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GIC41172×1.7MV串列加速器高能注入靶室的改进
被引量:
3
1
作者
王广甫
董平
《北京师范大学学报(自然科学版)》
CAS
CSCD
北大核心
2002年第5期628-631,共4页
通过更换丝杠和更新电机控制系统增大了靶盘纵向扫描范围 ,解决了扫描过程中纵向电机经常停转问题 ,并使靶室可装载 10 cm(4in)片子 ;通过隔离外界干扰电信号。
关键词
高能离子注入靶室
双机械扫描
注量控制
离子束分析
串列加速器
GIC
4
117
下载PDF
职称材料
题名
GIC41172×1.7MV串列加速器高能注入靶室的改进
被引量:
3
1
作者
王广甫
董平
机构
北京师范大学分析测试中心
出处
《北京师范大学学报(自然科学版)》
CAS
CSCD
北大核心
2002年第5期628-631,共4页
基金
航天部九院横向课题资助项目
文摘
通过更换丝杠和更新电机控制系统增大了靶盘纵向扫描范围 ,解决了扫描过程中纵向电机经常停转问题 ,并使靶室可装载 10 cm(4in)片子 ;通过隔离外界干扰电信号。
关键词
高能离子注入靶室
双机械扫描
注量控制
离子束分析
串列加速器
GIC
4
117
Keywords
MeV ion implantation chamber
double mechanical scan system
10
cm
(
4
in
)
wafers
dose control
分类号
TL503.92 [核科学技术—核技术及应用]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
GIC41172×1.7MV串列加速器高能注入靶室的改进
王广甫
董平
《北京师范大学学报(自然科学版)》
CAS
CSCD
北大核心
2002
3
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职称材料
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