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小孔流导法材料放气率测量装置的设计
被引量:
16
1
作者
冯焱
曾祥坡
+1 位作者
张涤新
李得天
《宇航计测技术》
CSCD
2010年第3期66-69,共4页
介绍了小孔流导法测量真空材料放气率的原理和测量装置的设计方案。该装置由真空抽气系统、流导法测量系统、压力测量与质谱分析系统等三部分组成,设计的核心思想是采用对称的双测试室结构设计,可以精确测量测试室和分离规等带来的本底...
介绍了小孔流导法测量真空材料放气率的原理和测量装置的设计方案。该装置由真空抽气系统、流导法测量系统、压力测量与质谱分析系统等三部分组成,设计的核心思想是采用对称的双测试室结构设计,可以精确测量测试室和分离规等带来的本底吸放气影响,并可实现实时、动态测量。装置的测量范围为(1×10^-7-1×10^-14)Pa.m^3/(s.cm^2),温度测试范围为45℃-500℃,极限真空度为5×10^-8Pa。
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关键词
+
材料放气率
+小孔流导法
测量装置
测量方法
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职称材料
基于分压力测量的真空材料放气率测试方法研究
被引量:
13
2
作者
冯焱
董猛
+3 位作者
吴晓斌
李得天
成永军
张瑞芳
《真空》
CAS
2013年第4期49-52,共4页
在实际工程应用中,除了需要知道真空材料的总放气率之外,往往还关心的是材料放出的某种单一气体的放气率。为此,本文提出了基于分压力测量的真空材料放气率测试方法,通过采用四极质谱计测量小孔两端的分压力来测试单一气体的放气率。基...
在实际工程应用中,除了需要知道真空材料的总放气率之外,往往还关心的是材料放出的某种单一气体的放气率。为此,本文提出了基于分压力测量的真空材料放气率测试方法,通过采用四极质谱计测量小孔两端的分压力来测试单一气体的放气率。基于该方法设计了测试装置,主要由真空抽气系统、双通道气路转换测试系统、压力测量与质谱分析系统三部分组成。该方法的提出可以解决测试材料单一气体放气率的问题,同时也提高了测试结果的准确性。
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关键词
材料
单一
气
体的
放
气
率
双通道
气
路转换
四极质谱计
测试装置
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职称材料
基于四极质谱计质量歧视效应修正的材料CxHy放气率测试方法研究
3
作者
王星辉
成永军
+4 位作者
董猛
赵澜
陈联
冯天佑
孙雯君
《真空科学与技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2023年第11期938-946,共9页
材料的碳氢化合物分放气率直接关系到精密仪器的稳定性、可靠性及寿命,分放气率的测量通过四极质谱计(QMS)测量的真空分压力计算得到。然而,QMS存在的质量歧视效应导致了大质量数离子的测量灵敏度降低,从而影响碳氢化合物分放气率的测...
材料的碳氢化合物分放气率直接关系到精密仪器的稳定性、可靠性及寿命,分放气率的测量通过四极质谱计(QMS)测量的真空分压力计算得到。然而,QMS存在的质量歧视效应导致了大质量数离子的测量灵敏度降低,从而影响碳氢化合物分放气率的测量准确度。针对该问题,文章对小孔流导法分放气率测量装置进行了优化改进,并提出了一种利用十二烷修正QMS质量歧视效应的方法。为验证方法的有效性,对两台QMS的质量歧视效应进行了修正,并选取聚四氟乙烯(PTFE)、氟橡胶(FKM)样品,测试了不同时刻碳氢化合物的放气率,结果表明,文章所提方法可以有效地降低QMS的质量歧视效应,另外,通过质量歧视修正后的碳氢化合物放气率较未修正时有明显上升,其中PTFE样品CxHy-1、CxHy-2放气率分别上升19.78%、123.83%,FKM样品CxHy-1、CxHy-2放气率分别上升31.91%、155.22%。
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关键词
材料放气率
小孔流导法
四极质谱计
质量歧视效应
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职称材料
材料在真空环境下放气的测试技术研究
被引量:
22
4
作者
董猛
冯焱
+3 位作者
成永军
盛学民
赵澜
王永军
《真空与低温》
2014年第1期46-51,共6页
在真空材料放气率测试装置上对金属材料的放气特性进行了实验研究,实验采用的方法为静态升压法、固定流导法、双通道气路转换法。实验结果表明,测试装置的极限真空度为9.2×10-9Pa,铜、铝合金2A12、304不锈钢三种材料半小时后的放...
在真空材料放气率测试装置上对金属材料的放气特性进行了实验研究,实验采用的方法为静态升压法、固定流导法、双通道气路转换法。实验结果表明,测试装置的极限真空度为9.2×10-9Pa,铜、铝合金2A12、304不锈钢三种材料半小时后的放气率分别为2.34×10-8Pa·m3·s-1·cm-2、1.83×10-9Pa·m3·s-1·cm-2、8.48×10-11Pa·m3·s-1·cm-2。利用四极质谱计测得装置的本底气体成分主要有H2、N2/CO、H2O和CO2,材料放出的气体成分主要有N2/CO、H2O。三种方法测试得到的铜金属材料的放气率随着温度的升高而不断增大。
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关键词
材料放气率
双通道
气
路转换法
固定流导法
静态升压法
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职称材料
真空保温杯常用材料放气特性研究
被引量:
3
5
作者
连小晓
杨传森
+5 位作者
吴端
袁园
陈春
闫睿
严春满
卢耀文
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2020年第5期485-489,共5页
材料放气是真空保温杯真空度保持和寿命的重要技术指标。本文利用新型基于转换气路法材料放气率测试系统,对钛合金钢、304不锈钢和银等三种真空保温杯常用材料在室温、200℃、400℃真空条件下的放气率和放气成分等特性进行了研究。结果...
材料放气是真空保温杯真空度保持和寿命的重要技术指标。本文利用新型基于转换气路法材料放气率测试系统,对钛合金钢、304不锈钢和银等三种真空保温杯常用材料在室温、200℃、400℃真空条件下的放气率和放气成分等特性进行了研究。结果表明,室温下三种材料的放气率由小到大依次为钛合金钢、304不锈钢和银,放气成分均主要以H2分子和H2O分子为主;在温度升高过程中,三种材料放出的H2O分子含量均会缓慢减少,但是放出的H2分子含量的变化趋势却有所不同,304不锈钢和银的H2分子含量随温度升高呈现先增大后减小的趋势,而钛合金钢中H2分子含量则快速增大。因此,在真空除气工艺中,304不锈钢和银的烘烤温度设置400℃以下即可,而钛合金钢内部H2分子含量较高,较难除去,除气工艺应高于400℃。
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关键词
真空保温杯
材料放气率
放
气
成分
转换
气
路法
下载PDF
职称材料
导线在真空环境中的放气特性分析
6
作者
陈蕾
肖梅
+4 位作者
张晓兵
杨玲玲
吴晓斌
王魁波
罗艳
《真空与低温》
2016年第2期100-103,共4页
材料放气特性对分析真空中残余气体成分有重要影响。主要研究常用导线绝缘层聚全氟乙丙烯和可溶性聚四氟乙烯这两种材料在真空环境中的放气特性。采用小孔流导法初步测量了样品在常温、加热以及冷却条件下的放气率,利用四极质谱计测量...
材料放气特性对分析真空中残余气体成分有重要影响。主要研究常用导线绝缘层聚全氟乙丙烯和可溶性聚四氟乙烯这两种材料在真空环境中的放气特性。采用小孔流导法初步测量了样品在常温、加热以及冷却条件下的放气率,利用四极质谱计测量了样品在不同温度条件下的放气质谱图。结果表明这两种材料在加热过程中的放气率先增大后减小,并随着抽气不断减小,在加热过程中的谱图中检测到质量数为69的气体,说明放出的气体成分含氟。
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关键词
导线
材料放气率
小孔流导法
四极质谱法
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职称材料
题名
小孔流导法材料放气率测量装置的设计
被引量:
16
1
作者
冯焱
曾祥坡
张涤新
李得天
机构
兰州物理研究所
出处
《宇航计测技术》
CSCD
2010年第3期66-69,共4页
文摘
介绍了小孔流导法测量真空材料放气率的原理和测量装置的设计方案。该装置由真空抽气系统、流导法测量系统、压力测量与质谱分析系统等三部分组成,设计的核心思想是采用对称的双测试室结构设计,可以精确测量测试室和分离规等带来的本底吸放气影响,并可实现实时、动态测量。装置的测量范围为(1×10^-7-1×10^-14)Pa.m^3/(s.cm^2),温度测试范围为45℃-500℃,极限真空度为5×10^-8Pa。
关键词
+
材料放气率
+小孔流导法
测量装置
测量方法
Keywords
+Material outgassing rates +Orifice conductance method Measurement equipment Measurement method
分类号
TN13 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
基于分压力测量的真空材料放气率测试方法研究
被引量:
13
2
作者
冯焱
董猛
吴晓斌
李得天
成永军
张瑞芳
机构
兰州空间技术物理研究所
中国科学院光电研究院
出处
《真空》
CAS
2013年第4期49-52,共4页
文摘
在实际工程应用中,除了需要知道真空材料的总放气率之外,往往还关心的是材料放出的某种单一气体的放气率。为此,本文提出了基于分压力测量的真空材料放气率测试方法,通过采用四极质谱计测量小孔两端的分压力来测试单一气体的放气率。基于该方法设计了测试装置,主要由真空抽气系统、双通道气路转换测试系统、压力测量与质谱分析系统三部分组成。该方法的提出可以解决测试材料单一气体放气率的问题,同时也提高了测试结果的准确性。
关键词
材料
单一
气
体的
放
气
率
双通道
气
路转换
四极质谱计
测试装置
Keywords
partial outgassing rate
SPP
quadrupole mass spectrometer
measurement apparatus
分类号
TB771 [一般工业技术—真空技术]
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职称材料
题名
基于四极质谱计质量歧视效应修正的材料CxHy放气率测试方法研究
3
作者
王星辉
成永军
董猛
赵澜
陈联
冯天佑
孙雯君
机构
兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室
出处
《真空科学与技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2023年第11期938-946,共9页
基金
国家自然科学基金青年科学基金项目(61901203)。
文摘
材料的碳氢化合物分放气率直接关系到精密仪器的稳定性、可靠性及寿命,分放气率的测量通过四极质谱计(QMS)测量的真空分压力计算得到。然而,QMS存在的质量歧视效应导致了大质量数离子的测量灵敏度降低,从而影响碳氢化合物分放气率的测量准确度。针对该问题,文章对小孔流导法分放气率测量装置进行了优化改进,并提出了一种利用十二烷修正QMS质量歧视效应的方法。为验证方法的有效性,对两台QMS的质量歧视效应进行了修正,并选取聚四氟乙烯(PTFE)、氟橡胶(FKM)样品,测试了不同时刻碳氢化合物的放气率,结果表明,文章所提方法可以有效地降低QMS的质量歧视效应,另外,通过质量歧视修正后的碳氢化合物放气率较未修正时有明显上升,其中PTFE样品CxHy-1、CxHy-2放气率分别上升19.78%、123.83%,FKM样品CxHy-1、CxHy-2放气率分别上升31.91%、155.22%。
关键词
材料放气率
小孔流导法
四极质谱计
质量歧视效应
Keywords
Material outgassing rate
Orifice conductance method
QMS
Mass discrimination effect
分类号
TB771 [一般工业技术—真空技术]
下载PDF
职称材料
题名
材料在真空环境下放气的测试技术研究
被引量:
22
4
作者
董猛
冯焱
成永军
盛学民
赵澜
王永军
机构
兰州空间技术物理研究所国防科技工业真空一级计量站
出处
《真空与低温》
2014年第1期46-51,共6页
文摘
在真空材料放气率测试装置上对金属材料的放气特性进行了实验研究,实验采用的方法为静态升压法、固定流导法、双通道气路转换法。实验结果表明,测试装置的极限真空度为9.2×10-9Pa,铜、铝合金2A12、304不锈钢三种材料半小时后的放气率分别为2.34×10-8Pa·m3·s-1·cm-2、1.83×10-9Pa·m3·s-1·cm-2、8.48×10-11Pa·m3·s-1·cm-2。利用四极质谱计测得装置的本底气体成分主要有H2、N2/CO、H2O和CO2,材料放出的气体成分主要有N2/CO、H2O。三种方法测试得到的铜金属材料的放气率随着温度的升高而不断增大。
关键词
材料放气率
双通道
气
路转换法
固定流导法
静态升压法
Keywords
vacuum materials outgassing rates
SPP method
orifice throughput method
constant volume method
分类号
TB771 [一般工业技术—真空技术]
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职称材料
题名
真空保温杯常用材料放气特性研究
被引量:
3
5
作者
连小晓
杨传森
吴端
袁园
陈春
闫睿
严春满
卢耀文
机构
西北师范大学物理与电子工程学院
北京东方计量测试研究所
中国航发南方工业公司
出处
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2020年第5期485-489,共5页
基金
国家自然科学基金青年项目(No.61804005)
国防技术基础项目(JSJL2016205B006)。
文摘
材料放气是真空保温杯真空度保持和寿命的重要技术指标。本文利用新型基于转换气路法材料放气率测试系统,对钛合金钢、304不锈钢和银等三种真空保温杯常用材料在室温、200℃、400℃真空条件下的放气率和放气成分等特性进行了研究。结果表明,室温下三种材料的放气率由小到大依次为钛合金钢、304不锈钢和银,放气成分均主要以H2分子和H2O分子为主;在温度升高过程中,三种材料放出的H2O分子含量均会缓慢减少,但是放出的H2分子含量的变化趋势却有所不同,304不锈钢和银的H2分子含量随温度升高呈现先增大后减小的趋势,而钛合金钢中H2分子含量则快速增大。因此,在真空除气工艺中,304不锈钢和银的烘烤温度设置400℃以下即可,而钛合金钢内部H2分子含量较高,较难除去,除气工艺应高于400℃。
关键词
真空保温杯
材料放气率
放
气
成分
转换
气
路法
Keywords
Vacuum insulation cup
Outgassing rates
Gas composition
Conversion gas path method
分类号
TB77 [一般工业技术—真空技术]
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职称材料
题名
导线在真空环境中的放气特性分析
6
作者
陈蕾
肖梅
张晓兵
杨玲玲
吴晓斌
王魁波
罗艳
机构
东南大学电子科学与工程学院显示中心
中国科学院光电研究院
出处
《真空与低温》
2016年第2期100-103,共4页
文摘
材料放气特性对分析真空中残余气体成分有重要影响。主要研究常用导线绝缘层聚全氟乙丙烯和可溶性聚四氟乙烯这两种材料在真空环境中的放气特性。采用小孔流导法初步测量了样品在常温、加热以及冷却条件下的放气率,利用四极质谱计测量了样品在不同温度条件下的放气质谱图。结果表明这两种材料在加热过程中的放气率先增大后减小,并随着抽气不断减小,在加热过程中的谱图中检测到质量数为69的气体,说明放出的气体成分含氟。
关键词
导线
材料放气率
小孔流导法
四极质谱法
Keywords
wire
the outgassing rate of materials
orifice conductance method
the quadrupole mass spectrometer
分类号
TB77 [一般工业技术—真空技术]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
小孔流导法材料放气率测量装置的设计
冯焱
曾祥坡
张涤新
李得天
《宇航计测技术》
CSCD
2010
16
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职称材料
2
基于分压力测量的真空材料放气率测试方法研究
冯焱
董猛
吴晓斌
李得天
成永军
张瑞芳
《真空》
CAS
2013
13
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职称材料
3
基于四极质谱计质量歧视效应修正的材料CxHy放气率测试方法研究
王星辉
成永军
董猛
赵澜
陈联
冯天佑
孙雯君
《真空科学与技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2023
0
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职称材料
4
材料在真空环境下放气的测试技术研究
董猛
冯焱
成永军
盛学民
赵澜
王永军
《真空与低温》
2014
22
下载PDF
职称材料
5
真空保温杯常用材料放气特性研究
连小晓
杨传森
吴端
袁园
陈春
闫睿
严春满
卢耀文
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2020
3
下载PDF
职称材料
6
导线在真空环境中的放气特性分析
陈蕾
肖梅
张晓兵
杨玲玲
吴晓斌
王魁波
罗艳
《真空与低温》
2016
0
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职称材料
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