小孔流导法材料放气率测量装置的设计

介绍了小孔流导法测量真空材料放气率的原理和测量装置的设计方案。该装置由真空抽气系统、流导法测量系统、压力测量与质谱分析系统等三部分组成,设计的核心思想是采用对称的双测试室结构设计,可以精确测量测试室和分离规等带来的本底吸放气影响,并可实现实时、动态测量。装置的测量范围为（1×10^-7-1×10^-14）Pa.m^3/（s.cm^2）,温度测试范围为45℃-500℃,极限真空度为5×10^-8Pa。

基于四极质谱计质量歧视效应修正的材料CxHy放气率测试方法研究

材料的碳氢化合物分放气率直接关系到精密仪器的稳定性、可靠性及寿命,分放气率的测量通过四极质谱计(QMS)测量的真空分压力计算得到。然而,QMS存在的质量歧视效应导致了大质量数离子的测量灵敏度降低,从而影响碳氢化合物分放气率的测量准确度。针对该问题,文章对小孔流导法分放气率测量装置进行了优化改进,并提出了一种利用十二烷修正QMS质量歧视效应的方法。为验证方法的有效性,对两台QMS的质量歧视效应进行了修正,并选取聚四氟乙烯(PTFE)、氟橡胶(FKM)样品,测试了不同时刻碳氢化合物的放气率,结果表明,文章所提方法可以有效地降低QMS的质量歧视效应,另外,通过质量歧视修正后的碳氢化合物放气率较未修正时有明显上升,其中PTFE样品CxHy-1、CxHy-2放气率分别上升19.78%、123.83%,FKM样品CxHy-1、CxHy-2放气率分别上升31.91%、155.22%。

超高真空环境下测试产品的放气分析(英文)

本文介绍了材料放气的理论和模型,同时运用费克定理推导出圆柱型测试产品的理论放气率,并介绍了测量放气率的两种常用方法:定容法和小孔流导法。文中指出了运用小孔流导法存在的三个问题,并通过双规流导(TGT)法解决了此类问题。

永磁体钕铁硼的热出气率

简要叙述了小孔流导法测量材料出气率实验原理和装置 ,给出了永磁体钕铁硼在不同情况下的热出气率 ,并对影响钕铁硼材料出气率的各种因素进行了分析 。

SUNIST装置中磁探针出气率测量

通过出气率测量装置评价了SUNIST装置的内部磁探针出气特性,实验结果表明其出气量和出气气体成分不足以影响SUNIST真空特性。其后的放电实验验证了这一结论。

导线在真空环境中的放气特性分析

材料放气特性对分析真空中残余气体成分有重要影响。主要研究常用导线绝缘层聚全氟乙丙烯和可溶性聚四氟乙烯这两种材料在真空环境中的放气特性。采用小孔流导法初步测量了样品在常温、加热以及冷却条件下的放气率,利用四极质谱计测量了样品在不同温度条件下的放气质谱图。结果表明这两种材料在加热过程中的放气率先增大后减小,并随着抽气不断减小,在加热过程中的谱图中检测到质量数为69的气体,说明放出的气体成分含氟。