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非球面表面形状的线测量技术 被引量：20
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作者 ARAI Yoshikazu 高伟 +2 位作者 SHIMIZU Hiroki KIYONO Satoshi KURIYAGAWA Tsunemoto 《纳米技术与精密工程》 CAS CSCD 2004年第3期210-216,共7页
描述了一种在超精密磨削机床上基于误差分离法的非球面表面形状精密测量系统 .首先 ,论述了一般用于平面形状测量的两点法不能直接用于非球面形状测量的原因在于测头的设置误差会引起很大的形状测量误差 .提出了先通过两点法测量平面形... 描述了一种在超精密磨削机床上基于误差分离法的非球面表面形状精密测量系统 .首先 ,论述了一般用于平面形状测量的两点法不能直接用于非球面形状测量的原因在于测头的设置误差会引起很大的形状测量误差 .提出了先通过两点法测量平面形状得出机床的运动误差 ,然后对测量非球面形状的另外一个测头的输出进行补偿以得出正确的非球面形状 .用此系统测量了一个直径为 3 0mm的非球面镜头的表面形状 . 展开更多
关键词 机床 测头 超精密磨削 非球面镜头 平面形状 运动误差 误差分离 表面形状 系统测量 精密测量
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