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α-Si:H快速退火电学性质的研究 被引量:1
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作者 董会宁 杨文颖 《四川师范大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 1996年第5期83-84,共2页
对α-Si:H材料作快速退火固体晶化工艺处理,Hal效应测试表明:随着退火温度的增加,μH和σ逐渐增加.经800℃,8min退火后,样品电导率激活能0.104eV.
关键词 α-si:h 快速退火 霍尔效应
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掺钇α-Si:H膜的光性研究
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作者 张淑芝 程兴奎 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1991年第4期259-264,共6页
用反射消光式椭圆偏振光谱研究了射频溅射法制备的不同衬底温度和不同掺钇浓度下的α-Si:H(Y)膜在可见光区的光学性质,结果与透射谱一致。由红外吸收谱判断膜中氢含量和存在形式随生长条件和掺钇浓度变化。
关键词 掺钇 α-si:h 薄膜 光学性质
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热丝CVD法沉积超薄α-Si∶H钝化膜 被引量:1
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作者 田罡煜 王涛 +6 位作者 黄海宾 孙喜莲 高超 岳之浩 袁吉仁 周耐根 周浪 《半导体技术》 CSCD 北大核心 2017年第5期376-381,386,共7页
采用热丝化学气相沉积法在n型直拉单晶硅圆片表面双面沉积厚度为10 nm的本征非晶硅(α-Si∶H)薄膜。利用光谱型椭偏测试仪和准稳态光电导法研究热丝电流、H_2体积流量和热丝与衬底之间的距离对α-Si∶H薄膜结构和钝化效果的影响。结果表... 采用热丝化学气相沉积法在n型直拉单晶硅圆片表面双面沉积厚度为10 nm的本征非晶硅(α-Si∶H)薄膜。利用光谱型椭偏测试仪和准稳态光电导法研究热丝电流、H_2体积流量和热丝与衬底之间的距离对α-Si∶H薄膜结构和钝化效果的影响。结果表明,热丝电流为21.5~23.5 A时,钝化后硅片的少子寿命随着热丝电流的增加呈现先增加后降低的趋势,热丝电流为23.0 A时,钝化效果最好;H_2体积流量为5~20 cm^3/min时,少子寿命随着H_2体积流量的增加呈现先增加后降低的规律,体积流量为15 cm^3/min时,钝化效果最好;热丝与衬底间距为4~5 cm时,随着间距的增加,薄膜的结构由晶化向非晶化转变,在间距为4.5 cm时硅片的钝化效果达到最优。 展开更多
关键词 热丝化学气相沉积(hWCVD) 介电常数 非晶硅(α-si:h)薄膜 钝化 带有 本征薄层的异质结(hIT)
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超硅负载铝浸Mo-Ni-P-H催化剂的聚α-烯烃合成基础油加氢性能
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作者 周美玲 于庭云 白君君 《工业催化》 CAS 2010年第1期47-49,共3页
以水玻璃低温膨胀负载硅和铝作为载体,先通入空气、后浸入Mo-Ni-P-H,制得催化剂,用于催化聚α-烯烃基础油加氢反应。结果表明,在反应温度280℃、氢压6.0 MPa、空速0.5 h-1和氢油体积比为700∶1条件下,加氢效果较理想,溴值为0.18 g.(100g... 以水玻璃低温膨胀负载硅和铝作为载体,先通入空气、后浸入Mo-Ni-P-H,制得催化剂,用于催化聚α-烯烃基础油加氢反应。结果表明,在反应温度280℃、氢压6.0 MPa、空速0.5 h-1和氢油体积比为700∶1条件下,加氢效果较理想,溴值为0.18 g.(100g)-1,残炭质量分数为0.011%,硫含量0.38μg.g-1,比色<0.5,运动黏度几乎没有损失。聚α-烯烃合成基础油的性能有较大提高。 展开更多
关键词 石油化工工程 超硅负载铝 Mo-Ni-P-h催化剂 聚α-烯烃合成基础油 加氢精制
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非晶硅对MoO_x/c-Si异质结太阳电池器件的影响
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作者 陈涛 刘玮 +3 位作者 戴小宛 周志强 何青 孙云 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第7期1870-1874,共5页
室温下电子束蒸发沉积氧化钼(MoOx)薄膜呈非晶态,光学带隙约为3.6 eV,与单晶硅表面构成MoOx/c-Si异质结并具有钝化作用,但明显低于i∶α-Si∶H钝化。ITO/MoOx/i∶α-Si∶H/n∶c-Si/i∶α-Si∶H/n+∶α-Si∶H/Al太阳电池结构,既有晶... 室温下电子束蒸发沉积氧化钼(MoOx)薄膜呈非晶态,光学带隙约为3.6 eV,与单晶硅表面构成MoOx/c-Si异质结并具有钝化作用,但明显低于i∶α-Si∶H钝化。ITO/MoOx/i∶α-Si∶H/n∶c-Si/i∶α-Si∶H/n+∶α-Si∶H/Al太阳电池结构,既有晶硅前后表面钝化,又增加了背电场层,适当的MoOx厚度可获得电池的最高效率(15.5%);若取消晶硅表面i∶a-Si∶H钝化,与HIT(heterojunction with intrinsic thinlayer)电池类似,硅的前表面复合增大,电池效率降为11.5%;若取消背表面i∶a-Si∶H钝化及背电场材料n+∶a-Si∶H,电池效率急剧下降到8.3%,这表明背表面钝化及背电场,对MoOx/c-Si异质结太阳电池特性具有更为重要的作用,对高效器件制备具有一定指导意义。 展开更多
关键词 氧化钼 晶硅异质结 hIT 非晶硅钝化 太阳电池
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氢化非晶硅中空穴与电子的俘获效应──PIN型非晶硅太阳能电池稳定性研究 被引量:2
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作者 林鸿生 《固体电子学研究与进展》 CSCD 北大核心 1994年第2期127-135,共9页
通过应用Scharfetter-Gummel解法数值求解Poisson方程,对经高强度光辐照过的PIN型非晶硅太阳能电池进行计算机数值模拟。结果表明,载流子俘获效应所造成的α-Si:H中空间电荷净增加或减少都会使电池... 通过应用Scharfetter-Gummel解法数值求解Poisson方程,对经高强度光辐照过的PIN型非晶硅太阳能电池进行计算机数值模拟。结果表明,载流子俘获效应所造成的α-Si:H中空间电荷净增加或减少都会使电池内部电场分布发生改变和准中性区(低场“死层”)的出现,使电池性能因光的长期辐照而衰退。本文还讨论了α-Si:H中载流子俘获效应的研究在高稳定性PIN型非晶硅太阳能电池研制中的重要性。 展开更多
关键词 太阳能电池 非晶硅 电子俘获 孔穴
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仿真环境下探究氢化非晶硅薄膜晶体管原理的教学实践
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作者 陈文彬 《电气电子教学学报》 2017年第5期138-141,共4页
氢化非晶硅薄膜晶体管(α-Si:H TFT)是平板显示领域的主流技术,其原理是传统教学模式中的难点,相反却为探究式教学呈现出了广阔空间。将α-Si:H TFT的工作状态分为四个区域,详细分析了这四个区域的电流-电压特性,结合RPI SPICE参数规划... 氢化非晶硅薄膜晶体管(α-Si:H TFT)是平板显示领域的主流技术,其原理是传统教学模式中的难点,相反却为探究式教学呈现出了广阔空间。将α-Si:H TFT的工作状态分为四个区域,详细分析了这四个区域的电流-电压特性,结合RPI SPICE参数规划了教学核心内容并示例性给出了探究点,通过参数调整-仿真-参数提取-再仿真的闭环过程,可以深入理解α-Si:H TFT的物理机制。教学实践表明增高了学生参与度,教学效果良好。 展开更多
关键词 探究 SPICE α-si:h 薄膜晶体管
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Analysis of the double-layer a-Si:H emitter with different doping concentrations for α-Si:H/c-Si heterojunction solar cells 被引量:1
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作者 Haibin HUANG Gangyu TIAN +4 位作者 Tao WANG Chao GAO Jiren YUAN Zhihao YUE Lang ZHOU 《Frontiers in Energy》 SCIE CSCD 2017年第1期92-95,共4页
Double-layer emitters with different doping concentrations (DLE) have been designed and prepared for amorphous silicon/crystalline silicon (ct-Si:H/c-Si) hetero- junction solar cells. Compared with the traditiona... Double-layer emitters with different doping concentrations (DLE) have been designed and prepared for amorphous silicon/crystalline silicon (ct-Si:H/c-Si) hetero- junction solar cells. Compared with the traditional single layer emitter, both the experiment and the simulation (AFORS-HET, http://www.paper.edu.cn/html/releasepaper/2014/04/282/) prove that the double-layer emitter increases the short circuit current of the cells significantly. Based on the quantum efficiency (QE) results and the current-voltage-temperature analysis, the mechanism for the experimental results above has been investigated. The possible reasons for the increased current include the enhancement of the QE in the short wavelength range, the increase of the tunneling probability of the current transport and the decrease of the activation energy of the emitter layers. 展开更多
关键词 double-layer emitter α-sih/c-si heterojunc-tion solar cell short circuit current quantum efficiency current-voltage-temperature
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