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Al含量对Ti_(1-X)Al_XN涂层组织结构的影响 被引量:14
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作者 王永康 熊仁章 +2 位作者 雷廷权 夏立芳 李炳生 《材料工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第8期24-25,12,共3页
通过不同 Al含量的 Ti- Al粉末冶金靶 ,采用多弧离子镀技术制备了 Ti1 - XAl XN涂层。用 SEM、 XRD、 GAXRD以及 XTEM等手段研究了 Al元素对涂层组织结构的影响。研究表明 ,Ti Al N涂层呈柱状多晶组织 ,(Ti,Al) N为涂层的主要组成相 ;随... 通过不同 Al含量的 Ti- Al粉末冶金靶 ,采用多弧离子镀技术制备了 Ti1 - XAl XN涂层。用 SEM、 XRD、 GAXRD以及 XTEM等手段研究了 Al元素对涂层组织结构的影响。研究表明 ,Ti Al N涂层呈柱状多晶组织 ,(Ti,Al) N为涂层的主要组成相 ;随着 Al含量的增加 ,涂层中的 (Ti,Al) N相减少 ,且其晶格常数降低。 展开更多
关键词 多弧离子镀 ti1-xAlxn涂层 组织结构 (ti AL)n
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Ti_(1-x)Al_xN涂层的组织结构及Al元素的作用机理 被引量:17
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作者 王永康 熊仁章 +2 位作者 雷廷权 夏立芳 李炳生 《宁波大学学报(理工版)》 CAS 2001年第4期48-51,共4页
通过不同Al含量的Ti Al粉末冶金靶 ,采用多弧离子镀技术制备了Ti1 xAlxN涂层 .用SEM、XRD、GAXRD以及XTEM等手段研究了涂层的组织结构及Al元素的作用 .研究表明 ,TiAlN涂层呈柱状多晶组织 ,(Ti,Al)N为涂层的主要组成相 ;随着Al含量的增... 通过不同Al含量的Ti Al粉末冶金靶 ,采用多弧离子镀技术制备了Ti1 xAlxN涂层 .用SEM、XRD、GAXRD以及XTEM等手段研究了涂层的组织结构及Al元素的作用 .研究表明 ,TiAlN涂层呈柱状多晶组织 ,(Ti,Al)N为涂层的主要组成相 ;随着Al含量的增加 ,涂层中的(Ti,Al)N相将减少 ,且其晶格常数将降低 . 展开更多
关键词 多弧离子镀 ti1-xAlxn涂层 组织结构 铝元素 晶格常数 金属材料 表面处理 氮化铝钛 多元涂层
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TiN和Ti_(1-x)Si_xN_y薄膜的微观结构分析 被引量:10
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作者 张晨辉 雒建斌 +1 位作者 李文治 陈大融 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2004年第1期182-188,共7页
使用x射线衍射 (XRD)、x射线光电子谱 (XPS)、高分辨透射电子显微镜 (HRTEM)和原子力显微镜 (AFM)多种观测手段分析了TiN薄膜和Ti1 -xSixNy 纳米复合薄膜的微观结构 .实验分析证明Ti1 -xSixNy 薄膜是由直径为 3—5nm的纳米晶TiN和非晶Si... 使用x射线衍射 (XRD)、x射线光电子谱 (XPS)、高分辨透射电子显微镜 (HRTEM)和原子力显微镜 (AFM)多种观测手段分析了TiN薄膜和Ti1 -xSixNy 纳米复合薄膜的微观结构 .实验分析证明Ti1 -xSixNy 薄膜是由直径为 3—5nm的纳米晶TiN和非晶Si3N4 相构成 ,并且Ti1 -xSixNy 薄膜的表面粗糙度小于相同条件下制备的TiN薄膜 ,在Ti1 -xSixNy 薄膜体系的自由能中引入界面能的概念 ,在此基础上分析了体系中TiN晶粒的取向问题 . 展开更多
关键词 纳米复合薄膜 自由能 表面粗糙度 氮化钛 X射线衍射 高分辨透射电子显微镜 纳米晶 晶粒取向
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4Cr13不锈钢表面多弧离子镀制备(Ti,Cr)N薄膜的高温氧化行为(英文) 被引量:2
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作者 蔡航伟 高原 +2 位作者 袁琳 马志康 王成磊 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2014年第5期1084-1087,共4页
在4Cr13不锈钢表面进行多弧离子镀沉积(Ti,Cr)N涂层,研究不同Cr含量的(Ti1-xCrx)N(x=0.28,0.56,0.73)复合薄膜在700℃的高温氧化行为。考察了薄膜氧化后的表面形貌、成分等。用热重法(TG)与差示扫描量热分析法(DSC)分析(Ti,Cr)N薄膜的... 在4Cr13不锈钢表面进行多弧离子镀沉积(Ti,Cr)N涂层,研究不同Cr含量的(Ti1-xCrx)N(x=0.28,0.56,0.73)复合薄膜在700℃的高温氧化行为。考察了薄膜氧化后的表面形貌、成分等。用热重法(TG)与差示扫描量热分析法(DSC)分析(Ti,Cr)N薄膜的加热氧化情况,并与TiN薄膜进行对比。结果表明:随着铬靶弧电流(ICr)的提高,(Ti1-xCrx)N薄膜中的Cr含量增加,Cr含量与ICr/ITi存在着线性关系;Cr含量越高,(Ti1-xCrx)N薄膜的高温抗氧化性能越好;(Ti1-xCrx)N薄膜的氧化热力学温度均高于TiN薄膜,表明Cr的加入明显提高了薄膜的氧化热力学温度。 展开更多
关键词 CR含量 (ti1-xcrx)n薄膜 高温氧化行为 热分析
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