强度,可以承受高达40 g的振动和100 g的冲力。研究还表明,在高温测量环境下,高温测量精度和高温环境下的温度场(高温温度的空间分布与升温时间迟豫)密切相关。由于高温环境温度场的差异,可以产生高达10%的测量本征误差。

T形铠装铂电阻传感器

本文叙述了在涤纶、锦纶等化纤生产中应用的T形铠装铂电阻传感器的结构、性能、加工及使用情况等。